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1、一、关键技术1 超精密运动部件2 超精密运动驱动与传递3 超精密机床数控技术4 超精密运动检测技术5 超精密机床布局与整体技术6 其它重要技术超精密环境控制,包括恒温、恒压、隔振、湿度控制和洁净度控制.另外,超精密加工对刀具的依赖性很大,加工工艺也很重要,对超精密机床的材料和结构都有特殊要求.二、精密与超精密技术在航天技术上的应用 超精密加工技术及微系统制造技术是新一代航空行器及其它武器装备发展的关键技术，根据新型机载设备精密、轻量、微型、综合以及多样化的发展特征，开展适应于多种材料(例如特殊光学材料、红外材料、超高强度材料等)、多种产品(例如精密偶件、导引头、导航制导精密零部件、微光学元部件
2、、微传感器等)的超精密加工技术研究以及基于切削加工/特种加工工艺的非硅类材料的微结构、微系统精密超精密制造与测量技术的研究成为研制一代武器装备的关键。 航空机载设备在航空兵器中所占比重越来越大，地位也越来越重要，新型航空机载设备对轻量化、小型化、精密化、模块化提出了更高的需求，因此要求已有的制造技术必须在研究上一个新档次，达到新水平。由于新一代战机中配备包括智能制导导弹、激光武器等在内的多种先进武器，对光学系统零件的要求也大大提高，无人战机或微型飞机中信息的传输也必须具备快速、抗干扰性好等特点，对半导体元器件的材料和表面质量提出了新的要求。新型机载设备光学系统中将大量采用了各类非球面光学零件(
3、特别是离轴对称、非离轴对称以及自由曲面，包括微光学系统中的微光学零件)以满足光学系统的最佳设计要求，从而提高其性能及可靠性，同时也减轻整套系统的重量，提高整机的灵活性。光学系统还将采用具有超高精度、超高表面质量要求的平面镜、多棱镜、中空透镜等光学器件提高整机的性能。 随着微细加工、纳米加工技术研究的开展，将进一步拓宽制造技术领域，开发研究出一系列新元件、新器件、新产品、新材料、新结构，使机载设备及系统向综合化、智能化、微型化方向发展。在超精密加工技术方面，美、俄等国家处于领先地位。这些国家具有先进的加工设备以及完善的加工工艺，能够提供航空机载设备及武器系统所需的精密、超精密元部件，从而保证了整
4、机的先进性。美国主要是利用其先进的加工设备和检测仪器保证零件精度，而俄罗斯主要则是利用先进的加工工艺保证零件精度。国内在航机载设备所需精密零部件的加工方面与美、俄等国家相比存在较大差距。近年来，国内注重了超精密加工设备及检测仪器的研制工作，并取得了较大的进展，如进行了非球面超精密加工设备及工艺、精密偶件超精密加工技术研究、超精密研磨抛光设备及工艺研究等，并进行了关键工艺攻关，在一定程度上解决了某些机载设备所需的超精密加工技术问题。但距离规模化生产还有一定差距，此外国内研制的设备及工艺的可靠性、工程化程度还有待进一步检验。超精密加工技术是六十年初在美国随着航天等军用尖端技术发展的需要而产生的，近
5、年来随着应用领域的不断扩大，其发展趋势是：向更高精度、更高效率方向发展i向大型化、微型化方向发展i向加工检测一体化方向发展i机床向多功能模块化方向发展；不断探讨适合于超精密加工的新原理、新方法、新材料。为了打破国外的技术和装备封锁，打赢未来的高技术战争，我们将致力于研究和解决我国在研和未来航空先进武器装备光电探测、制导、火控瞄准等系统中特种关键零部件微纳米级精密加工和检测专用装备及制造工艺技术，为我国新型空射导弹、巡航导弹、新一代军机的研究、发展和生产提供必需的先进制造技术。三、精密加工与国外的差距我国的超精密加工技术研究近年来虽然取得了很大的发展，但在国内目前成果转化工作还不理想，如超精密加
6、工设备的国产化问题、金钢石切削工具的刃磨修磨、精密模具制造等等。制约我国超精密加工技术发展的因素，主要有以下几个：（1）技术因素：国内技术成熟度还不够。对超精密加工设备的研制，基本上属于样机阶段，在工程化程度、可靠性、外观等方面还有许多工作要做，让客户接受有一定的难度。与国外引进设备相比，国产超精密加工设备价格昂贵，工艺不成熟、不稳定。（2）市场因素：超精密加工技术前些年主要应用于军工行业的高精度零件加工，属于单件小批量生产。近年来随着民用行业如数码、办公自动化等产品中的光学镜头模具大规模应用，促进了超精密加工技术的工程化应用。但是，由于目前我国尚未掌握主流数码设备的核心部件技术，这些核心元器
7、件大量依赖进口，从而进一步影响国内的超精密加工市场。（3）成本与投入因素：超精密加工技术是属于高投入的高技术，无论从环境建设、设备配置、以及后期运行成本等方面都需要大量资金投入。目前在预先研究这一块投入的资金、精力较多，而对于工程化这一块投入不够。 美国、英国、日本、德国、荷兰等发达国家的精密、超精密加工技术居世界前列。这方面的技术不仅用于军事部门，也大量用于民品的生产。今后一段时期，我国将以高效、超精密加工车床、CNC超精密复合加工机床、超精密平面和外圆磨床为重点，开发超精密加工技术及应用工程，带动一批精密、超精密的基础功能元器件，如超精密主轴轴系、超精密伺服进给系统、超精密测量系统和误差自动补偿系统的开发，以满足航天、航空及计算机等高技术产业的发展需求。
