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1、三氯氢硅的生产工艺与技术路线的选择2.1三氯氢硅的生产原理及催化反应机理2.1.1生产原理三氯氢硅是通过高纯氯化氢气体与金属级单体硅（质量分数98.0%99.0%） 在一定温度、压力条件下反应制备的。反应方程式如下：2.1.2催化反应机理2.2三氯氢硅的生产原料选择2.2.1以四氯化硅为原料（还原法）2.2.2以硅粉为原料（直接法、硅氢氯化法）2.2.3 工业硅粉（1）硅粉的性质硅粉的选择硅粉的规格对反应与产品质量有很大影响。选择硅粉时主要考虑以下2点。（3）硅粉精制2.3三氯氢硅生产工艺流程2.3.1氯化氢的制备(1) 氯化氢的性质(2) 氯化氢合成条件(3) 氯化氢合成工艺2.3.2三氯氢
2、硅合成该工序是整个三氯氢硅生产中最重要的部分。233气固分离2.3.4合成气冷凝2.3.5精馏提纯近年来，三氯氢硅的提纯技术发展很快，但由于精馏法工艺简单、操作方便, 所以目前工业生产中主要用精馏法。2.3.6废气处理2.4三氯氢硅制备及精制工艺进展2.4.1硅氢氯化法2.4.2 SiCl-H 还原法422.4.3三氯氢硅的精制2.5三氯氢硅生产工艺比较2.6三氯氢硅质量指标目前我国三氯氢硅没有国家统一标准。征求意见稿中：工业三氯氢硅分为I、 II两型，I型工业三氯氢硅产品用于生产多晶硅，II型工业三氯氢硅产品用于生 产硅烷偶联剂的单体。本标准适用于由硅粉和氯化氢为原料经提纯后生产的工业 三氯氢硅。该产品主要用于生产多晶硅和硅烷偶联剂等。表2.1三氯氢硅质量指标表项目I型II型优级品一一级品合格品优级品一一级品合格品外观无色透明液体三氯氢硅w/%99.599.098.599.599.098.5二氯二氢硅w/%0.100.300.500.200.300.50四氯化硅w/%0.250.500.700.250.500.70氯硅烷聚合物w/%0.050.100.300.050.100.30硼w/%0.000010.000030.00005详细内容参见六鉴网()发布三氯氢硅技术与市场调研报告
