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1、表 1国内外超净高纯电子级氢氟酸产能调研表（2012-7 ）产能（万吨/年）产品等级技术序号生产厂家备注合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源2011 年 6 月已进行年产3 万吨电子级氢氟酸扩建项目环境影响报告书审批前公示。在现有 0.7万吨 /年的电子级氢氟酸基础上，再新建2.3万吨 /年电子级氢氟酸装置。计划于 2011年新建一套1.5万吨 /年电子级HF 生产装置，配套建设2 万吨 /年的无水氟化浙江巨化集团凯圣氢装置；2013 年新建一套 0.8 万吨 /年 UP-S 级 HF 生产装置。2012 年初已发布了巨化1.氟化学有限公司凯 3 0.71.50.8 自创 股份关于
2、凯圣公司年产6000 吨 ppt 电子级氢氟酸固定资产投资项目的投资公告。项目恒电子材料公司采用引进技术，包括原料供应系统、HF 纯化系统、稀释循环过滤系统、成品过滤系统和成品贮槽系统等内容。项目固定资产投资8300 万元，预计2012 年 10 月建成投产。（注： 70% 的 ppt 电子级氢氟酸主要用于LED 晶圆生产，目前ppt 级产品国内基本靠进口。）浙江蓝苏氟化有限公司由浙江蓝天环保高科技股份有限公司、苏威氟控股(亚太 )有限公司合资建立的中外合资企业，注册资金4000 万元。公司于2006 年 11 月 19 日开工建设 2 万吨 /年无水氟化氢项目，2007年9月16日投产。选址
3、在衢州高新技术产业园区华阳路39号。电子级氢氟酸项目引进苏威公司的先进生产技术，总投资 3500万元，其中环保投资170 万元。公司于2010年 4 月开工建设， 2011年 12 月投入试运行。产浙江蓝苏氟化有限品用于太阳能行业。苏威 Solvay在华氢氟酸企业。根据2012年浙江省工业转型升级2.0.5 苏威2838 万元，审计后投资额1106公司财政专项资金项目汇总表（衢州市区）列，项目总投资万元， 2012年正在申请省工业转型升级财政专项资金项目补助资金64 万元。项目为年产 5000 吨电子级氢氟酸项目，可生产UP 级、 UPS 级电子级氢氟酸。现有电子级氢氟酸等级有四级（从低到高分
4、别为AR 级、 EL 级、 UP 级、 UPS 级），现国内自有技术为 AR 级和 EL 级，蓝苏公司生产的电子级氢氟酸为UP 级和 UPS 级。项目各项配套条件均落实，并已完工投产，质量已达到设计标准。1产能（万吨/年）产品等级技术序号生产厂家备注合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源3.浙江瑞星氟化工业日本 Stella 在华氢氟酸企业。有限公司2003 年 11 月成立（金华市武义县青年胡处工业区），日本 森田化学工业株式会社浙江森美化工有限（ Morita Chemical ）在华氢氟酸企业。无水氟化氢产能15 000 吨。并于2004 年 12 月4. 取得 ISO1900
5、1-2000、于2005 年 1 月取得 ISO14001 认证。 2009年 2 月森田化学半导公司体级氢氟酸增产设备完成。森田化学还与住友合资在张家港有限公司建有800 吨 /年的六氟磷酸锂厂。5.位于苏州市吴中经济开发区澄湖东路，是一家生产销售微电子业用超纯化学材料和其他精细化工产品的中港合资企业。品种包括氢氟酸、过氧化氢、异丙醇、氨水、硝酸、氟化铵等。目前主要量产品种的纯度为单项金属杂质含量小于1ppb 。产品广泛应用于超大规模集成电路和TFT-LCD 面板制造过程中的蚀刻与清洗。总体产能2 万吨， 公司江苏苏州晶瑞化学产品包括光刻胶和超净试剂，高纯氢氟酸产能7000 多吨，占其利润一
6、半，产品处于中 苏威 高端水平，在行业中有较好口碑。其产品80% 用于太阳能领域，20% 用于半导体、6.0.70.7 公司TFT-LCD 领域。 2011 年在建 1 万吨氢氟酸生产线，还计划在苏北建立1 条 8.3 万吨级的生产线， 开拓北方市场。UP-S 级微电子用高纯度氢氟酸2008 年获奖2007 年中国半导体创新产品和技术项目。2009 年度苏州市科技发展计划各类项目，经专家评审，公告确定了该公司UP-SS 级微电子用超纯氢氟酸获得苏州市科技型企业技术创新资金专项项目。江苏江阴市润玛电总产能约 2500吨，产品包括硫酸、氨水、氢氟酸等，产品95% 针对太阳能市场，仅7.0.10.1
7、 5% 针对半导体市场，公司总体路线是低价路线。子材料有限公司8.江苏江阴江化微电 0.10.1 生产微电子化学品紫外负性光刻胶及其紫外正、负性光刻胶配套试剂、超净高纯2产能（万吨/年）产品等级技术序号生产厂家备注合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源子材料股份有限公试剂、通用化学试剂系列以及其它专用电子化学品5000 吨能力，产品类型与晶瑞相似，司但技术水平低于晶瑞。9.江苏江阴化学品有总体产能 3000 吨，主要产品是CMOS 级、 MOS限公司级和低颗粒高纯试剂。即金城试剂厂，还包括金城精细化工厂、精细化工二厂和金城公司昆山分公司等，是10.江苏昆山金城试剂江苏最大的专业生产化
8、学试剂产品的企业之一。高纯试剂： 包括高纯无机酸类 （盐酸、有限公司硫酸、 硝酸、氢氟酸等） 及部分有机溶剂 （醇、酮、酯及苯类） ，纯度为4N 、5N（ 99.99% 、99.999% ）的金属氧化物（铋、铅、碲、钨、钼、锆）。江苏苏州旭昌化学苏州市发展和改革委员会2012-1-30 发布新建项目核准的批复，该项目位于昆山市千11.科技（昆山）有限公0.80.8灯镇精细化工区，其中电子级氢氟酸清洗剂8000吨。司专业生产工业级氢氟酸、电子级、分析纯、超高纯氢氟酸、氟硼酸、氟硼酸亚锡、氟江苏昆山市富乐化硼酸铅、氟化铵、氟化氢铵等氟化物产品及硝酸、盐酸、硫酸、无水乙醇、氢氧化钠、12.双氧水、
9、丙酮等。 年总产量达到10000 多余吨， 年产氢氟酸为5000 吨、氟硼酸为 1000工有限公司吨、双氧水为800 吨硝酸为3000 吨，盐酸为1500 吨等。氢氟酸产品为试剂级、电子级、 mos 级。江苏南通 2011-07 对江苏三美化工有限公司（在如东洋口化学工业园如东）年产6 万吨 ODS 替代品 (包括年产 1 万吨二氟甲烷、1 万吨五氟乙烷、1 万吨三氟乙烷、2 万吨13.江苏三美化工股份1 四氟乙烷及 1万吨五氟丙烷) 、 5 万吨无水氟化氢、1 万吨高纯电子级氢氟酸、3 万吨有限公司偏二氯乙烯、3 万吨三氯乙烯、0.5 万吨聚偏二氟乙烯树脂；联产19万吨石膏、17 万吨盐酸、
10、 0.55万吨 40% 氢氟酸、 0.6 万吨氟硅酸、0.1 万吨四氯乙烯及850 吨六氟丙烯项目进行了审批公示。3产能（万吨/年）产品等级技术序号生产厂家备注合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源江苏海安南通明鑫最专业的高活性氟化钾设计制造商：南通市明鑫化工有限公司专业生产结晶氟化钾、14.无水氯化钙。生产氢氟酸、氯化钾、氯化钙、钝化液，同时经营硫酸、硝酸、盐酸、化工有限公司氟化氢铵、氟化氢钾等。15.江苏南京苏纯化工南京苏纯化工科技有限公司是一家领先的超净高纯电子化学品与水处理化学品提供科技有限公司商。其超净高纯-氢氟酸（ 40%/49% ）纯度规格EL 级 /UP 级 /UP-S 级，
