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1、沉铜感应器操作手册WCU3102004-5-8一简介:该控制系统采用光电吸收原理检测溶液中的铜离子含量. 屏幕上的能量柱可以形象的显示铜离子含量的变化情况,同时,数字则可准确的显示当时的铜离子含量.其控制面板如下:显示屏如图: 操作过程中屏幕会显示以下信息:1, Control Delay 30 (The number Count Down)2, Sensor Error3, Light Bulb out 4, No Sample5, Pump Over6, High/Low Alarm7,Calibration time8,Output on9, Normal二, 按键的设置 在控制面板上有
2、四个功能键(ENTER, EXIT, NEXT 和 PREV.), 有转换键,分别以上,下,左,右方向的箭头代表. 通过PREV. 及 NEXT键可以选择需要修改的项目, 之后按ENTER键进入选定的项目,可以查看其设定. 进入后可以通过箭头变更项目及修改各参数. 三, 密码的设定1, 进入该控制程序需要一定的权限, 避免不熟练的操作造成设定参数的混乱, 使得流程失控. 获得密码: 1995为原始设置(建议此密码只给相关操作人员)2, 更改设置: 当参数需要调教时, 设备会要求输入Password. 按ENTER键进入所要更改的目录, 设备会要求输入密码, 屏幕显示0000,通过四个箭头可输入
3、密码,按ENTER键进入.四, 开机及关机 当打开电源开关时, 屏幕会延时30秒钟后显示数据, 此时不能进行任何操作, 待屏幕有数据显示后,方可进行感应器调教,参数设定等操作; 在停止使用时,直接关电源即可.五, 感应器的设定及调教 通过密码后可以进行以下参数的设定: 调校记录(Calibration History), 测试方式(1 Point Calibration), 测试间隔(Days Between Calibration), 测试单位(Units Of Measure), 控制模式( Control Mode), 重新设定程序(New Sensor Set-Up). 首先, 通过箭
4、头及功能键选择 Cu Mode , 之后在Electroless Copper及microetch Copper 两相之间选择Electroless Copper. 用PREV.键选择测试单位.校正(1 Point Calibration): 按ENTER键进入测试程序. 将感应器放入工作液中, 显示屏会出现但前的药水浓度. 将该测试结果同化验室的分析结果做比较,同时根据分析结果调校显示数据.如若二者数据结果相差太大,则需重新校正.单位设定(Conc. Unit): 按ENTER键进入画面,在g/l及oz/gal之间通过上下箭头选择g/l,之后用ENTER键确认.设备会提醒设置点被改变,之后所
5、有的数据将以新的单位显示.具体的操作如下图所示.控制器自我检测( Self Test): 在进行自我检测过程时必须将感应器的连线与控制器分离, 按ENTER键进行测试,屏幕会显示 ” FAIL 和 “PASS”, 当显示PASS时,则可进行下一步操作, 若显示FAIL则说明控制器本身出现问题, 需要进一步检测.重新设定参数(New Sensor Set-Up): 通过按ENTER键进入New Sensor Set-Up, 画面会显示: WARNING Chg Sensor Cal? N ”, 该提示避免在检测参数的过程中出现错误, 若按Y进入,则必须对仪器进行调校, 否则无法使用.A, Wat
6、erXXXX.X 开始设定时首先会出现以上WaterXXXX.X. 此时, 须将感应器用清水冲洗干净, 并将其浸人DI. 水中. 当显示数据稳定时按ENTER键确认.B, SampleXXXX.X 将感应器放入已知浓度的标准液中, 待其显示稳定后按ENTER键确认.*理想的标准溶液是取已知浓度的工作液, 但不建议在工作槽中进行校准, 因为有生产板在镀槽中时, 药水浓度本身在变化, 会对标定结果产生影响.C, 浓度的设定(Smpl Conc) 通过箭头键将测定浓度输入仪器, 此时画面值与分析结果一致, 按ENTER键确认.输出信号1的设定( OutPut 1)通过Output 1 的参数设定,
7、我们可以确定控制点, 偏差范围及加药时间等参数, 同时可以设定手动状态与自动状态之间的转换. 各种信号的含义如下:OFF, 表示输出信号关闭;Intrlck, 表示因为设置或信号的问题停止工作;Overrun, 表示添加泵超时工作而被终止. Total 1用ENTER键锁定Timer/Totalizer功能, 显示Reset Total Y/N. 使用箭头确认是否重新设置计时/计量器.控制点的设定(Set Point)通过上下箭头输入所要求的控制点,为2.0g/l, 按ENTER确认. 控制范围的设定(Dead Band)通过上下箭头输入偏差范围为0.2g/l.此时控制点为2.0g/l, 偏差
8、为0.2g/l. 当显示低于1.8g/l时,加药泵启动开始补加. 当显示为2.0g/l时添加泵停止. 持续添加时间设定(Time limit)通过箭头键输入添加泵一次运行最长时间, 按ENTER键确认. 将控制泵的最长时间设定相同, 当单次添加时间超时后, 添加泵会自动停止加药, 此时必须检查是何原因导致浓度持续偏低. 如果设定限制时间为0:00, 则添加泵将不断加药而不会自动停止. 内部锁定(Interlock)进入画面,用上下箭头选定Y 或 N. 若选定Y , 则表示泵的运行会与控制系统的状态相联系,若出现问题,则泵会停止运行.如发现仪器内部锁定,则必须关电源后重新调校感应器. 运行时间再设定( Time Reset)当添加泵超时运行被停止后, 进入菜单会看到此项显示. 此时要根据操作指引重新设定时间后添加泵方可运行. 自动与手动间的转换(HOA)HOA表示Hand, Off And Auto. 通过左右箭头可以选择添加泵的工作状态.Output 1 Menu Output 2, 3&4 Menu
