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1、 安阳市凤凰光伏科技有限公司文件编号PH-WI-SD1-01019版本版次A0版文件名称强丰全自动清洗机作业指导书生效日期2012年3月1日页码第2页 共5页一、目 的通过规范强丰全自动清洗机作业，确保生产安全、高效。二、范 围适用于硅片二部的强丰全自动清洗机作业。三、定 义无四、职 责4.1工艺负责制定该文件；4.2工艺技术员及生产班组长负责监督实施；4.3一线员工负责按照文件实施执行。五、作业内容5.1 设备、材料。5.1.1 强丰全自动清洗机5.1.2 工作服、工作鞋、工作帽、橡胶手套、PE手套、一次性口罩、护目镜、围裙、耳塞。5.1.3 5000mL塑料量杯、刀片、8寸片盒、长柄刷、抹
2、布、刮水板、水桶、塑料周转箱、拖把，5.1.3 DY-100硅片清洗剂、DY-120B硅片清洗剂、NAOH5.2 主要工艺参数。九槽强丰自动清洗机1槽2槽3槽4槽5槽6槽7槽8槽9槽烘干槽功能超声清洗B剂清洗超声清洗超声清洗碱洗碱洗超声清洗超声清洗预托水洗烘干表面水分清洗剂/DY-120B/DY-100 NAOHDY-100 NAOH/溢流 超声HZ 温度25252525555560608090时间T280s280s280s280s280s280s280s280s220200s5.2.1工艺要求：5.2.1.1 单个机台清洗硅片36000pcs38000pcs之间（36H），进行彻底换液（中间
3、不加液）；5.2.1.2 彻底换液时， 2槽加B剂 2000ml； 5槽加DY-10012.5kg与NAOH500g，纯水170L；NAOH浓度0.3% 6槽加DY-10012.5kg与NAOH500g，纯水170L；NAOH浓度0.3% 5.2.1.3 清洗剂项“ / ”表示不加任何液剂；溢流项中“” 表示自动模式下打开溢流阀； “”表示自动模式下关闭溢流阀； 超声项中“” 表示自动模式下超声发生器启用；“”表示自动模式下超声发生器关闭；5.2.1.4各班（12H）下班前将各槽彻底清洗、彻底换液；5.2.1.5对于刚加液的第二、第五、第六槽必须保证化学试剂充分混合均匀后才能进行硅片的清洗作业
4、，即对于第二、第五、第六槽刚执行加液或换液作业时，前三篮以空篮进行清洗作业。5.3 开机操作：5.3.1开启电源，打开纯水、气阀开关、球阀开关，按下控制柜上电源启动按钮，触摸“进主菜单”； 5.3.2进入时间参数设定画面，根据工艺要求设定时间参数；5.3.3进入时间参数设定画面，根据工艺要求设定各槽加热温度； 5.3.4确保各槽超声处于打开状态并且超声的总电源也处于打开状态；5.3.5根据工艺要求将各槽自动运行状态下的超声、加热、抛动、进水溢流等打开； 5.3.6待加热温度到设定值后，进行“复位”；（图7）5.3.7复位后，选择“自动运行模式”，点击“自动启动”按钮，设备进入自动工作状态；（如
5、图7）5.3.8加液：5.3.8.1 穿戴好工作服、工作鞋、工作帽、手套、口罩、护目镜、围裙和耳塞；5.3.8.2 打开第一、二、三、四、五、六、七、八、九槽的进水阀门，二、五、六槽加水至3/4满；5.3.8.3 将加料水桶洗净，按照工艺要求用量倒入硅片清洗剂，再沿着槽边缓慢加入到清洗机二、五、六槽内；5.3.8.4 从二、五、六槽内舀出5-8升清洗剂水溶液到加料桶中，将氢氧化钠缓慢倒入加料桶并搅拌均匀，再沿着槽边缓慢加入到清洗机五、六槽内；5.3.8.5 二、五、六槽加液完毕后再超声震荡20分钟后才可以上料洗片或前三篮以空篮进行清洗作业。5.3.9 插片：5.3.9.1 在插片槽内放满清水后
6、关闭进水水阀，当插片槽内的水脏至不能见底时即打开放水水阀，更换槽内的水至清；5.3.9.2 将高度略高于片盒底部尖角的泡沫垫放入插片槽的水中使沉底，将空片盒对准泡沫垫放平稳，使泡沫垫正好位于片盒底部；5.3.9.3 插片前首先把整棒硅片“胶面朝上”顺序地泡入水中，然后轻轻拿起5-10mm厚度的硅片顺着切片线痕的方向轻轻抽取硅片，对准片盒的片槽按从外到内的顺序竖直插入片盒。若硅片无法一次插到底，则提起硅片重新插入，不得将硅片强按到盒底；5.3.9.4 插片时仔细检查硅片上是否有气孔，将气孔片、缺角、厚薄片分缺陷种类集中插在片盒内。集中插在片盒内，在随工单上注明气孔片数并通知分选员工注意检查气孔；
7、5.3.9.5 插完一根晶棒后，用理论片数减去已插片片数和插片破片数之和得出切片损失片数，并填入随工单，统计完的破片轻轻放入碎片箱；5.3.9.6 插片时，清洗员工的护袖不得接触硅片，手套每班更换2次，以免造成硅片污染。5.3.10 将装有硅片的洗篮放入上料槽，按启动开关，机械手将硅片从上料槽依次从如各槽清洗、干燥，干燥完毕，操作者在出料口取出硅片，完成一个工作循环；5.3.11 在清洗过程中若需暂时中断动作，可在任何情况下按“暂停”，再继续清洗作业可按下“启动”，则机械手动作断处自动衔接向下执行。如需紧急停机可按“急停”或“电源停止”按钮，紧急停机后应立即将各功能开关打至“关”位置；5.3.
8、12检查硅片运输车是否有破损脏物，车上是否铺设橡胶垫，车轮是否缠绕钢线等杂物，将完好的运输车平行放置在自动清洗机的出料台旁备用；5.3.13 清洗篮经过热风通道出来接触到感应器后，将片盒平稳地从篮中取出整齐排列在硅片运输车上，禁止震动硅片，用干净的洁净纸避开硅片擦去片盒上残余的水；5.3.14 整根晶棒的硅片完全清洗完毕后，用戴有干净手套的手指谨慎地将片盒内的碎片捏出，清洗出的完整硅片数量计入清洗后片数并填入随工单；5.3.15 将清洗后的碎片数与插片破片数相加，数量填入随工单的人为碎片一栏中；5.3.16 应随时注意故障报警，对不能处理的故障报警应立即停机，找相关维修人员处理并填写故障报修单
9、。5.4 注意事项：5.4.1 清洗槽加清洗剂前应先加清水至振板上；5.4.2 断开总电源前，应先关闭其它分开关；5.4.3 槽内没有清洗液或水时，严禁开启超声和加热器；5.4.4 换液时，加热器开关及超声波开关应处于“OFF”位置；5.4.5 循环系统的调节阀位置调好后，一般不应随便调动，如使用条件变化，可根据情况重新调动；5.4.6 震板表面不能划伤、撞击或放置物品，若硅片或其它物体掉入清洗槽内，应及时取出，可从底部松开掏渣盖，手工掏净槽底沉积物及清理加热器的沉积物；5.4.7 第一、三、四、七、八、九槽没有硅片时应关闭循环水进水阀；5.4.8 每小时检查水电气的状态是否正常，超声、加热是
10、否处于正常工作状态，发现异常立即停止清洗并报修；5.4.9 用于加料的水桶必须标记容量刻度线；5.4.10 设备上料台待洗的硅片不得多于1篮，快到上料时间的1分钟内上料，以防止硅片表面变干产生脏片；5.4.11晶棒切割完成后到进入清洗机器中，开始清洗的时间间隔必须在2小时以内；5.5 工作用品更换频次要求：名称长柄刷抹布刮水板拖把5000ml量杯橡胶手套刀片PE手套一次性口罩配备要求1个/3台1块/人1个/3台1个/3台1个/1台2副/人1个/人1副/人2副/人更换频次每月每月每月每月每半年每班每星期每班每班5.6 脏片异常处理措施：5.6.1预清洗机出来的硅片很脏时关闭清洗机一槽的溢流，在第
11、一、第二槽中加B剂两杯（2升），在插片槽内加B剂1杯（1L）， 并且每班中途时间（2：00/14：00）再行加料，分别为：第一、第二槽各加入2杯B剂；5.6.2当洗出的硅片表面有水印，可适当更换九槽热水、提高9槽、干燥炉温度及时间；5.6.3当洗出的硅片表面有残余的砂浆印，可以适当增加B剂和NaOH的用量或更换频次；5.6.4当一根棒分选时发现有超过200片脏片，立即停止取片，将剩余片盒内的硅片直接送清洗岗位不产生脏片的机台上返洗，从已取出的硅片挑出等外脏片，小心插回到片盒中送清洗岗位返洗；5.6.5当预清洗处发现硅片表面有红色残余物时，各槽清洗时间加长至6-8min，关闭清洗机一、三两槽的溢
12、流，在静态水中加B剂两杯（2升），并可在插片槽内加B剂1杯（1L）；5.6.6当清洗出的硅片边缘有黑色、蓝色或黄色条纹，用沾有酒精的洁净纸轻轻擦去异常颜色后重新插片返洗。六、 相关文件与记录6.1 清洗更换配液记录表七、 附件 7.1 自动运行前，要确认设备在原点位。7.2 机器长时间停止运行须切断主电源。7.3 操作人员在清洗槽体时，请不要马上排除槽内液体，否则易造成发热管因为余热将表面的保护层烧皱，导致发热管的使用寿命减少，且排液时将电源断开，以免出现触电事故。7.4. 设备在正式生产时,将抽风机打开,否则会造成机器湿度太大,影响各电气元件的稳定性能.7.5 如果作业指导书中没有提及的要求或由于临时需要，请按照工艺的通知执行。编 制审 核批 准刘 鹤
