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1、精选优质文档-倾情为你奉上IR 090热阴极电离复合真空计使 用 说 明 书BG 804 171 BE目录产品标识有效范围使用范围工作原理注册商标1安全1.1使用符号1.2人员素质1.3一般安全规则1.4赔偿责任与保修2技术参数3安装3.1真空连接3.1.1拆卸和安装电子学单元3.1.2安装延伸件3.2电源连接3.2.1与COMBIVAC IT23一起使用3.2.2与其它测量仪器一起使用4运行4.1测量原理，测量特性4.2真空计工作原理4.3除气4.4显示器4.5RS232C接口4.5.1功能说明4.5.1.1IR090输出4.5.1.2IR090输入5维护5.1维护5.2真空计调整5.3真空
2、计清洗5.4安装障板5.5更换障板5.6更换规管5.7故障查找6拆卸7产品返修8附件9备件10废物处理附录A.测量讯号与压强的关系B.气体种类与压强的关系污染申报表参阅本说明书中的章节，采用符号（XY）。参阅其它文献，采用符号（Z）。产品标识与Leybold Inficon联系时，请标明产品标牌上给出的信息。将信息复制在标牌的复印件上。有效范围本说明书适用于下列件号的产品不带显示器120 90（法兰DN 25 ISO-KF）120 92（法兰DN 40 CF-R）带显示器120 91（法兰DN 25 ISO-KF）120 94（法兰DN 40 CF-R）产品的件号在标牌上标明。本公司保留对说明
3、书不预先通知的技术更改权。使用范围IR090用于在压强510-101000毫巴范围内非易燃性气体和气体混合物的真空测量。真空计规管是SKY Smart真空计规管系列的一个组成部分。可与COMBIVAC IT23或其它测量仪器一起工作。工作原理在整个测量范围内，热阴极电离复合真空计有连续的测量特性。它的测量讯号是对数压强输出。真空计的功能包括BA规热阴极电离测量系统（用于p2.010-2毫巴）和皮拉尼测量系统（用于p5.510-3毫巴）。在2.010-2毫巴至p5.510-3毫巴的交叉压强范围内，输出两个测量系统的混合讯号。只有当皮拉尼测量系统的压强低于2.410-2毫巴的阈值时，才能转换至热阴
4、极测量系统（防止灯丝烧断）。当压强超过3.210-2毫巴时切断电源。注册商标Combivac Leybold SKY Leybold Inficon1安全1.1使用符号危险有关防止任何人身伤害的信息。警告有关防止设备和环境损伤的信息。 注有关正确掌握或使用的信息。如不注意可导致设备故障或局部损伤。提示，建议1.2人员素质技术熟练的人员本说明书中涉及的全部工作必须由经过技术培训、有经验的或由产品的最终用户委派的人员执行。1.3一般安全规则遵守安全使用规则，对过程介质采取必要的预防措施。注意材料（第7页）与过程介质之间可能的反应。注意用于产品产生的热导致过程介质可能产生的反应。全部工作必须在遵守安
5、全使用规则和必要的预防措施下进行。注意本说明书中的安全要点。在开始工作前，检查是否有被污染的真空元件。当处理被污染的元件时，遵守有关的规程和采取必要的预防措施。与其它用户交流安全方面的经验。1.4赔偿与保修责任如最终用户或第三方有以下情况，Leybold Inficon将不承担赔偿与保修责任。不理会本说明书中的要求在不适当的状态下使用本产品对产品作任何变动（修改，更改等）使用不是相应产品文件中所列的附件对所使用的过程介质，由最终用户负责。2 技术参数测量测量范围（空气，氮，氧）510-10至1000毫巴,连续精度15%读值（10-8至10-2毫巴）（5分钟后稳定）重复性5%读值（10-8至10
6、-2毫巴）（5分钟后稳定）与气体种类的关系附录B发射发射on阈值2.410-2毫巴发射off阈值3.210-2毫巴发射电流p7.210-6毫巴5毫安7.210-6p3.210-2毫巴25微安发射电流转换25微安5毫安7.210-6毫巴5毫安25微安3.210-5毫巴除气电流约16毫安 / 约4.0瓦（p7.210-6毫巴）控制输入讯号0伏/24伏，PLC-值，高动态时长至多3分，接着自动停止在除气模式中，IR090保持提供测量值，误差大于正常运行。输出讯号输出讯号0至10伏测量范围0.774伏510-10毫巴10伏1000毫巴电压与压强的关系对数，0.75伏/量级误差讯号0.3伏/0.5伏（第
7、25页）最小负荷10仟欧RS232C接口波特率9000波特数据格式二进位数据组8数据位1停止位无奇偶位无同步交换讯号值8伏连接件TD（传送数据）接脚13RD（接收数据）接脚14GND（外壳接地）接脚15显示器平板型LCD-点阵，3216象素带有本底照明尺寸16.011.2毫米2压强单位毫巴（缺省），乇，帕电源危险真空计必须连接符合超低电压接地保护（SELV-E，按照EN 61010）要求的电源和测量仪器。连接真空计必须有保险丝。真空计电压24伏直流（20至28伏）2）最大纹波2 Vpp功率损耗标准0.5安除气0.8安发射起始（200毫安）1.4安功率损耗16瓦保险丝1）1.25 AT规管电缆电
8、连接件D Sub连接件，15脚，插头电缆仅用于模拟值无除气功能4极加屏蔽用于模拟值有除气功能5极加屏蔽全部功能包括RS232C接口7极加屏蔽电缆长度，最长（24伏直流）35毫米（0.25毫米2导线）50毫米（0.34毫米2导线）100毫米（1.0毫米2导线）用于RS232C工作30米真空真空侧的材料不锈钢，铱，氧化钇，玻璃，NiFe，NiCr，钨，钼，铜内容积DN 25 ISO-KF 24毫升DN 40 CF-R 34毫升压强，最大2巴（绝对）环境允许温度储存-20至70工作0至50烘烤+150（无电子学单元或 带延伸件第28页）相对湿度（年平均/在60天中）65 / 85%（无凝聚）使用仅室
9、内海拔高至2000米NN保护类型IP 301）COMBIVAC IT23 满足这些要求2）电源的最低电压必须随测量电缆的长度等比增加尺寸法兰DN 25 ISO-KF 测量毫米重量285克法兰DN 40 CF-R 测量毫米重量550克3安装3.1真空连接注注意：真空元件灰尘与损伤将影响真空元件的功能取持真空元件时采取适当措施确保清洁和防止损伤危险注意：真空系统中有压力1巴如不正确或不小心地夹紧和打开，可能受到弹开部件的伤害，或受到泄漏的保护气体伤害采用可使用工具打开或夹紧的夹具（如软管卡箍夹环）危险注意：电源电压不正确接地的产品在故障中是极危险的真空计必须电连接至接地的真空室。连接件必须符合EN61010的保护接地要求： CF法兰满足这个要求 KF法兰的真空计，使用导体的金属夹环真空计可任何方向安装。但不允许任何微粒或凝聚物进入测量室。
