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19）中华人民共和国国家知识产权局（12 ）发明专利申请（21）申请号 CN200510037509.4（22）申请日 2005.09.22（71）申请人 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司地址100084 北京市海淀区清华大学物理系（72）发明人 姚湲;刘长洪;范守善（74）专利代理机构代理人（51）Int.CIG12B21/08;G01N13/16;B81B7/02;权利要求说明书 说明书 幅图扫描热显微镜探针（57）摘要本发明提供一种扫描热显微镜探针，其包 括：一悬臂；一第一导电层，形成在所述悬臂表 面；一绝缘层，覆在所述第一导电层表面，其具 有一通孔；一第二导电层，覆在所述绝缘层表 面，所述第一导电层和第二导电层在所述通孔处 相连形成一热电偶区；以及一碳纳米管，其形成
