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1、光刻机行业现状-产业报告光刻机从2017年到2025年的复合年增长率将达到为15.8%。目前光刻工艺是IC制造 中最关键也是最复杂步骤，光刻机是目前成本最高的半导体设备，光刻工艺也是制造中占用 时间比最大的步骤。以下对光刻机行业现状分析。光刻机设备市场龙头集中，EUV光刻机被ASML垄断。全球光刻机出货量99%集中在 ASML，尼康和佳能。光刻机行业分析指出，其中ASML份额最高，达到67.3%，且垄断了高 端EUV光刻机市场ASML技术先进离不开高投入，其研发费用率始终维持在15%-20%，远高 于 Nikon 和 Canon。光刻机厂商市场份额光刻机厂商市场份额ASML11.3-%-Nik
2、cri Cancxi其他7.26.2% _75.356黔B国报告天丘www.cri Iriabg 光刻机用途广泛，除了高端大气上档次的前道光刻机之外，还有用于LED制造领域投影 光刻机和用于芯片封装的后道光刻机，虽然在前道光刻机上国内厂商和ASML差距如同鸿 沟，但后道光刻机和封装光刻机国内厂商不仅都能制造，还占据了不低的市场份额。现从三 大市场状况来分析光刻机行业现状。上海微电子的90nm光刻机：目前我国能整机制造光刻机的只有上海微电子，2002年起 家开始做这方面的研究，从零起步，目前其制造工艺已经能达到 90nm，2018 年时上海微电 子产的光刻机已经完成验收。光刻机行业现状按照科技领
3、域的研发情况，使用一代，研发一 代，再预备一代，上海微电子基本上也是这个流程，搞定90nm工艺后，现阶段已经完成了 65nm工艺的研发和验证，已经再准备后续28nm的工艺了。另有消息称我国已经在加紧研制14nm 的制造工艺，前期准备工作（相关技术）已经通过验证和审核。上海微电子只是系统制造商：虽然上海微电子能做光刻机整机设备，但并不意味着这家 企业能自己独立生产光刻机中的所有零配件，它只是一个系统制造商。光刻机行业现状分 析，想要制造一台完整的光刻机需要全球采购零配件，尤其是核心精密零部件更是依赖国外 厂商，比如的光栅、德国镜头、瑞典轴承等等。当然，全球采购是目前光刻机厂商通用的做 法，也是很
4、无奈的做法，因为没有任何一家企业有实力完成所有零配件的生产，能独立完成 光刻机的制造。荷兰 ASML 也一样全球采购然后生产制造。提高光刻机技术核心是材料学：前面说了制造光刻机需要各种精密配件，上海微电子仅 的光刻机就得几万的配件。光刻机行业现状分析，想要提高我国光刻机的整体工艺水平，光 靠上海微电子一家厂商是不行的，需要全国整体的制造业水平上去，能够制造出我国自己的 光栅、镜头、轴承、阀件等等。而想要制造出高质量的配件，最终又将归结于材料学的研 究，很多东西目前其实我们能造，但是使用的材料不过关，精度和质量达不到国外厂商的水 准。因此，这就需要我国所有相关企业都能努力提高。作为集成电路产业的核心装备，有人称光刻机为“人类最精密复杂的机器”。工件台系 统是光刻机的重要子系统，工件台系统的运行速度、加速度、系统稳定性和系统的定位建立 时间对光刻机的生产精度和效率起着至关重要的作用。本次“光刻机双工件台系统样机研 发”项目验收，标志中国在双工件台系统上取得技术突破，但这仅仅是实现光刻机国产化万 里长征的一部分，距离打破 ASML 的技术垄断还有很长的路要走。-全文完-
