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1、文件编号：WI-版本/修订：A /0文件 名称管式扩散炉操作规程页码：1/5生效日期：2006年7月18日1工艺控制软件的使用1.1 软件的启动 按下“上电”按钮，启动工控计算机，双击“扩散监控系统”图标后启动工艺控制软件，启动软件后，程序进入 登录界面，选择用户名，输入密码，即可登陆。如果修改密码，则先输入原密码，再在相应的恶框内输入新密码，按确认后就可完成修改。正确输入密码登录后， 进入手动操作界面。1.2 温度设置 界面上有三个模拟温度控制器图形，分别对应扩散炉的三端温度控制器。温度控制器图形中第一行三个绿色的示 值为左、中、右三个温区的控温热电偶测量值。三个热电偶之间的区域正是该设备的
2、恒温区。第二行的三个红色 示数为温度控制器的温度设定值（SV值）。三个点的SV值可以单独设置，主要供调试和维护所用，在自动运行 界面中，没有开放。温度设定值在本窗口可以修改。修改方法：点击温度控制器上的SET按钮，SV值的颜色改变，通过” + 1” 等按钮进行修改数值，然后再次点击SET按钮，该端点的SV值将得到修改。1.3 手动界面的温度曲线和流量曲线显示在手动操作界面中有一个记录并描叙温度的曲线图。横坐标为时间轴，起始长度为1小时，记录到一小时时，时 间区域长度自动翻倍，依次类推，一直记录，在两种情况下将自动停止：1）点击“退出系统”按键，退出工作程序；2）进入程序工艺运行（此时将启动运行
3、状态下的温度曲线记录）。温度曲线是控制热电偶PV的温度记录，左端温度记录曲线显示为白色线条，中点温度记录为红线条，右端温度 记录为绿线条。见面右上角显示有系统时间，每月要注意将其与标准时间核对。 本界面还有流量曲线显示，操作同温度曲线显示，通过手动操作间界面上的“温度曲线流量曲线”进行温度曲 线显示和流量曲线显示的装换。1.4 阀动作设置 在手动操作界面的中上部有系统的气路总图和气路简图的显示，两者可以通过“气路总图气路简图）按钮进行 切换。在窗口的右下侧，有一个“设置区域”，在该区域可对电磁阀状态和气体流量进行设置。设置键为右侧中幕上是气体简图中的阀门将会改变颜色（绿色为开，红色为关）。设置
4、区右侧是测量数值区，可以观察到实际气部的“+1 ”等按键。在设置02阀、N2阀、小N2阀气体阀门及流量时，相应的气体阀门将会打开，反映在屏 体流量的大小，显示单位为L/min。1.5 舟动作设置 界面的右下角，有一个“测量值区域”。显示舟的状态（舟前进、舟后退、舟停止、前限位、后限位），舟处于那 个状态，那个状态就显示红色“True”。 在手动操作屏的舟移动上只需设置舟速并选择前进或后退即可实现舟的自动动作。操作过程如下：1）点击设置区域中的舟前进或舟后退，使其选中为有效，此时已红色突出显示。2）单击设置区域中的舟速，使其选中为有效，然后通过软键盘设置速度值。速度值允许输入05 0 0,单位
5、mm/Min，速度设置为0表示舟停止状态，数值越大速度越快，但高速状态下不利于周的运行平稳，所以一般设 置在2 0 03 0 0之间。3）在舟的运行中，点击“舟停止”按键，周立即停止运动。4）舟运动时，如果判断到舟的限位开关被压住，周将自动停止。1.6 调试恒温区1）根据工艺要求在计算机上设置好所需的温度值。编制：日期：审核：日期：批准：日期：文件编号：WI-版本/修订：A /0文件 名称管式扩散炉操作规程页码：2/5生效日期：2006年7月18日2）按下面板上的“加热开”按钮。3）当炉温达到设定温度并稳定后，用标准测温系统先测三个点：恒温区中点、左端点、右端点（如800mm长 的恒温区，则测
6、炉体中点及其左右400mm处的两点），根据测得温度的高低，对相应的温控仪的温度修正值做出 修改，修改后待温度稳定10min后再测，经多次反复到三点调平后，再将热电偶放至炉体左端点处稳定15分钟 以上，然后每隔3分钟将热电偶拉出50mm,根据数字表的显示情况再对相应温控仪的温度修正值作适当调整。1.7 工艺编辑 单击“数据编辑”按钮，程序进入集成工艺编辑屏。具体操作如下： 打开工艺：如果想打开其它已经编辑的工艺，只需在“打开工艺号”下拉框中选择所需工艺号即可。打开其它工 艺时，当前编辑的工艺不保存。 编辑工艺：编辑工艺数据时，先用鼠标点击想要编辑数据的位置，然后单击软键盘的相应按键，即可编辑书记
7、。程序的工艺最多为3 0步，每次显示15部，按“下一页” /”上一页”切换。编辑时最好从第一步开始，先编 辑工艺时间，只有工艺时间不为零时才可编辑该步其它工艺。设置推舟状态， 0 表示停止， 1 表示前进， 2 表示 后退。点击“插入步”按钮，将出现“插入步号”的下拉框，选好插入步号后点击“确定”，即实现插入操作。删 除步骤方法相同。工艺保存：编辑完工艺后，在“编辑工艺号”下拉框中选择希望保存的工艺号，然后点击“存盘退出”，则工艺 保存完毕。不想保存，则点击“不存盘退出”，回到手动操作界面。设置工艺升温过程时一般分如下步骤：第一步温度设置为40度，时间1 分钟，即设备在常温下停留1 分钟。 第
8、二步升温，时间为目标温度除以 6，即升温斜率为6度/分钟。工艺曲线历史记录 点击手动界面的工艺曲线按钮，进入打开历史记录屏： 在工艺记录屏，不要选择盘符及目录，使用系统默认的目标位置。选中文件，文件名为“年月日-工艺号本日第n次运行此工艺号”。在左下方有相应的文件资料。 点击“删除”，可将选中文件删除。点击“返回”可退出本窗口。点击“历史数据”可查看工艺运行历史数据， 在工艺运行历史数据记录屏中可查看历史时间点的各项参数，记录每6秒为一个间隔。点击“温度曲线”可打开 工艺运行历史温度曲线。点击“转换文件”按钮，可把选定的记录文件转换成同名的Excel文件。1.8 工艺运行 点击手动操作屏的“工
9、艺运行”按钮，进入操作人员运行登录屏，输入正确的工艺运行信息进入工艺运行窗口。 在运行窗口左上侧，是本步工艺信息；点击“运行”按钮，将切换为保持状态，程序运行的所有倒计时停止， 其他一切如常，点击“已保持”可切换至运行状态。点击“在线编辑”可对未运行的工艺步骤进行编辑。1.9 断点启动 控制程序在工艺自动运行时如果中途退出或因断电、死机等原因未能正常完成设定工艺，将自动生成断点信息， 在手动操作屏中点击“断点启动”可查看发生断点时的各种工艺参数。点击断点启动运行将直接进入自动运行屏 继续运行剩余的工艺。1.10 报警显示 单击手动操作屏的“报警窗口”按钮，将在屏幕的气路图显示区域显示系统的报警
10、状态，相应项的灯为红色的表 示在报警。如果出现“控制热偶短路或温控仪温度显示异常报警”，系统会自动地显示报警窗口，只需单击“报 警窗口”按键就会解除报警状态。1.11 退出程序 点击手动操作屏中的“退出系统”按钮，输入正确的密码后，点击确定按钮即结束控制程序，程序退出后温度设 定不变，流量设定全部为 0。编制：日期：审核：日期：批准：日期：文件编号：WI-版本/修订：A /0文件 名称管式扩散炉操作规程页码：3/5生效日期：2006年7月18日1.12 程序操作注意事项1）严禁删除计算机内已经安装的各种软件，需要重新安装操作系统或本控制系统时，需由经过培训的人员 进行。2）程序退出后将关闭所有
11、的阀门及流量，推舟停止运行，温控仪的各个参数将保持。3）如设备长时间不运行工艺，要关掉主机电源。运行本程序时禁止玩游戏和运行其他程序，未经允许，不 得进行磁盘操作。2. 设备各个组件的使用2.1 碳化硅桨的使用1）首次使用前清洗A 湿法清洗：用 HF:HCL:H2O=1:1:4 或 1:1:10 ，然后在去离子水中彻底清洁漂洗。B干燥：产品湿洗之后进入高温前必须经过彻底干燥，在干净的N2吹扫环境下，室温干燥24小时，或者在 150度下干燥4小时，吹扫后必须以低速（小于8inch/min）低温（低于400C ）的状况下进入炉管。400C 保持1小时以后，再以10C/min的速度升温。2）维护时的
12、清洗A湿法清洗：使用HF:H2O=1:4的溶液清洗，根据使用具体情况来确定清洗的周期。B 干燥：（参照 1）2.2 石英器件的使用 清洗程序：1）用去离子水将石英器件冲洗干净；2）将石英管置于5%氢氟酸溶液中浸蚀5分钟；3）用去离子水冲洗干净以后，干燥待用。 注意：搬运石英件时，应小心谨慎，并随时使用棉制手套。2.3 扩散源的使用源的灌装：1）装源的石英瓶必须清洗干净，并用N2吹干；2）确保源瓶上的阀门与瓶颈之间无泄露；3）装源必须在有良好抽风系统的房间进行，并且操作人员必须佩带能有效保护眼睛及呼吸系统的防护面具，必 须戴好厚橡胶手套，不得将皮肤裸露在外。源瓶的安放：1）在将源瓶放入恒温槽之前
13、不得打开源瓶上的阀门。2）向恒温槽注入深度为槽深2/3 的水。3）双手扶助源瓶，并将其倾斜，慢慢放入恒温槽对应的位置。4）连接好气管（小管进气，通至源瓶的底部，携带源的N2从粗管排出）。5）打开进气阀和出气阀。注意：进气管道和出气管道千万不可接反，装好源瓶后进气阀门和出气阀门必须打开，否则通气以后会引起源瓶 爆炸，对设备造成严重损坏。2.4 安全保护及事故处理 安全保护注意事项：1）设备一定要有良好的接地2）装扩散源时，必须在有良好的通风排毒的条件下进行3）当系统出现报警时，必须在彻底排除故障后方可重新开机4）进行扩散工艺时，炉口废气室、源柜的排气口，一定要与通风系统相通编制：日期：审核：日期
14、：批准：日期：文件编号：WI-版本/修订：A /0文件 名称管式扩散炉操作规程页码：4/5生效日期：2006年7月18日5）超温保护要求每天工艺前测试一次出现故障时的处理：1）扩散源出现故障时，应先关闭相应的气路的手动阀，并暂停工艺运行，待排除故障后才能继续扩散工艺2）炉子超温，会自动切断加热电源并发出声光警报，此时应先查找原因，待故障处理后再重新开启加热3）如发生液源溢出，要立即擦拭干净，并暂停工艺，仔细检查源瓶是否破裂。保养与维护1. 恒温区校准周期 炉子恒温区调好以后，不是频繁连续工艺，可三个月校准一次，连续工艺，一个月校准一次2. 炉体保温在隔一天以上的工艺之间，炉温最佳为500C600C保温。3. 设备工作环境应长期保持清洁、干燥、无污染。4. 设备长期不用时，每隔一星期通电运行一次，防止器件受潮失效。 更换损坏元器件时，应尽量采用规格、型号相同的器件。温控仪等关键器件不得采用替代品。编制：日期：审核：日期：批准：日期：文件编号：WI-版本/修订：A /0文件 名称管式扩散炉操作规程页码：5/5生效日期：2006年7月18日编制：日期：审核：日期：批准：日期：
