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1、万濠白光干涉仪AE-100产品用途结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、 不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度 达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。产品特点奈米深度3D检测高速/无接触量表面形状/粗糙度分析非透明/透明材质皆适用非电子束/非雷射的安全量测低维护成本专业级的3D图形处理与分析软体(Post Topo)提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析提供自动表面平整化处理功能提供高阶标准片的软件自校功能深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式线型分析方式提供直接追溯
2、ISO定义的表面粗糙度(Rorghness)与起伏度 (waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据(Wafer) 区域分析方式提供图形分析与统计分析。具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能。量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出高速精密的干涉解体软体(ImaScan)系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹垂直高度可达O.lnm高度的分析算法则，让你不在苦候测量结果垂直扫描范围的设定轻松又容易有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择平台XYZ位置数显示，使检标的寻找快速又便利
3、具有手动/自动光强度调整功能以取得最佳的干涉条纹对比。具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择。具有专利的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌。具有自动布补点功能可自行设定扫描方向技术规格参数型号AE-100M移动台(mm)平台尺寸100*100，行程13*1310X0.43*0.3220X0.21*0.1650X0.088*0.066物镜放大倍率 观察与量测范围光学分辨力（um）0.90.690.5收光角度（Degrees）172333工作距离7.44.73.4传感器分辨率640*480像素机台重量（kg）/载重kg20kg/小于 1kgZ轴移动范围45mm ,手动细调Z轴位置数字
4、显示器分辨率1um倾斜调整平台双轴/手动调整 高度测量测量范围100 （um）（400um，选配）量测分辨力0.1mm10um）重复精度10um （量测高度 1um 10um） 5nm（量测高度:1um ）量测控制自动扫描速度（u m/s）12（最咼）光源光源类型仪器用卤素（冷）光源平均使用寿命1000小时 100W 500小时（150W）光强度调整自动/手动数据处理与显示用计算器中央处理运算屏幕双核心以上CUP影像与数据显示屏幕17 双晶屏幕操作系统Windows XP（2）电源与环境要求AC100 -240 V 50-60Hz环境震动VC-C等级以上量测与分析软件ImScan量测软件量测软件具VSD PVS/PSI量测模式（PSI量测模式需另选配PSI模块搭配）PosTopo分析软件ISO粗燥度/阶高分析，快速传利业转换和滤波，多样的2D和3D分析软件观测视角圆，外形/面积/体积分析，圆像缩放、标准影像文件格式转换报表输出，程序教导量测等。
