太阳能电池片镀膜工艺

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(19 )中华人民共和国国家知识产权局(12 )发明专利申请(21)申请号 CN201010154279.0(22 )申请日 2010.04.19(71)申请人浙江索日光电科技有限公司地址318050浙江省台州市路桥区泰隆街358号(72 )发明人焦保贞(74)专利代理机构代理人(51) Int.CIH01L31/18;权利要求说明书说明书幅图(54 )发明名称太阳能电池片镀膜工艺(57)摘要一种太阳能电池片镀膜工艺,包括如下次序步骤:A、放舟把电池片放入到密闭容器中;B、抽真空利用抽真空装置对密闭容器内部进行抽真空作业,在抽真空作业时分两步操作,前一步抽真空的作业速度要慢于后一步抽真空的作业速度,最终使密闭容器内的气压维持在140-170帕斯卡;C、充氨气 往容器内充入适量的氨气;D、预放电利用高频放电装置对容器内部进行放

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