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1、SEMI S4-0304 供应柜内化学品钢瓶隔离之安全基准本准则之技术业经全球环境、卫生及安全委员会核准。此版本由全球稽核及审查小组委员会于203年12月4日核准出版，并于2006年2月在发行在线版本，同年3月出版光盘版。初版于1992年发行。注意：此安全规范于2003年完全重新改写。注意：本安全基准中以注为标题的段落并非正式内容，不得以此修改或取代正式的安全基准。委员会提供批注内容系为方便本安全基准的使用。注意：委员会产生此文件的意图是要依循此基准中”应”执行的规定，而符合使此基准之要求。1 目的 此安全基准提供一个方法来决定哪些种类的化学钢瓶应该被隔离在不同气体储存容器柜内，而哪些可以被放
2、在一起。此安全基准是设计给半导体相关技术工作或研究的人使用。2范围2.1此安全基准涉及钢瓶内因蒸气压或使用气体当作载气进行传送而在气体状态下被使用的气体或液体化学品。 2.2此文件范围也包含内容量1000公升(含)以上的所有种类钢瓶。2.3此基准的主要意图为应用在气体钢瓶使用、供应、研究及制造过程。2.4此安全基准提及使用在迫净化学管路并以钢瓶供应的迫净气体。2.5此安全基准提及供应压力比101.3千帕(一大气压)小的制程化学品钢瓶。注意：本安全基准并不在于满足所有与此基准用途相关的安全议题，建立适当的安全卫生行为及决定法规优先限制的适用性是本基准使用者的责任。3.限制3.1此安全基准范围并不
3、包含整合于制程设备中的化学品钢瓶。注1：其它相关的气体钢瓶安全及管理基准，可参照此份安全基准中参考文件列举的数个其它相关文件。3.2 此安全基准与使用作为组建设备相关目的(如焊接)的化学品无关参考标准 4.1美国联邦法规United States Code of Federal Regulations16 CFR 1500.41主要刺激物的测试方法149 CFR 173 托运装运及包装的基本要求24.2 美国国家火灾保护协会National Fire Protection Association 3 NFPA49危害物质资料注2： NFPA49已不再是NFPA在光盘版或拷贝版规定中的一部份，目
4、前是NFPA危害材料的防火基准中的一部分，并且必须与NFPA分开购买NFPA 704 物质火灾危害鉴别 4.3压缩气体协会Compressed Gas Association 4P20 毒性气体混合物的分类标准P23 可燃及不可燃混合气体的分类标准4.4国际标准组织International Organization for Standardization (ISO)510156:1996 气体及气体混合物 依气瓶出气阀的选用，判断火灾可能性及氧化能力 4.5欧盟规章European Directives667/548/EEC 法规、规则及管理规定相关危险物质(包含技术制程上变更及修改)的分类
5、、包装、标签概论注意：除非特别的标示，所有的引用文件应为最新的发行版本。5 专有名词5.1 Abbreviations and Acronyms 缩写字及首字母缩写5.1.1 CGA Compressed Gas Association压缩气体协会5.1.2 CFR Code of Federal Regulations (United States) 美国联邦法规编码5.1.3 HPM Hazardous Production Material危害生产材料5.1.4 ISO International Organization for Standardization国际标准组织5.1.5 L
6、C50 median lethal concentration in air半致死浓度5.1.6NFPA National Fire Protection Association美国国家火灾保护协会 1 The Office of the Federal Register, Washington, D.C. 20037 http:/www.access.gpo.gov/nara/cfr/waisidx_00/16cfr1500_00.html 2 The Office of the Federal Register, Washington, D.C. 20037 http:/www.acces
7、s.gpo.gov/nara/cfr/waisidx_00/49cfr173_00.html 3 National Fire Protection Association, 1 Batterymarch Park, Quincy, MA 02269, Website: www.nfpa.org4 Compressed Gas Association, 4221 Walney Road, 5th Floor, Chantilly VA 20151-2923., Phone: 703-788-2700, Fax: 703-9611831, Email: , 5 International Org
8、anization for Standardization, ISO Central Secretariat, 1, rue de Varemb, Case postale 56, CH-1211 Geneva 20, Switzerland. Telephone: 41.22.749.01.11; Fax: 41.22.733.34.30, Website: /www.iso.ch 6 http:/europa.eu.int/comm/environment/dansub/main67_548/index_en.htm 5.2 定义5.2.1 酸 一种化学反应特性为电子接受者的腐蚀性化学品5
9、.2.2 碱 一种化学反应特性为电子提供者的腐蚀性化学品5.2.3 化学品 制程上用来与反应或移除其它物质的液体或气体5.2.4可燃物质 一遇到火或热时，在使用或预期的情况下可点燃、燃烧或释放易燃的蒸气的材料。 5.2.5腐蚀性 透过化学反应对接触部位的活组织导致可看见的破坏或不可逆改变的化学品。化学品在下列情况下被认为是具有腐蚀性的：在白兔的皮肤上用美国运输部49 CFR 173附录A描述的方法测试，暴露4小时后对接触部位的组织结构造成破坏或改变。这个术语不用于无生命的表面。5.2.6钢瓶 设计来容纳正压化学品且具有圆切面的压力容器。钢瓶的定义不包括可移动的储槽、多槽槽车、油舱或槽车。5.2
10、.7 可燃性气体 在20 C (68 F) 及101.3 kPa (14.7 psia)下可与空气形成可燃混合物的任何气体。SEMI S2, S185.2.8 气体 一种可以无限扩大并完全充满容器的流体形式的物质，不是液体也不是固体。SEMI F785.2.9 气柜 金属密闭容器，目的在提供局部排气通风、气瓶柜外之着火时可保护气及保护周围不因气瓶柜之火源而着火。5.2.10 危害生产材料 在健康、易燃性或反应性于NFPA 704危险程度评级列为等级三或四的固体，液体或气体。这种材料用于研究、实验或生产过程中，他们的最终产品不具有危险性。SEMI S25.2.11 高毒性化学品 半数致死浓度低于
11、200百万分之一体积浓度的气体或低于2毫克的雾状、熏烟或粉尘的化学品。测试于200和300克之间的白变种鼠，连续的吸入一个小时(或更少，如果死亡发生在一个小时内)。5.2.12 惰性气体-与其它周围环境化学品不起化学反应的气体5.2.13 刺激物化学品在下列情况下被视为刺激物：a) 由美国联邦法规编码(16 CFR 1500)归类为主要皮肤刺激物，或b)在欧盟规章67/548/EEC法规、规则及管理规定相关危险物质(包含技术制程上变更及修改)的分类、包装、标签概论中被定义为刺激物。5.2.14 液体 它的分子可自由地在彼此间迅速流动，不同于固体，但是由于内聚力而无法像气体能无限扩展。SEMI
12、F785.2.15 其它健康危害物 根据至少一项符合科学原则的研究，有重大证据于统计上显示，在暴露下会对员工产生急性或慢性健康效应的化学品，有被其它分类定义的除外。此术语其它健康危害包括致癌物质、生殖危害毒性、致过敏物、肝毒素、肾毒素、神经毒素、致变物、会对造血的系统作用和损坏肺、皮肤、眼睛或者黏膜的媒介。5.2.16 化学氧化剂 接触可氧化或可燃性材料时，有助于氧化或增加燃烧率的化学物。5.2.17 发火性化学品 在温度54C(130F)。之下，接触空气可自燃的化学物5.2.18 隔离 在具有化学品混合或钢瓶暴露于其它种类化学品的风险的状况下，利用将钢瓶存放在不同的气瓶柜的方式进行管理。5.
13、2.19 毒性化学品化学品在下列情况下被视为有毒的：a)半数致死浓度介于2002000百万分之一体积浓度的气体或高于20毫克的雾状、熏烟或粉尘的化学品。测试于200和300克之间的白变种鼠，连续的吸入一个小时(或更少，如果死亡发生在一个小时内)，或b) 在欧盟规章67/548/EEC法规、规则及管理规定相关危险物质(包含技术制程上变更及修改)的分类、包装、标签概论中被定义为有毒。5.2.20 不稳定(易反应) 在纯的状态或被生产、运输时，具高度活性易产生聚合、分解、凝结反应，或者因震动、压力或温度等状况产生自我反应的化学物。5.2.21 易与水反应与水起反应会释放易燃或产生健康危害物质的化学物
14、。6 分类6.1 化学品应根据表1所表示之种类及相关代号进行分类。6.2 化学物的特性（除了混合物）应透过测量或文件（如物质安全数据表）获得。表1 分类及代号Classification 分类Symbol 代号Flammable可燃的 F Pyrophoric发火性的P Corrosive Acid 腐蚀性的酸CA Corrosive Base 腐蚀性的碱CB Toxic 有毒的T Highly Toxic高毒性的 HT Oxidizer氧化剂 O Inert 惰性I Irritant刺激物 IRR Water Reactive易与水反应的 WR Unstable (Reactive) 不稳定
15、的（易反应的）UR Other Health Hazard其它健康危害 OHH 6.3 若一种化学品具有上表内的多种特性，应被注明一种以上的分类。6.4 两或三种混合物的特性应该用可接受的评估或实验方法决定，例如ISO 10156， CGA P20 及P23。注3：实验或评估可以由使用者进行，或使用者也可以信任其它使用可接受的评估或实验方法的报告文件,，例如MSDS 。注4：部分半导体产业使用的化学品清单及分类代号列举于相关讯息17 隔离7.1 实际上，每一个化学物（惰性气体除外）应装在一个隔离的柜子内。7.2 在一个柜子里装不同的化学品7.2.1 除了下列的情况外，有不同分类代号的化学品应该被存放在不同的气瓶柜7.2.2 惰性气体(I)不需与任何其它化学品隔离7.2.3 若其它的分类代号完全一样时，刺激性(IRR)的化学品可以与非刺激性化学品存放在一起。7
