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1、等离子体光谱诊断姓名：谢新华学号:PB09203247实验题目：光谱诊断ArECR等离子实验目的：1了解ECR放电：2. 利用等离子体发射光谱分析等离子体中成分，同时利用Ar谱线展 宽计算电子温度和密度；3. 相邻谱线强度计算电子温度。实验原理：A. ECR放电：当电子在磁场中回旋频率与微波频率相同时，电磁波就可以与回 旋电子发生共振相互作用，从而电子能够获得电磁波能量，产生等离 子体。其中，生成的等离子体的极限密度可以用公式：nc（7n3） M0240000 -20000 -790reo770C0Cus3*xB11.53148WwavetengthihmgwBvetengthntnSubtr
2、acted Y1600830wavele ngUVnmnoo：MwttengthmT aoo wBwkngthnfnB.相邻峰计算等离子体电子温度及密度:111172072Swaveiength-nm选用750.3869nm和751.4652nm两条相邻的Ar谱线计算电子温度以 及电子密度。谱线位置/nm相对 强度跃迁几 率Ej/cm1Ex/cm 1Lowerlevelupperlevelg|-gx7503869200004.45e+0795399.8276108722.61943&3庚中) 4ST/2。1彳丹则“做03-1751.4652150004.02e+0793750.59781070
3、54.27203&3丹 P%)4s23/2 1% o3-1那么电子温度为:inh ViAiSihc-EO)(6.63 X ICT% X3 X108) “ X (10872262 一 10705427).617610872262 X4.45/?l8912 X 10705427x4.02)=4.48eV使用沙哈方程计算电子密度:ne =c谱线的分解:Gauss分解：72072Swaveiength-nm3600a暑30002COO WOO isoo 1000.5O0o.-500 -690Gauss of FEquationy=yO (/L(Wsqrt(PI/2Mrexp(.2-x.xcywr2)A
4、dj R Square0 95492valueSUnMd ErrorF0-47 604571 36749Fxc7O6.M23e373W7E4Fw0119690 00115FA54381344 53552FsiQrna0.05S65FFWHM014093FHeght362512802L1710wavelengttnmLorentz 分解:Lorentz ofFMOOa 吕 3000 V2900 XOO1600 1000-500-0 -500 -690Equationy = yO* (2-A/Pir(w.(4- Co、C Ch N、Ar. Fe He. Cu、Ne Xe Si、Ta 通过相邻峰位置强度的比较，得到电子温度为：4.48eV。利用沙哈方程计算等离子体电子密度为：72072Swaveiength-nm
