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1、无尘洁净室一、无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除，并 将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某 一需求范围内，而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。二、无尘洁净室的原理。洁净室是利用HEPA、空气净化设备，其尘埃的收集率达 99.9799.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了 人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须 利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。三、无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则：禁尘、带尘、产尘。风淋室作为 进入洁净室的缓冲通道之
2、一，是控制带尘的最好净化设备之一，它可以最大限度地减少员工 进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻 止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。四，无尘洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温 湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。按照 国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规 定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然 这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经
3、是小的微乎其微，但是对于光学 构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上， 无尘是必然的要求。伍每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘 标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高 标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内， 这也就是业内俗称的1K级别。净化原理编辑气流初效空气处理空气调节中效空气处理风机加压送风净化送风管道高 效送风口T洁净室T带走尘埃（细菌）回风夹道新风、初效空气处理。重复以上过程，即可达到净化目的。技术参数换气次数：十万级1
4、0 15次/小时；万级1525次/小时；千级5052次/小时；百级操作台断面风速0.25-0.35m/s；压差：主车间对相邻洁净房间5Pa ；洁净房间对非洁净区10Pa；温度:冬季16C2C ；夏季 v26C2C；新风补充量：总送风量的20%30%；结构材料1洁净室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化专用的氧化铝型材制造。 门采用净化密闭门，窗采用铝合金玻璃固定窗。2地面采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板。3净化通风管道选用镀锌薄钢板制作，并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。组成系统作用过滤器过滤器的基本知识过滤器是洁净室的主要净化设备，是空气净化的主要手段。因此，对于从事洁净
5、室设 计、建造和维护管理人员了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。1过滤器的分类按过滤器的性能（效率、阻力、容尘量）来划分，通常将其划分成粗效、中效、高中 效、亚高效、高效（HEPA）和超高效（ULPA）六类过滤器。我国国家标准空气过滤器GB/T14295-93中将不同过滤器的效率和阻力规定如下:国家标准高效空气过滤器GB13554-92中规定将高效过滤器按性能划分为A、B、C、D四类。D类又通称为超高效过滤器（或称为0.1pm高效过滤器或超低透过率过滤器）。性能指标性能类别额定风量下的大气尘限径计数效率（E %）额定风量下的初阻力（Pa）初效三 5.0um80 E 20W 50中效三 1.
6、0um70 E 20W 80高中效三 1.0um90 E 70W 100亚高效三 0. 5um99.9 E 95W 150国外将超高效过滤器（ULPA）的过滤效率指标规定为对于0.12pm粒子的过滤效率ER99.9995%。性能指标性能类别效率（E %）额定风量下的初阻力（Pa）A额定风量下的钠焰效率三 99.9W 190B额定风量和20%额定风量下的钠焰效率三 99.99W 220C额定风量和20%额定风量下的钠焰效率三 99.999W 250D额定风量和20%额定风量下的三0.1卩m粒子效率三 99.999W 280洁净室用14295粗效C2LL美国ASCC57HRAE 标13准LL68C
7、4我国标一般通风用准 GB/T中效高中效 亚高效MM191 M M11H15MM 341102咼效超咼效UH1U7HH16UH201U9H18关于我国和欧美对过滤器的分类比较如下:传递窗1目的：不耐高温、高压灭菌方法灭菌的物品传人屏障系统的灭菌方法。2依据：实验动物管理条例（中华人民共和国国家科学技术委员会令第2号，1988）, 动物饲养设施条件要求（中华人民共和国国家标准，2001）。3操作规程：1、用0.5%过氧乙酸或5%碘伏液擦拭待传递的物品。2、打开传递窗外侧门，迅速放置待传递物品，用0.5%过氧乙酸喷雾消毒传递窗，关 闭传递窗外侧门。3、开启传递窗内的紫外灯，紫外照射待传递物品不少于
8、15分钟。4、通知屏障系统内的实验人员或工作人员，打开传递窗内侧门，取出物品风淋室1、概述：风淋室是洁净厂房和装配式洁净室的设备，用于吹除进入净化厂房的人体和 携带物品表面附着的尘埃，同时风淋室也起到气闸的作用，防止未经净化的空气进入洁净区 域，是进行人体净化和防止外空气污染洁净区的有效设备。结构：系列风淋室均采用发泡隔热彩色壁板及铝合金构件装备而成，配置离心机风机 及初效和高效空气过滤器，具有外型美观、结构紧凑、检修方便、操作简单等特点。2、原理：风淋室内的空气由风机的作用经初效过滤器进入静压箱，经高效空气过滤器 过滤后，洁净空气从风淋室的喷嘴高速喷出，喷嘴角度可调节，可有效地吹除人特或携带
9、物 品表面附着的尘埃，吹下的尘埃再回收进入初效空气过滤器，如此循环可以达到风淋的目的。3、用途及特点:风淋室是操作人员进入洁净室时使用的人身净化装置，它利用高速洁 净气流吹淋除掉进入室内人员身上的污物，其喷嘴可调节，以便有效除去人身上的灰尘，并 阻止外界污染进入洁净区域。它也可应用于大件货物的吹淋。4、设备组成：主要由室体、照明、过滤系统、风机组、吹嘴、电控等部分组成。FFU层流罩FFU在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是：(1) 采取均流及减少噪音的措施，噪音可在50db以内；(2) 电动机采用DC/EC(电子整流电机)，以耗较原交流电机节约近50%,因为小风机所 用小容
10、量(功率V1/2HP)的交流电机，一般皆为电容分相式或隐极式，其效率仅40%左右， 而DC/EC电机的效率可达7580%;在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以 节约能耗，但目前投资回收期尚长而未广泛采用，一般常用分组群控或全部群控。(3) 但 FF瓣出口静压不能过大，一般采用出口风速成0.38m/s，此时其静压一般在 250Pa以内。具体情况下的评价：(1) FFU用于老建筑物改造成洁净室时，其综合经济性一般往往可取。(2) 洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率100%时，对大的系统采用FFU，当前 还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。(3) 对洁净度要求不甚严的洁净室，末级过
11、滤器满布率40%时对大系统综合经济性往 往相差不多，但对IC工厂而言FFU系统的灵活性是重要的，因此当前IC工厂对过滤器满 布率40%时，采用FFU系统已经普遍。原材料和设备除了人员进出洁净室须予以规范管理外，原材料及设备进出也必须经过洁净程序，方 不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。至于搬出则反向而行，但不须经洗涤程序。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10,000级房间，工作人员于其室内 清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服，所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布，清 洁剂除了使用超纯水之外，并加入35%浓度的IPA或丙酮化学品，以增强去污能力，由 于IPA及
12、丙酮具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免破坏地板支架及地 板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。无尘洁净室用品清洁室内用品除了进出洁净室用的洁净衣、防静电鞋、头罩、帽、手套、口罩外，尚 有如纸张文具桌子、椅子、晶片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、真空洗尘器等。洁净衣材料以洗后或使用其他处理后仍不会变质或发尘者为基本条件，且其布料为不 易燃烧、不起毛，其织法或布料组织不易通过污染物和不易附著污染物材质，另外经过摩擦 不产生静电或带电性非常，洗涤再生容易、不易皱、著衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩 材质为无尘纸（或无纤纸）制成，帽子材质则与洁净衣同，二者在穿戴
13、使用时，除了只露出 眼睛或脸表面部分外，其他部分均须包覆，在头部部分连接上衣处也必须完全盖住，不能留 有空隙，头发亦不能露出来。洁净室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤，底则采用塑胶底，布质部分 则采用与洁净衣相同材质即可，鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套材料 除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂（VinyI），在使用过程中若有不舒适感 或妨害手指脂触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停用，原则上以使用无粉之 Vinyl手套为佳。（清洁急救网合作工厂伙伴为清洁同行提供无尘车间实地演示）无尘衣、 鞋、帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在洁净室内进行，并
14、以纯水配合清洁溶剂， 并经约0.2“m过滤器为之，一般洗涤周期视清洁度等级而定，在高洁净区为23天，其他 区域则为5天1星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洗涤衣置放场所须为洁净室，备用品 或新品存放柜内，正使用者则吊挂衣架上，以为方便取用在洁净室中，人是决定微粒污染物产生的重要因素。洁净室内工作的人员都应当充分 了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大，这才是最重要的。上海净化工程为您介 绍洁净室工作人员应遵循的规程，有关服装和个人用品方面的要求，供读者参考。至于珠宝首饰，工作人员可以戴结婚和订婚戒指，但最好不要戴有尖角或者边沿锋利 的戒指，因为它们可能会刺穿手套或者衣服。如果一定要戴这种戒
15、指，就需要在戴手套和穿 洁净服之前用带子把它们缠起来。建议不要佩戴悬垂式耳环、项链、胸针和其他凸出来的或 者悬挂的饰品，即便它们一般都是藏在衣服里面，也最好不要佩戴这些饰物。因为这些东西 可能会干扰洁净室或者实验室的正常活动。个人物品，例如香烟、钱包、纸巾和纸制品，都要存放在办公桌或者储物柜里，不能 把它们带进洁净室。除非得到管理人员的特别许可，否则，在洁净室里，衣服口袋只能是空 的。在进入洁净室之前，首先要把眼镜和护目镜上所有看得见的微粒污染物擦掉。干燥的皮屑、呼出的空气和唾液都可能会污染产品。一次性鞋套最好每天更换一到两 次。大多数更衣室都有干净的一边和污染的一边，洁净室人员应该始终按规定执行。不能穿 着鞋套走出更衣室，又穿着同一双鞋套走进来。最好戴蓬松的圆帽。正如前面所说的，头发，
