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1、MT管理体系文件静电放电防护管理程序ESDProtectiveControlProgram(Guideline：46800010ESDControlGuideline，IDT)1. 目的Purpose本文件是MT设施设备ESD控制程序的指南和手册。ESD控制程序的主要目的是建立合适的规章制度帮助MT产品减少因ESD产生的产品失效，为了保护静电放电敏感装置（ESDS）不受ESD伤害，MT设施设备所在部门必须执行的控制程序。该ESD控制导则给出了通用准则。特定的MT成员单位的ESD控制程序必须遵守本文档给出的范围。允许各部门制定较ESD控制导则更严格的规章制度。本文件的另一个目的是增强ESD防护意
2、识和了解ESD概念的重要性，提供ESD防护规章制度的说明和背景信息，增加它们用于后续设施的可能性。2. 范围Scope基于本指南的当地ESD控制程序应在整个MTGE范围内执行，为了避免整个过程中ESD的危害，建议所有MT涉及ESDS装置的组织也执行基于本指南的ESD控制程序。3. 职责Responsibility每个成员单位，指定一位人员作为ESD主管，按ANSI/ESDS20.20-2007的要求，ESD主管是ESD控制程序的管理者的代表。ESD主管负责当地ESD控制程序的说明和执行，并符合本准则。ESD主管同时负责每年对ESD控制程序以及所有相关文件包括ESD控制程序的审核系统和培训材料的
3、评估、改进和更新。ESD主管管理维护MT成员单位对ESD培训的充分性，以及ESD控制程序要求的符合性。ESD控制准则同时也应每年评估，该活动由MTGE负责，MTCT/MTCZ积极参加。4. ESD控制程序设计ESDControlProgramDesign各部门编制ESD控制文件、大纲和必要的预防和措施，应遵照保护ESDS装置，避免在操作过程中对其造成伤害。主要理念（原则）是：- 所有导电的或静电耗散材料对地电气连接；- 在ESD防护区域内限制非导电材料的出现，将其出现的可能性降至最小；- 使静电场远离未受保护的ESDS装置，以及- 将ESDS装置搬离EPA时使用合适的ESD防护包装。准则基于假
4、定ESDS装置对100V或更高的人体模型电压敏感，如果装置对更低电压敏感应采取更多的预防措施。4.1. EPA的要求DesignatedEPAs指定EPA是对进入该区域所有人和物品能进行静电控制。仅允许在EPA对没有ESD包装保护的ESDS装置处理，不允许在EPA以外的区域对未受保护的ESDS装置作业。EPA的型式是任意的，如单独一张工作台、实验室、房间或建筑物。开阔地面中标注的EPA分界线应距对ESDS装置存放或作业边界至少1m。未受保护的ESD敏感装置仅允许在接地的ESD工作站由经ESD培训合格的员工对其进行作业；只有经ESD培训合格的员工允许进入EPA，任何时候未经培训的参观人员或未经培
5、训人员必须在接受过ESD控制培训的人员陪同下进入EPA。ESD控制程序文件的最新版本在所有指定的EPA中应保存并有效，且EPA中所有人都易于取得。4.2. 符号和标签SignsandLabels适当的标签和符号可以用于帮助提高与ESD相关人员的警惕性。图1：ESD保护标记图2：ESD警示标记EPA内的所有装配设备是ESD保护的，用ESD保护标签加以标识并清晰可见。如工作服、接地设备、包装等，也用于标识替代产生静电的物料如：垃圾桶、椅子、工作站设备等。该标记可以用任何方式（打印的、丝网印刷的、压印的）施加到物体上，图1是ESD保护标记的举例。从EPA取出或进入EPA的ESDS装置的包装材料用ES
6、D警示标记标识，该标记必须位于清晰可见的位置。ESD警示标记的举例见图2，允许用带ESD保护标记的包装件代替ESD敏感标记，如果包装没有用这两种标记标识，应用其它方法作为ESD保护要求加以清晰区分。4.3. EPA中的各项AllowableItemsinEPA旨在用于EPA的各项内容应不产生或存储静电荷，导电的或静电耗散型材料应良好接地，绝缘材料会带有电荷和散发电场，应远离ESDS装置。对进入EPA的各项内容被分为3种类型：- 无实质意义的- 非生产过程需要的- 生产过程需要的a. 没有实质意义的内容不允许在EPA内出现，当前EPA内所有没有实质意义内容应搬出，下列无实质意义的内容（但不限于这
7、些）对ESDS装置有危害： 咖啡杯（纸质或泡沫所料） 玻璃 食品或食品包装纸 护手霜或护肤液 报纸 塑料 薄膜 电子游戏机b. 非过程要求的内容在被带入EPA之前必须首先由ESD主管确认和检验合格。如果作业过程不需要的内容允许进入EPA，但又能携带电荷并在距其表面2.45cm远处测量到散发的电场场强大于800V/cm，该项内容必须： 远离工作面至少1m； 在有潜在风险但允许在EPA存在的清单中记录。非过程要求的内容（但不限于这些）包括： 无线电 纸巾盒 电话机c. 作业过程需要的内容在带入EPA之前应首先由ESD主管确认和检验合格，ESD主管必须确定这些内容是否允许被带入EPA。作业过程需要的
8、内容允许在EPA内，但如果其带有电荷并能在距其表面2.45cm处测量到散发电场强度不小于800V/cm，该项内容必须： 远离ESDS装置至少30cm； 如果不能做到，那么必须使用离子或其它减少电荷技术中和电荷； 在存在潜在风险但允许该内容在EPA存在的清单中记录。作业过程要求的内容（但不限于这些）包括： 计算机 监视器 计算机附件 扫描仪该潜在风险但允许存在内容的清单应在此EPA内能得到，ESD主管负责保存该清单至最新执行清单生效。4.3.1. 电动工具ElectricallyPoweredToolsEPA中的电动工具（如：交流电动工具、烙铁和机械设备等）应按制造商推荐的程序维护，保证运行正确
9、和预防ESD事件的有效性。指定EPA中所有电源供电设备在安装和使用前应由ESD主管确认并检验合格。EPA中的所有电源供电设备应设计成触及或接近ESDS装置的导电部分连接到设备的接地。4.3.2. 带子Tape当带子从卷筒上放开时，在带子上会产生大量的静电荷，从PCB板或引线上拆除时也会有摩擦带电，这些电荷能在PCB板的裸露区上保存数个小时，因为裸板的材料为塑料、环氧、陶瓷类的绝缘材料，这些剩余电荷会耦合到电路器件并能损害电路，如果放电会产生一个ESD事件。透明胶带和其它规定的非ESD防护设计用带子不允许在EPA中使用，EPA使用的所有带子必须具有ESD防护特性并具有标识表明其防护特性。5. 人
10、体接地EmployeeGrounding人是产生静电的主要原因之一，员工带电并与ESDS装置接触，会产生一个ESD事件。人体接地装置（如：腕带、ESD保护鞋和工作服）用于消除电荷的聚结，因为它们与导电的或静电耗散材料相连接。当环境中所有人和其它导体电气连接并连接到大地后，他们具有相同的电位。当系统中的各项内容保持相同的电位，就没有相互之间的放电危害，静电电荷在聚结前就被安全地消散到大地。5.1.1. 腕带WristStraps腕带是控制人体静电电荷的主要方法，配戴腕带保持人体在地电位。腕带有两个主要部件：袖口，围绕人的手腕；接地电线，连接袖口与公共接地端。组成袖口的金属盘（环）确保与皮肤良好接
11、触。袖口的其余部分也是导电表面用于在任意拉拽时抬高金属盘远离手腕时能与皮肤接触。在指定的EPA中，可接受的对腕带的测量电阻见4.13表1的规定，给定的电阻值是接地电线与穿戴者袖口表面之间的值，腕带应在接地电线靠近人手腕端内置1M电阻，这是用于限制在ESD事件发生时通过穿戴者到地的电流。腕带固定必须充分舒适紧贴，安全地连接并与皮肤接触。不能穿在衣服上以及受任何其它物品影响，确保电荷从员工身体散发掉如果员工通过ESD保护的鞋和ESD保护的地面，不需要穿戴腕带，该情形仅适用于站立工作的员工。员工坐在工作站处理ESDS装置必须戴腕带并连接到公共地，如果在工作指南（作业指导书）中明确注明不要求戴腕带除外
12、。员工每天进入EPA前应目测检查腕带和对腕带进行电气检测。更多的信息见4.5节。5.1.2. 鞋Footwear人们在徒步穿过地面时会产生高达几千伏的电荷电压，在导电的地面上穿导电的ESD防护的鞋将在人体和地面之间提供必要的电气连接，人体身上的任何电荷会通过导电的通路对地散发掉，相比之下绝缘鞋不具ESD防护功能，会阻止静电电荷流入大地。EPA是ESD防护的地面，任何时候EPA中的每个人必须穿导电的ESD保护鞋。该要求适用于因任何原因需要进入指定EPA的每个人，ESD防护鞋必须具有明显可见的标签或标识，表明鞋子是静电防护受控的。在指定EPA内穿ESD防护鞋必须双脚同时穿，确保在站立或行走的任何时
13、候总有一只脚与地面接触，这提供了员工在指定EPA内移动时仍然良好接地的方法。导电的ESD防护鞋在EPA内使用前必须首先经ESD主管的检验。ESD防护鞋可以是各种不同类型的，如鞋子、后跟和足尖着地、靴子或鞋套。如果是后跟和足尖着地、靴子或鞋套作为ESD防护鞋，应更多关注正确的穿戴方法，因为这些易于被不正常使用。如当高统鞋太大并且能在地面上滑动，鞋的导电条会脱落从而失去其与大地的连接。如果穿后跟和足尖着地的鞋，不允许该人员在EPA内部运送不受保护的ESDS装置，不受保护的ESDS装置的输送仅允许由双脚穿接地物覆盖整个鞋底的ESD防护鞋的人员实施。每天首次进入EPA前，所有人员使用设在入口处的测试仪
14、器检测所穿ESD防护鞋，如果ESD防护鞋穿出建筑物，在重新进入EPA时，鞋的电阻必须用测试仪器重新测试。更多ESD防护鞋的日常检验见4.5节。5.1.3. 工作服Clothing人身上服装的材料可能产生电荷，会对ESDS放电，或产生静电场引起电荷。工作服的使用将减小静电场或人身上服装的电荷的影响。工作服起到隔离或屏蔽作用来保护装置免受这些电荷的危害。进入被指定为EPA的所有人员必须穿着ESD防护工作服或纯棉工作服，该要求适用于每个人，不管出于何种目的，也不管进入EPA多长时间。除颈部外，工作服的穿着必须全部扣紧，没有日常衣服暴露在外。ESD防护服必须用标签加以证明具有ESD防护性能。在EPA内
15、允许戴领带和围巾，领带的端头必须藏进ESD防护服内，不挂在服装外面。领带和围巾允许暴露在颈部。ESD防护服的电阻必须定期测量和检查，以保证ESD防护特性符合ESD控制程序。ESD防护服电阻测量合格范围见4.13表1的规定。5.2. 日常检查和接地测试DailyVisualInspectionandGroundTesting所有在EPA内工作的员工，每天在进入EPA前应目测ESD防护服、鞋和腕带，检查是否有损坏（磨损）。如果发现任何损坏，应立即与ESD主管联系，在员工进入EPA前更换好所损坏的项目内容。如果EPA地面是ESD防护地面，所有人员进入EPA前测试ESD防护鞋。该测试每天进行一次，如果ESD防护鞋被穿出建筑物，在再次进入EPA时必须重新检测鞋子。在EPA工作的员工在进入EPA前测试其腕带，该测试每天进行一次。腕带和鞋在穿戴时测试，测试设备检测其电阻，确保满足4.13给定的值。用测试仪器在分别穿上鞋和腕带测量两个接地电阻（RTG），检验工厂设定的日常测试仪器满足在4.13规定的范围内。如果腕带或鞋未能通过测试，员工在EPA工作前应立即联系ESD主管，ESD主管调查是否检测程序错误或腕带或鞋应报废。用于鞋和腕带测试的设备放置在EPA的入口处，测试结果记录在记录簿或电子记录，
