真空镀膜机抽真空步骤

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真空镀膜机抽真空步骤1、检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在关位置。2、打开总电源开关,真空镀膜设备送电。3、低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,4、钟罩升起。安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩 内各部位,保证无任何杂质污物。5、落下钟罩。6、启动真空镀膜设备抽真空机械泵。7、开复合真空计电源。1)左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。2 )低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至110mA时,左旋钮1旋转至指向2区段测量位置。8、当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至67Pa时,低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。9、真空镀膜设备开通冷却水,启动扩散泵,加热40mi n。10、低压阀拉出。重复一次动作程序:左下旋钮“1” 转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动, 当指针移动至67Pa时,开高压阀。等低真空表“2”内指针右移动至0IPa时,开规管灯丝开关。1)发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。2)左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

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