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1、超低压反渗透膜在工业水处理中的应用半导体材料和器件的制备，需要高质量的高纯水，要求低TOC(5ppb)、低细菌内毒素(反渗透膜对TOC和细菌内毒素的去除效果比较，并成功的应用在空间材料制备用水、高纯化学试剂生产用水、机车电瓶用水及建材制板用水上，取得了很好的效果。一、TOC、细菌、细菌内毒素、颗粒对大规模集成电路的影响随着电子工业的发展对高纯水提出了越来越高的要求。例如6，制作16K位DRAM允许水中TOC(总有机碳)为500ppb、金属离子为1ppb、0.2m的颗粒为100个/毫升;而制作16M位DRAM时，则要求TOC5ppb、金属离子10 120 0.03 一级RO(TFC膜) 4200
2、 0.3 50 0.033 2500 0.25 二次蒸馏水 2500 0.25 500 0.1 三次蒸馏水 500 1 100 0.03 双级RO(TFC膜) 50 0.03 20 0.03 双级RO+185nmUV 30 0.03 5 0.03*EU=EndotoxinUnit(内毒素单位)美国1993年ASTM-E1级水中规定内毒素含量0.03EU/ml，ASTM-E2级水，内毒素要求0.25EU/，在我国高纯水国标中，用双级RO+185nmUV制取高纯水，TOC降至5ppb和细菌内毒素反渗透膜对水中细菌内毒素的去除效果比较。几种膜对细菌内毒素的去除效果比较透过膜水样 细菌内毒素含量EU/
3、ml 进水 出水 CA膜 3 0.03 NTR-759膜 3 0.03 CPA2膜 3 0.03 ESPA膜 3 0.03由所示，经低压和超低压复合膜反渗透的水，其细菌内毒素含量，均3 离子交换法 0.250.5 超声法 0.25 254nm紫外法 0.030.25由看出用其它方法去除水中的细菌内毒素均不理想。我们还将低压反渗透和185紫外灯及PVDF管材一起用，除去高纯水中的TOC和细菌内毒素，这样制得的高纯水，能使TOC5ppb和细菌内毒素99%，CH3CCH398%。四、LF10低压复合膜LF10膜是低压onclick=g(反渗透膜);反渗透膜的一种，它具有脱盐率高，水通量大，抗污染强，
4、抗细菌侵蚀等特点，由于它特殊的表面结构，表面电位为中性，亲水性好，不象一般的onclick=g(反渗透膜);反渗透膜易吸附表面活性物质，被污物堵塞，因此是新型的用于各种废水处理中的理想onclick=g(反渗透膜);反渗透膜。4.1在不同的PH值下LF10，NTR759HR，ESPA膜表面电荷的比较。在不同的pH值LF10，NTR759HR，ESPA膜表面电荷的比较由出LF10膜在不同的PH值下，膜的表面电荷接近中性。4.2LF10与NTR759HR膜在废水处理中水通量的比较。LF10膜除具有低压膜的优点外，其耐污垢特性好，与常规RO膜相比，LF10膜处理含表面活性物质的废水时，其水通量不会明
5、显降低。LF10与NTR759HR膜处理废水时水通量的比较操作条件产水通量：1.5L/min;浓水流量：0.9L/min;RO进水电导率：30004000s/min;温度：68;pH：7.7五、应用我们将CPA2膜的反渗透器，前级用多介质过滤器，活性碳过滤器，后级用离子交换混床，紫外灯或臭氧杀菌，0.2m膜过滤器，出水水质达ASTM-E1级标准，用于空间材料的制备及1800个车箱机车电瓶用水，又将NTR-759膜用于化学试剂制备、ESPA膜用于纤维板生产，达到了水质好、脱盐率高、产水量大、节约能耗的目的，取得了很好的效果。六、结论综上所述，低压复合膜和超低压复合膜较醋酸纤维素膜有大的比表面积，操作压力低，产水量大，脱盐、脱硅率高，节约系统的运行成本和设备投资，ESPA超低压膜又由于保持了复合膜的所有优点。有很好的化学稳定性，此外还有很好的去除细菌内毒素和THM的能力，所以低压复合膜和超低压复合膜是当今制备高纯水理想的onclick=g(反渗透膜);反渗透膜，与常规RO膜比较，LF10膜在低压下有同样的高脱盐率和高水通量，此外，由于它的表面电位中性，较亲水，故抗污染能力强，因此对含表面活性物质导致膜污垢的废水处理中，是具有优越性能的。技术资料由北京水处理公司提供
