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1、拉曼光谱仪（RenishawinVia）检定规程光谱稳定性与重复性repeatability，（重复性是考验仪器的最重要指标之一,此检测条件与仪器设计无关）重复性：光栅动。每次检测，光栅从0波数到最大波数移动，再回到检测位置（0波数）。使用表面抛光的单晶硅，扫描范围：1004500cm-1,（不能采用光栅先回到-4000cm-l，再定位到0波数扫描的方式），重复不少于30次。观测硅一阶峰中心位置重复性好于=?cm-1。稳定性：光栅不动，（此试验较为容易），使用表面抛光的单晶硅，扫描范围：1001000，重复不少于30次，观测硅一阶峰中心位置重复性好于=?cm-1。仪器灵敏度：Sensitivi
2、ty:一般性实验条件：检测硅三阶峰，（信噪比越高越好）检测条件为：激光输出功率约为20mw，波长514nm或532nm，狭缝宽度50微米，曝光时间60秒，累加次数5次，（或曝光时间100秒，累加次数3次，）光栅刻线为大于等于1800刻线。binning=1,显微镜头为X50或X100。高分辨或共焦实验条件：检测硅三阶峰（信噪比越高越好）检测条件为：激光输出功率约为20mw，波长514nm或532nm，狭缝宽度（Renishaw13,000光子计数/秒），检测激光线强度与硅一阶峰强度的比值.使用X50或X100倍物镜，狭缝大小为通常拉曼试验设置水平。（狭缝=lOOum;针孔=200um）光谱分辨
3、率：Resolution样品为氖灯585nm线线半高宽一般检测条件为：狭缝宽度=1800刻线光栅。binning=1，显微镜头为X5O或X1OO。使用灵敏度条件测分辨率：测氖灯585nm线线半高宽=?cm-1Renishaw:Slit=20um,光栅=1800l/mm（或2400l/mm）,（Horiba：Slit=100um,光栅=600l/mm,?）去除等离子线：Plasmalineblocking:在1004000cm-1内无等离子线。实验条件：10mW（必要时由功率计测量）激光功率照在抛光的单晶硅表面，曝光时间60秒，累加次数3次，X50或X100倍物镜。阻挡激光水平：Laserblocking:(514nm，or532nm，and633nm，785nm)
