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1、“浙江师范大学-LED芯片研发中心”超净室设备米购清单序号项 目 名 称设备、材质及工程技术要求性能要求主要技术指标一、总体功能描述：1.自动检测气体是气体供应及防护系统是为PECV和TCP设备安全供应气2.否泄漏；自动警示气体泄体，保证PECV和 TC股备的正常使用，对工艺尾气作处理，漏；并实现远程监控与报警。3.自动消除泄漏气 体。二、需供气体及要求4.SiH4的检测范围1.TCP刻蚀设备需供气体及要求为 0 20ppm，一a. CI2：段报警值为2 、气压：1 kg/cm，最大 流量：100 seem，纯度：4N2.5ppm，二段报警管径：1/4 VCR Male，管材：SUS316防值
2、为5ppm ;b. BCl 3：漏5.Cl2的检测范围气气压：1 kg/cm，最大 流量：100 sccm，純 度：4N、为02ppb, 一段体管径：1/4 VCR Male，管材：SUS316防报警值为供c. He :气压：1 kg/cm，最大 流量:30 sccm，純 度：4N爆0.25ppm，二段报应CHF3 气压：1 kg/cm 2，最大流量：500 sccm，純度：4N警值为0.5ppm。1及管徑：1/4 VCR Male，管材：SUS316自6.NH3的检测范围防d. Ar ， N2, 02：气压：1 kg/cm2，最大流量:200 sccm，純动为 0 100ppm，一护度：4N
3、保段报警值为系管径：1/4 VCR Male，管材：SUS316护12.5ppm，二段报统2. PECVD设备需供气体及要求处警值为25ppm。a. SiH 4理7.当气体房侦测器气压：1 kg/cm2，最大流量500 sccm,达到一段预警时，管徑：1/4VCR Male，管材：SUS316 純度5%SiH4,95%N2气体房中相应的b. N 2O报警灯红灯闪烁，气压：1 kg/cm2，最大流量500 sccm蜂鸣器启动，同时管徑：1/4 VCR Male，管材：SUS316,純度4N关闭相应的气柜。c. CF 4/O2通过图控软件隔气压：1 kg/cm，最大流量500 sccm,离按钮可以
4、隔离管徑：1/4VCR Male，管材：SUS316 純度 CF4 80%,O2 20%报警信号的输出。d. NHs8.当机台侦测器达气压：1 kg/cm2，最大流量200 sccm到一段预警时，机管徑：1/4 VCR Male，管材：SUS316,純度4N台的报警灯红灯e. O 2气压：1 kg/cm2，最大流量500 seem管徑：1/4 VCR Male，管材：SUS316 純度4Nf. PN 2气压：1 kg/cm2，最大流量500 sccm管徑：1/4 VCR Male，管材：SUS316 純度 4N3.气源a. # 1 Room： SiH4、NH3放置于# 1 Room气体房内。设
5、备采 用单钢瓶工艺供气系统，吹扫所使用高纯氮气接自惰性气体 房工艺氮气面板，普通氮气接氮气罐。气瓶柜采用半自动控制型式操作，钢瓶出口端设置EMO紧急切断阀门。气体设备接出来的管道穿墙后在吊顶上敷设。SiH4采用双套管，外层 SS304AP内层SS316LEP系统连接方 式为VCR或全自动轨道焊接形式。更换气瓶时对应的特气排放至燃烧水洗式尾气处理装置集中处理。b. # 2 Room:CHR、CH、N2、Q放置于 # 2 Room 气体房。设备采用单钢瓶工艺供气系统，吹扫所使用高纯氮气接自惰性气 体房工艺氮气面板，普通氮气接自气罐。CHF、CH、N2、Q分别组成单瓶架，手动控制型式。c. # 3
6、Room: Cl 2为腐蚀性气体，放置于#3 Room气体房。设备采用单钢瓶工艺供气系统，吹扫所使用高纯氮气接自 惰性气体房工艺氮气面板，普通氮气接自气罐。气瓶柜采用半自动控制型式操作，钢瓶出口端设置EMO紧急切断阀门。气体设备接出来的管道穿墙后在吊顶上敷设。Cl2采用SS316LEP管材。系统连接方式为 VCR或全自动轨道 焊接形式。更换气瓶时对应的特气排放至燃烧水洗式尾气处理装置集中处理。三、系统构架及要求1. 气路基本要求：a. 各种气体管道应设置明显标志。b. 所有系统设计都必须遵从 SEMI S2和FM7-7标准。c. 按照需求设计吹扫和气管路。d. 抽气管路必须遵从本地编码及适用的
7、工业规范、安全政策。2. 气瓶柜结构(1)气瓶柜构造a.气瓶柜面板应该是厚度大于等于2.5mm的钢板并涂有抗腐蚀环氧涂层，并且所有材料都必须是非易燃的。闪烁，蜂鸣器启 动，同时关闭上游 相应的气柜。b. 气瓶柜全表面都不能有震动，锋利的边缘及可能导致操作人员受伤的其他缺陷。c. 气瓶柜的底板厚度应该大于等于3.4mm,并铺盖有防滑垫片以抵抗更换钢瓶时的磨损。d. 气瓶柜的底面设计要便于放置或移走钢瓶而不必调整钢瓶 高度。e. 气瓶柜的门，管路线路通道，窗及其他孔洞必须安装密封圈 以防止泄漏。气瓶柜要适当的密封。g. 进气窗口要安装灰尘过滤器。h. 气瓶架四面不必有面板但必须要有支架。.所有气瓶
8、柜应该标明内部存储气体的种类及其精确浓度。气瓶柜内部所有的管路及阀件应该标明其作用，例如供气，吹 扫或排气。气柜门a. 气柜门可以自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。b. 气柜门可以打开 90度角以上以便正常操作。c. 所有的气柜门及窗子使用同样的钥匙。d. 气柜门可以平稳的打开及关闭，保证在开关是不产生火花。(3)气瓶柜的操作窗口a. 操作窗口可以自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。b. 操作窗口的玻璃必须是厚度大于等于6.5mm并有金属丝加固的安全玻璃。c. 窗口背面要安装隔离玻璃嵌板。(4)气瓶柜的排气装置a. 气瓶柜排气管的直径必须大于等于6英寸并装有挡板以调 节气瓶柜内适当的抽风量。b. 排
9、气状态的持续监控信号要显示在控制屏上并与控制器联动以提供抽风量不足时的停机或报警选项。(5)气柜系统设计a. 盘面的排气管必须保持微量N2微漏通过监控其背压来侦测排气管是否堵塞。b. 在更换钢瓶时，Pigtail 必须保持小流量的 PN2吹出。c. 盘面所用的部件必须与所供气体相适应，所有的阀件必须可以开关100000次以上。d. 盘面构造应该尽可能没有死角以减少污染和腐蚀的可能。e. 管路设计的最大承受压力3000Psi，最高温度50C。-管路构造要符合ASTM标准。g. 调压阀要安装在便于调节压力及维护的位置。h. 必须使用标准结构的部件，以减少死角。.除了 Vent管，不得使用弯管器弯管
10、，一律使用焊接配件。3. 气瓶柜安全要求a. 防火：气瓶柜要装有作动点为68 C的喷水头，用作火灾事故时冷却气瓶。冋时要装有温度传感器并与盘面控制器联动。b. 双套管泄漏监控：双套管的夹层必须用压力的上升或下降的方法进行监控，报警信号接回气柜的PLGc. 气瓶柜要装有气体、温度及烟雾侦测器。气体侦测器要安装 在排气管上。d. 系统互锁：所有安全装置及与控制器的触摸屏必须是失效保 护型。e. 信号灯(可选项)：信号灯的警报信号根据不同的颜色分为 一种：红色是警报，黄色是故障，绿色是正常运行。亮度要 求为在5米距离范围内能够看清楚信号灯光。.接地：所有的气瓶柜/气瓶架、带电部件和盘面必须接地。g.
11、气瓶柜内外有压力监测装置，保证气瓶柜内处于负压工作状态。4. 气瓶柜动力需求投标方必须考虑气瓶柜所需求的电源电线连接、工艺管路设计、吹扫管路设计、真空管路设计、压缩空气与排风系统(包括直接排放部分和需要尾气处理部分)等等。5系统架构a. 气体侦测器分别安装在气体房气柜、工艺机台排风及气体房排风处。工艺机台排风处安装 3个，气体房排风处安装 3个， 气体房环境侦测2个，安装方式为一对一安装。b. 声光报警等安装在有人员操作的洁净室通道处。c. 系统主控制盘体和人机界面位于洁净室内。d. 联动关系：当气柜侦测器报警时，远程关闭相应气体的气柜。e. 监控系统通过以太网络或RS485采集相关设备的实时
12、数据。气体泄漏读值，系统报警，仪表故障，报警历史记录以及其 他一些系统数据显示在监控电脑上。6. 侦测器a. 侦测器品牌：所选品牌质量不低于Riken和Honeywell。b. 侦测器量程设定： SiH4的检测氾围为020ppm, 段报警值为2.5ppm，一段报警值为5ppm Cl2的检测范围为02ppb, 一段报警值为0.25ppm，二段 报警值为0.5ppm。 NH3的检测范围为0100ppm 一段报警值为12.5ppm,二 段报警值为25ppmoc. 当气体房侦测器达到一段预警时，气体房中相应的报警灯红 灯闪烁，蜂鸣器启动，同时关闭相应的气柜。通过图控软件 隔离按钮可以隔离报警信号的输出
13、。d. 当机台侦测器达到一段预警时，机台的报警灯红灯闪烁， 蜂鸣器启动，同时关闭上游相应的气柜。通过图控软件隔离 按钮可以隔离报警信号的输出。7. 图控显示a. 主体显示厂房的 layout图，设备的Layout图；b. 细节显示一一侦测器图符中的读值显示，一段、二段和故障 的报警显示；c. 趋势显示一一显示侦测器浓度值的实时曲线图；d. 报警显示一一在即时窗口显示相应的报警内容；e. 历史记录在历史记录窗口显示相应的历史记录；-用户登陆一一提供多个用户登陆，用户名和密码由客户设置和更改；g.隔离操作一一对侦测器的报警信号可进行隔离操作，屏蔽报警信号的输出；8. 配管工程：(1)管道总体要求：
14、a.所有的管路及接头材料都必须用SS 316L EP材质(10maximum and 7 Ra).b.管道测试要求：需要压力、氦检、水份、氧份、颗粒等测试。9. 供气方式a. 钢瓶氮气和吹扫氮气的供气方式为双钢瓶手动切换方式；钢瓶存放区域合理分隔， 明确标识，避免不相容气体混合爆炸。b. 气体进入设备机台前,右各机台对压力有不冋要求，需女装二次减压面板。10. 管道材料和阀门(1) 管道、阀门采用满足相应气体纯度要求的不锈钢材质； 阀门采用隔膜阀。(2) SiH4必须使用双套管，内管为 EP级，外管为AP级,其 他气体为EP级单层管。(3) 阀门材质与相连管道材质相适应，应采用VCF连接。(4) 管道连接为自动焊接方式连接，保护气体必须在99.999%以上。11. 管道敷设(1) 氧气管道与其它气体管道
