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1、真空技术与设备教案任课教师： 曹冠英 授课班级： 电信042 课程总学时： 48 课程周学时： 6 上课周次： 8 基本教材： 真空技术及其在光源中的应用教学进度计划章 节计划课时教学手段备注绪论2多媒体第 一 章第 1、2 节2多媒体第 一 章第 3、4 节2多媒体第 一 章第 5- 7 节2多媒体第 二 章第 1-3 节2多媒体第 二 章第 4 节2多媒体第 二 章第5、6 节2多媒体第 三 章第1、2 节2多媒体第 三 章第 3 节2多媒体第 三 章第 4 节2多媒体第 三 章第 5、6 节2多媒体第 三 章第 7、8 节2多媒体第 四 章第1、2 节2多媒体第 四 章第 3 节2多媒体
2、第 四 章第 4 节2多媒体第 四 章第 5 节2多媒体第 五 章第1、2 节2多媒体第 五 章第 3 节2多媒体第 五 章第 4 节2多媒体第 六 章第1、2 节2多媒体第 六 章第 3 节2多媒体第 六 章第 4 节2多媒体第 六 章第 5、6 节2多媒体第 七 章第 1- 5节2多媒体第1 次课课时2 学时 章节题目绪论本 次 课教学目标通过学习使学生了解真空的基本概念及其应用。本 次 课重点难点真空的基本概念；真空度的单位及真空区域划分教学基本内容设计：0.1 课程及参考书目介绍0.2 绪论一、真空的概念二、真空技术重要性三、真空技术在光源生产中的重要性四、真空技术应用五、真空度的单位
3、及真空区域划分辅助手段和时间分配0.5学时0.3学时0.3学时0.3学时0.3学时0.3学时本次课小结作业、预习等本课小结：本节介绍了真空的基本概念及其应用。希望同学们能够熟练掌握真空度的单位及真空区域划分。预习内容：真空技术的物理基础。第2 次课课时 2 学时 章节题目第一章真空技术的物理基础（一）-气体分子运动论本 次 课教学目标熟练掌握气体分子运动论的基本原理；了解理想气体、蒸汽；掌握气体的压强。本 次 课重点难点气体的基本定律；气体的压强方程、道尔顿分压定律。教学基本内容设计：1.1气体分子运动论的基本原理一、气体的基本定律Boyles law Gay-Lussacs law Char
4、les law Avogadros law Equation of state of ideal gas二、气体分子运动论的基本假设三、理想气体四、蒸汽1.2气体的压强辅助手段和时间分配0.2学时0.2学时0.2学时0.2学时0.2学时0.2学时0.1学时0.2学时0.5学时本次课小结作业、预习等本课小结：通过学习熟练掌握气体分子运动论的基本原理；利用气体状态方程进行简单计算；了解理想气体、蒸汽；掌握气体的压强的定义、压强方程及道尔顿分压定律。预习内容：麦克斯韦速率分布及平均自由程。第3 次课课时2 学时 章节题目第一章真空技术的物理基础（一）-气体分子运动论本 次 课教学目标通过学习掌握麦克
5、斯韦速率分布及平均自由程。本 次 课重点难点麦克斯韦速率分布函数；三种代表速率的公式；自由程长度分布律。教学基本内容设计：1.3 气体分子的速率分布-麦克斯韦速率分布律一、麦克斯韦速率分布二、麦克斯韦速率分布定律三、麦克斯韦速率分布函数四、三种代表速率1.4 气体分子的自由程一、气体分子平均自由程二、离子或电子在气体中的自由程三、自由程长度分布律辅助手段和时间分配0.2学时0.2学时0.4学时0.4学时0.2学时0.2学时0.4学时本次课小结作业、预习等本课小结：通过学习使学生们掌握麦克斯韦速率分布；熟悉三种代表速率的公式；掌握平均自由程的概念及分布律。预习：气体的流动第4 次课课时2 学时
6、章节题目第一章真空技术的物理基础（一）-气体分子运动论本 次 课教学目标通过学习本节内容使学生了解气体在管道及小孔中的流动。本 次 课重点难点流导及流阻教学基本内容设计：1.5气体在管道中的流动1.6气体通过小孔的流动1.7流导及流阻一、管道的流导二、孔眼的流导三、并联与串联辅助手段和时间分配0.4学时0.4学时0.4学时0.4学时0.4学时本次课小结作业、预习等本课小结：以上介绍了气体在管道及小孔中的流动，为真空系统的设计奠定基础。预习内容：物理吸附和化学吸附第5 次课课时2 学时 章节题目第二章真空技术的物理基础（二）-固气界面现象本 次 课教学目标通过学习本节内容使学生初步了解固气界面现
7、象；掌握计算气体分子的碰撞数；熟悉掌握物理吸附和化学吸附。本 次 课重点难点计算气体分子的碰撞数；物理吸附和化学吸附。教学基本内容设计：2.1固气的界面现象2.2气体分子的碰撞数2.3物理吸附和化学吸附一、物理吸附二、化学吸附三、物理吸附与化学吸附比较辅助手段和时间分配0.5学时0.5学时0.4学时0.4学时0.2学时本次课小结作业、预习等本课小结：通过本小结的学习使大家掌握掌握计算气体分子的碰撞数；熟悉掌握物理吸附和化学吸附；初步了解固气界面现象。预习内容：吸气剂第6 次课课时2 学时 章节题目第二章真空技术的物理基础（二）-固气界面现象本 次 课教学目标通过学习本节内容使学生熟悉掌握各种光
8、源中使用的吸气剂。本 次 课重点难点吸气剂的作用及吸气原理；光源中使用的吸气剂应满足的要求；几种吸气剂的特点及应用。教学基本内容设计：2.4吸气剂一、吸气剂的作用二、吸气原理三、光源中使用的吸气剂应满足的要求四、白炽灯用吸气剂五、荧光灯用吸气剂六、高压气体放电灯用吸气剂辅助手段和时间分配0.2学时0.3学时0.3学时0.4学时0.4学时0.4学时本次课小结作业、预习等本课小结：通过学习使学生们掌握吸气剂的作用及吸气原理；了解光源中使用的吸气剂应满足的要求及特点。预习内容：惰性气体第7 次课课时2 学时 章节题目第二章真空技术的物理基础（二）-固气界面现象本 次 课教学目标通过学习本节内容使学生
9、了解惰性气体及其净化；掌握气体脱附速率及去气方法。本 次 课重点难点去气方法教学基本内容设计：2.5惰性气体净化2.6脱附速率一、脱附速率公式二、金属去气方法三、玻璃去气方法前二章（真空技术的物理基础）总结辅助手段和时间分配0.4学时0.4学时0.4学时0.4学时0.4学时本次课小结作业、预习等本课小结：通过学习使学生们了解惰性气体及其净化；掌握气体脱附速率及去气方法；总结真空技术的物理基础知识。预习内容：真空获得第8 次课课时2 学时 章节题目第三章 真空获得本 次 课教学目标通过学习本节内容使学生掌握真空泵性能参数；了解分类；掌握旋转式机械真空泵工作原理、特性及应用。本 次 课重点难点真空
10、泵性能参数； 旋转式机械真空泵工作原理。教学基本内容设计：3.1 概述一、真空泵性能参数1抽气速率2极限压强3最大工作压强4压缩比：泵对给定气体的出口压力与入口压力之比二、真空系统时间常数三、真空泵分类3. 2 旋转式机械真空泵一、工作原理二、泵的特性及其应用三、机械泵的改进四、机械泵的常见故障和排除方法辅助手段和时间分配0.4学时0.2学时0.2学时0.4学时0.2学时0.4学时0.2学时本次课小结作业、预习等本课小结：通过学习使学生们熟练掌握真空泵性能参数；掌握旋转式机械真空泵工作原理、特性及应用。预习内容：机械增压泵第9 次课课时2 学时 章节题目第三章 真空获得本 次 课教学目标通过学
11、习本节内容使学生掌握机械增压泵。本 次 课重点难点机械增压泵的工作原理及特点。教学基本内容设计：3.3机械增压泵一、名称和工作原理二、机械增压泵的特点三、机械增压泵的型号和技术参数四、应用辅助手段和时间分配0.5学时0.5学时0.5学时0.5学时本次课小结作业、预习等本课小结：通过学习使学生们熟练掌握机械增压泵的工作原理及特点；了解机械增压泵的型号、技术参数及应用。预习内容：蒸气流扩散泵第10 次课课时2 学时 章节题目第三章 真空获得本 次 课教学目标通过学习本节内容使学生熟悉扩散泵的工作原理及特性；初步了解扩散泵的一些实际问题。本 次 课重点难点扩散泵的工作原理及特性。教学基本内容设计：3
12、.4 蒸气流扩散泵一、概况1.历史2.工作物质3.分类二、扩散泵的工作原理三、扩散泵的实际问题四、扩散泵的实际特性及应用辅助手段和时间分配0.5学时0.5学时0.5学时0.5学时本次课小结作业、预习等本课小结：通过学习使学生们了解蒸气流扩散泵的概况；熟练掌握扩散泵的工作原理、特性及应用。预习内容：涡轮分子泵第11 次课课时2 学时 章节题目第三章 真空获得本 次 课教学目标通过学习本节内容使学生掌握涡轮分子泵和离子蒸发泵。本 次 课重点难点涡轮分子泵和离子蒸发泵的工作原理及应用。教学基本内容设计：3.5 涡轮分子泵一、工作原理二、结构三、工作特性四、应用3.6 离子蒸发泵一、工作原理二、具体的泵三、应用辅助手段和时间分配0.3学时0.3学时0.2学时0.2学时0.4学时0.4学时0.2学时本次课小结作业、预习等本课小结：通过学习使学生们掌握涡轮分子泵和离子蒸发泵的工作原理、结构、特性及应用。预习内容：吸附泵和低温泵第12 次课课时2 学时
