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1、石英晶体基础石英，学名二氧化硅。是自然界分布最广的物质之一。它有五种变体石英、a石英、a磷石英、方石英、溶 炼石英)，其中a石英和卩石英具有压电效应，当施加压力在晶片表面时，它就会产生电 气电位，相对的当一电位加在芯片表面时，它就会产生变形或振动现象，掌握这种振动 现象，控制其发生频率的快慢，以及精确程度，就是水晶振荡器的设计与应用。石英是由硅原子和氧原子组合而成的二氧化硅(Silicon Dioxide，Si02)，以32点群的六 方晶系形成的单结晶结构(图一单结晶的石英晶体结构具有压电效应特性，当施加压力 在晶体某些方向时，垂直施力的方向就会产生电气电位.相对的当以一个电场施加在石英晶 体
2、某些轴向时，在另一些方向就会产生变形或振动现象.掌握单结晶石英材料的这种压电效 应，利用其发生共振频率的特性，发挥其精确程度作为各类型频率信号的参考基准，就是水 晶震荡器的设计与应用.因为石英晶体具有很高的材料Q值，所以绝大部份的频率控制组件, 如共振子及振荡器，都以石英材料为基础.以石英为基础的频率控制组件可以依其压电振动 的属性，可以分为体波(bulk wave)振动组件及表面声波(surface acoustic wave)振动组件.体 波振动组件如石英晶体共振子，石英晶体滤波器及石英晶体振荡器，表面波振动组件如表面 波滤波器及表面波共振子当石英晶体以特定的切割方式，以机械加工方式予以表
3、面研磨, 完成特定的外型尺寸就是通称的石英芯片(quartz wafer或quartz blank ).将这个石英芯片 放置在真空还境中，于表面镀上电极后,再以导电材料固定在金属或是陶瓷基座上，并加以 封装，就成为一般所谓的石英晶体共振子(quartz crystal resonator ).利用石英共振子在共振 时的低阻抗特性及波的重迭特性，用邻近的双电极，可以做出石英晶体滤波器.将石英振荡 子加上不同的电子振荡线路，可以做成不同特性的石英振荡器.例如：石英频率振荡器 (CXO)，电压控制石英晶体振荡器(Voltage Controlled Crystal Oscillator，VCXO)，
4、温度补偿石 英晶体振荡器(Temperature Compensated Crystal Oscillator，TCXO)，恒温槽控制石英晶体振 荡器(Oven Controlled Crystal Oscillator，OCXO)等.相对于体波谐振的是表面声波的谐振. 将石英晶体表面镀以叉状电极(inter-digital-transducer，IDT)方式所产生的表面振荡波，可以 制造出短波长(高频率)谐振的表面声波共振子(SAW Resonator)或表面声波滤波器(SAW Filter).(Fig.lCrystallized quartzmaterial1石英晶体的性质石英晶体的化学性
5、质极为稳定，常温下不溶于盐酸、硝酸、硫酸等水和酸，只溶于氢氟 酸。在加热时石英晶体能溶于碱溶液，这个特点成为人造水晶的基础。因此现在一般采用氟 化氢氨对石英晶体进行腐蚀。2石英晶体的结构石英晶体的理想外型见图i-i，从图中可以看出，石英晶体存在左旋与右旋之分，左、 右旋晶体为镜像对称。石英晶体的理想外型总共有三十个晶面，共分五组，每组六个，即: 六个M面（柱面），六个R面（大棱面），六个r （小棱面），六个S面和六个X面, 这些晶面间的夹角见表1-1。（）右績石璇M实际上理想的外型是很难见到的，尤其是人工培育的水晶，由于籽晶的切割方位及外型 不同使我们看到的形状与上图大不相同，甚至面目全非，各
6、种结晶面不易辨认。表石英晶体各晶面法线之间的夹角计算值苴和测量值（压电石英晶体秦自楷1980, p3）夹角计算值测量值夹角计算值测量值mm60 O60 ORx54 51mR38 1338 13Rr46 1646 18mr38 1338 13sR28 5428 58ms37 5837 55Sr28 5428 58mx12 112 1sx25 5725 54表1-1水晶藝本面间的夹角角度值夹角诽度值mm60RTHURRR185c45f俪Itl85M5J站,3W3石英晶体原子面采用布拉维-米勒指数和三角轴系，z轴与三根X轴构成坐标系。晶体中任一平面与四 根坐标轴的每一根相交，若平面同一根轴平行，则交
7、点中包含无限远点。因此布拉维-米勒 (B-M)指数就是一组四个数字，它们依次正比于平面同XI、X2、X3和Z轴相交点倒数 的最小整数。在B-M系中，前三个指数的代数和必为零。因此第三个数字通常不写出而用 一个点代替。若B-M指数中出现负号，则通常将负号置于数字之上。由于石英具有对映性 的特点，所以在建立坐标系的时候，必须考虑石英的左、右旋，若右旋晶体用右旋坐标系, 左旋晶体用左旋坐标系，则所有物理特性的系数值及它们之间的数学关系就是一样的oIEEE 标准委员会建议下述规范可用于石英晶体：1右旋坐标系用于描述右旋石英晶体的物理特 性，左旋坐标系用于左旋石英；2在右旋坐标系中，从旋转轴的正端观察，
8、正旋转是逆时针 方向的。由于石英结构的独特螺旋形特征，因此把Z轴的那一端定为正方向均是一样的， 即：Z轴正方向交换的话，右螺旋还是右螺旋。(石英晶体元件设计导论维吉尔E.波 托姆著 潘景程译，北京：宇航出版社1987年p18-19)表：2.2石英自然面的B-M指数m(Y)RrXZs(没搞清)x(没搞清)1(1010)(1010)(01T1)(1011)(2110)(11.1)(5161)2(1 100)(11 00)(1011)(1101)(1210)(0001) (12.1)(65.1)3(01 1 0)(01 10)(1101)(0111)(1 100)(2111)(16.1)各晶面面网密
9、度(原子密度)大小次序是：(结晶化学导论第三版钱逸泰合肥: 中国科学技术大学出版社2005，p69)1010(m), 10T1(r), 1120, (1012), 1121(s), 001(Z)2石英的原子结构石英的原子结构是以硅氧原子链组成双螺旋为单元向周围空间扩张。3石英的切型依据不同的应用领域及工作温度需求，因应了许多不同的石英切割角度种类.例如AT-, BT-, CT-, DT-, NT, GT.等不同的切割板片.不同的切割方向的板片具有不同的弹性常数张量(elastic constant tensor),不同的压电常数张量(piezoelectric constant tensor)
10、及不同的介电 常数张量(dielectric constant tensor).这些张量在石英组件的设计及应用上展现了不同的振荡 及温度特性.(图三)表现了在Z-plat石英结构上，几种不同方向的石英板片切割方式.石英切割的种类和角度，会影响到所制作芯片的频率稳定性，及重要特性参数通常客 户所要求的规格，如芯片频率偏移量与温度变化的关系，以及芯片电气特性参数，就是决定 石英切割种类与角度的主要因素，其切割的种类与角度如图所示IRE标准规定的切型符号包括一组字母(x、y、z、t、1、w)和角度。用x、y、z中任意 二个字母的先后排列来表示石英晶片厚度和长度的原始方向；用字母t (厚度)、1 (长
11、度)、 w (宽度)来表示旋转轴的位置。当角度为正时则表示逆时针旋转；当角度为负时则表示顺 时针旋转。晶片的主平面可以是由XZ平面绕X轴旋转申角而成，称为一次旋转;也可以是由XZ平 面绕X轴旋转申角再绕Z轴旋转0角而成，称为二次旋转。根据谐振器振子从石英晶体上 取材方位的不同，石英谐振器被划分为很多种切型。若按图2-3所示的方式旋转，根据旋转 角度的不同，可以分为两大类切型，即单次旋转切型(又称旋转Y切型)和双次旋转切型。在 旋转Y切型中，常用的有AT切型=35.25 ),BT切型(申=-49.2 )等;在双次旋转切型中有 FC 切型 =34.33 , 0=15 )、IT 切型(申=34.08 , 0=19.1 )和 SC 切型(帖 33.08, 0=22.4 )等。4.石英晶体的缺陷水晶常见的缺陷有：双晶、包裹体、裂隙、炸裂、贝裂等
