精品整理 热式质量流量计前言：热式质量流量计(以下简称 TME )是利用传热原理，即流动中的流体与热源(流体中加热的物体或测量管外加热体) 之间热量交换关系来测量流量的仪表，过去我国习称量热式流量计当前主要用于测量 气体20世纪90年代初期，世界范围TMF销售金额约占流量仪表的 8%，约4.5万台国内90年代中期销售量估计每年1000台左右 过去流程工业用仪表主要是热分布式，近几年才开发热散(或冷却) 效应式第一节原理和结构热式流量仪表用得最多有两类， 即1)利用流动流体传递热量改变测量管壁温度分布的热传导分布效应的热分布式流量计(thenmal prohle flowmeter )曾称量热式 TMF;2)利用热消散(冷却)效应的金氏定律(Kings Iaw)TMF又由于结构上检测元件伸入测量管内，也称浸入型( immersion type )或侵入型(intrusion type )有些在使用时从管外插入工艺管内的仪表称作插入式( insertion type )1.1热分布式TMF热分布式TMF的工作原理如图1所示，薄壁测量管3外壁绕着两组 兼作加热器和检测元件的绕组 2,组成惠斯登电桥，由恒流电源5供 给恒定热量，通过线圈绝缘层、管壁、流体边界层传导热量给管内流体。
边界层内热的传递可以看作热传导方式实现的在流量为零时，测量管上的温度分布如图下部虚线所示，相对于测量管中心的上下游 是对称的，由线圈和电阻组成的电桥处于平衡状态；当流体流动时， 流体将上游的部分热量带给下游，导致温度分布变化如实线所示，由 电桥测出两组线圈电阻值的变化，求得两组线圈平均温度差△ T便可按下式导出质量流量qm，即：(1)页脚内容.精品整理式中cp …… 被测气体的定压比热容； A …… 测量管绕组(即加热系统)与周围环境热交换系统之间的热传导系数； K …… 仪表常数测量暂轴向温度分布E1热分布式T帼工杵原理1 一流昼隹酒器；2—绕组：3—囲量管4一转换器：5—恒砸电猱：百一职犬黑中，因测量管壁很薄且具有相对较高热导率，仪表制成后 A在总的热传导系数的变化可简化认为主要是流体边界层热导率的变化 当使用于某A其值不变，因此均视为常量，则质量流量仅与绕组平均温 度差成正cp 一特定范围的流体时，则 A、段为仪表正常测量范围， 仪表出口处流体不带走热量，Oa2 Oa段所示比，如图点流量增大 到有部分热量被带走而呈现非线性， 流量a或者说带走热量极微；超过 点则大量热量被带走超过b除管外电阻丝绕测量管加热方式大部分产品采用两绕组或三绕组线绕电阻；所示。
测量管形状有直管形，1组加热方式外还有利用管材本身电阻 加热方式，如表 n字形结构，三绕组中一组在中间加热，两组分绕 两臂测量温度还有方式 0.259 0.223感应加热热电两绕组电阻丝三绕组电阻丝0.220 300偶 300 400 CH4 甲——0.54 ——0.60 51.642.2 66.2 20.90.65 0.55 0.64 0.610.565 0.48~0.560.220烷 C2H6 C2H4CCI2F HE0.69 0.56~0.690.32~0.36 0.440.243 0.227 4001.37〜1.43 1.390.225 0.225 O2氧气0.2430.2235000.2320.232 乙烷乙烯 Freon 12 氦检测元件氩热电偶500 Ar热电阻丝0.69热电阻丝0.71氢H2——0.249 20.90.69 0.285 0.25228.61.39 1.39~1.430.99~1.03 1.019加热方式氮测量管焦耳热自己加热中间绕组加热氧300 N2 020.24 9 0.250 29.10.268 0.251 1.0031.00~1.0229.20.97~1.00 0.999400 N20.250 0.2520.263 0.254氮气5000.252为了获得良好的线形输出，必须保持层流流动，测量管内径 D设计 得很小而长度L很长，即有很大L/D比值，流速低，流量小。
为扩大 仪表流量，还可采用在管道内装管束等层流阻流件； 扩大更大流量和 口径还常采用分流方式，在主管道内装层流阻流件（见图 3）以恒定 比值分流部分流体到流量传感部件有些型号仪表也有用文丘里喷嘴 等代替层流阻流件市场上热分布式TMF按测量管内径分为细管型（也有称毛细 管型）和小型两大类，结构上有较大区别小型测量管仪表只有直管 型，内径为4mm ;细管型 页脚内容.精品整理 测量管内径仅0.2~0.5mm稍大者为0.8~1mm，极容易堵塞，只适 用于净化无尘气体细管型仪表还有一种带有调节单元和控制阀等组 成一体的热式质量流量控制 器，结构如图4所示1.2基于金氏定律的浸入型 TMF金氏定律的热丝热散失率表述各参量间关系，如式 2所示川匸=上小 + 2（血卩曲 $山］（2）式中H/L …… 单位长度热散失率，J/m?h; △ T 热丝高于自由流束的平均升高温度， K；3；密度， kg/m 定容比热容，J/kg?k; p入 流体的热导率，J/h?m?K;cVU 流体的流速，m/h;d 热丝直径，m.如图5所示，两温度传感器（热电阻）分别置于气流中两金属细管内， 一热电阻测得气流温度 T ；另一细管经功率恒定的电热加热，其温度 Tv高于气流温度，气体静止时 Tv最高，随着质量流速p U增加，气流带走更多热量，温度下降，测得温度差△ T=Tv -T.这种方法称作“温度差测量法”或“温度测量法”。
消耗功率P和温度差厶T如式3所示比列关系，式中 B, C, K均为常数，K在?~?之间从式2便可算岀质量流速，乘上点流速于管道平均流速间系数和流通面积的质量流量 qm，再将式3变换成式4P二3 + C （皿）玄址T式4中E是与所测气体物性如热导率、比热容、粘度等有关的系数，如果气体成分和物性恒定 则视为常数D则是与实际流动有关的常数若保持△ T恒定，控制加热功率随着流量增加而增加功率，这种方法称作“功率消耗测 量法”第二节优点热分布式TMF可测量低流速（气体 0.02〜2m/s ）微小流量；浸入式 TMF可测量低〜中偏高流速 （气体2〜60m/s），插入式TMF更适合于大管径TMF无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小；带分流管的热分 布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大页脚内容.精品整理TMF使用性能相对可靠与推导式质量流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和 计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小热分布式仪表用于 H2、N2、O2、CO、NO等接近理想气体的双原子气体，不必用 这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅 2%左右；用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可；用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。
气体的比热容会随着压力温度而变， 但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数第三节缺点 热式质量流量计响应慢被测量气体组分变化较大的场所，因 cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差对小流量而言，仪表会给被测气体带来相当热量对于热分布式 TMF，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值，必须定期清洗；对细管型 仪表更有易堵塞的缺点，一般情况下不能使用对脉动流在使用上将受到限制液体用TMF对于粘性液体在使用上亦受到限制第四节分类按流体对检测元件热源的热量作用可分为热量传递转移效应和热量消散效应或冷却效应 按检测变量可分为温度测量法和功率消耗测量法按流量传感器结构可分为（有测量管的）接入管道式和插入式按测量流体可分为气体和液体用气体是当前TMF主要应用的流体，从微小流量到大管径大流量都可使用液体用TMF在20世纪90年代初中期开始发展并在工业生产中应用，但当前主要为微 小流量仪表有消耗功率测量法的热分布式 TMF和利用珀尔帖（Peltier ）致冷元件在检测部位致冷（即附加热）的 TMF后者的测量原理如图 6所示，流量传感器由测量毛细管、电子冷却 装置（珀尔帖元件）和 3各温度检岀件组成。
测量管和致冷元件接触，无液体流动时冷却到某 一温度时，两者温度相等；液体流动时致冷元件附近测量毛细管温度上升，如虚线所示分布， 测量温度检测点的两者温度差以求的流量第五节选用考虑要点5.1应用概况TMF目前绝大部分用于测量气体，只有少量用于测量微小液体流量页脚内容.精品整理热分布式仪表使用口径和流量均较小， 较多应用于半导工业外延扩散、 石油化工微型反应装置、镀膜工艺、光导纤维制造、热处理淬火炉等各种场所的氢、 氧、氨、燃气等气体流量控制，以及固体致冷中固体氩蒸发等累积量和阀门制造中泄漏量的测量等 在气体色谱仪和气体分析仪等分析仪器上，用于监控取样气体量分流型热分布式仪表应用于 30〜50mm以上管径时，通常在主流管道上装孔板等节流装置或均速管，分流部分气体到流量传感器进行测量冷却效应的插入式 TMF国外近10年在环境保护和流程工业中应用发展迅速，例如；水 泥工业竖式磨粉机排放热气流量控制，煤粉燃烧过程粉 /气配比控制，污水处理发生的气体流量测量，燃料电池工厂各种气体流量测量等等 大管道用还有径向分段排列多组检测元件组成的插入检测杆，应用于锅炉进风量控制以及烟囱烟道排气监测 SO2和NOX排放总量。
液体微小流量TMF应用于化学、石油化工、食品等流程工业实验性装置，如液化气流量 测量，注入过程中控制流量；高压泵流量控制的反馈量； 药液配比系统定流量配比控制；直接液化气液态计量后气化， 供给工业流程或商业销售 还有在色谱分析等仪器上用作定量液取样控制以及用于动物实验麻醉液流量测量还未见到液体微小流量 TMF国内定型产品5.2流体种类和物性TMF只能用于测量清洁单相流体 ------气体或液体，用气体的型号不能用于液体，反之亦 然对于热分布式气体还必须是干燥气体， 不能含有湿气流体可能产生的沉积、结垢以及凝结物均将影响仪表性能对于热分布式 TMF制造厂还应给岀接受的不清洁程度，例如大部分给岀允许微粒粒度，用户可按此决定是在仪表前装过滤器浸入式 TMF对清洁度要求低些，则可用于测量烟道气，但必须装有阀等插入机构，能再不停流条件下去取岀检测头1)流体的比热容和热导率从式1和式2可知，TMF工作时流体的比热容和热导率保持恒定才能测量准确 被测介质工况温度、压力变化范围不大，仅在工作点附近波动，比热容变化不大，可视作常数若工作 点压力温度远离校准时压力温度，则必须在该工作点压力温度下调整表 2列岀几种气体在不同压力温度下的定压比热容，可看到其变化程度。
表2几种气体定压比热容 cal/(g?K)页脚内容.精品整理./ MPa压 力/K种类 温度10 1 0.001 0.10.278 0.244 3000.240 0.2410.260 0.242 400 0.244 0.242 空气0.257 500 0.246 0.246 0.2470.155 300。