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1、 深圳市新亚电子制程股份有限公司 洁净室维修保养及管理手册深圳市新亚电子制程股份有限公司 地址: 深圳市福田区益田路6003号荣超商务中心A栋9楼 目 录前 言4第一章 空气净化设备51.1 集中式空调净化处理机组51.2洁净层流罩51.3 传递箱61.4货 / 风淋室61.5 高效送风口71.6 通风系统阀门及附件7第二章 洁净室运行管理102.1化空调处理机组的安装、运行及维护102.11注意事项102.12机组的装卸与运输112.13 机组安装122.14机组使用142.15机组维护152.16风机及其维护172.17电动机及其维护302.18皮带的调整与更换332.19 冷热水盘管的运
2、行与维护352.20 蒸汽加热盘管的使用与维护382.21干蒸汽加湿系统的运行维护412.22过滤器的安装与更换42第三章 其它设备及装置的安装433.1 空气净化设备和装置的安装433.2 风管与附件443.3过滤器安装453.4高效过滤器的安装463.5风淋室473.6防火阀483.7制冷水系统阀门493.8冷却塔523.9灯具53第四章 洁净室管理564.1洁净室人流、物流管理564.11作业人员的管理564.12原物料、设备进出管理594.13洁净室内用品管理604.2洁净室各系统维护保养管理624.21生产设备之选择、布置与保养：624.22生产设备之防尘措施：634.23自动化与无
3、尘化：64第五章 设备使用方法、问题分析与排除685.1 电气控制系统常出现的故障685.2 空调系统使用时注意事项695.3送风系统关闭后能否打开回风口705.4室外空气太脏能否在新风口加一块纱布705.5通风系统启动后洁净室突然没风或风很小705.6 阴角圆弧形挠起后如何处理715.7 如何把隔断上的玻璃拆下715.8过滤器如何清洗或更换715.9 局部净化设备在使用前应注意什么725.10 风淋室并没有达到预想目的是什么原因725.11 什么是气闸室和缓冲室735.12 球形锁松动是怎么回事，怎样修复745.13 环氧树脂或塑料地面鼓泡怎么办745.14 使用一段时间室内风量变小怎么办7
4、45.15 局部百级是否必须设置围挡755.16 室内温度不能随气温变化面调整755.17 空调器内在量积水而不能从其排水口顺利排出的原因762.18空调系统在运行中，送风管路产生喘振的原因及处理765.19水冷式表面冷却器在冬季运行时冻裂的原因及对策785.20 在正常情况下，空调系统中的送、回风风机无法启动805.21空调系统在运行中发出哨声的原因及处理815.22蒸汔加热的空调系统停止运行后，散发出焦糊味的原因81前 言近几年来，空气洁净室的应用日益广泛，但是，在实际工作中由于使用者对洁净技术知识掌握不够，特别是对洁净室的维护、管理不注重，使得洁净室并没有达到预期效果，有时甚至形同虚设。
5、鉴于上述原因，我公司根据多年经验，参考有关资料，收集各方面意见，针对我公司承揽的净化工程，组织编写了这份使用说明。说明书前半部分对空气洁净技术的基本原理及洁净工程所用到的通用洁净设备知识进行了概括介绍，后半部分对工程中涉及各专业的重要安装节点、维护管理方法、常见故障及排除作了进一步阐述。空气洁净技术是一门多学科的综合性新型技术，其新领域、新技术、新理论层出不穷，如有不足之处，敬请原谅！洁净室的维护管理是一个长期细致的重要工作过程，发现问题、解决问题是本说明书的任务。希望我们密切联系，共同把此项工作做得更好！ 第一章 空气净化设备1.1 集中式空调净化处理机组1.1 净化空调及其配套的送回风管道
6、和配件的作用就是对进、出洁净室的空气进行综合处理，其中包括初、中、高效过滤器，加热（或制冷），加湿，去湿，消音等，确保进入洁净室的空气清新、无菌洁净、温湿度适宜，并与外界空气完全隔开，这样才能和洁净室的空气进行有效混合，从而通过回风管道将洁净室内的低质量空气逐渐带出洁净室，使室内达到要求的洁净度。1.2 空气处理源头，如果自身不是卫生型的，就易产尘、积尘、长菌，因此不但会降低其它配件的使用寿命，提高运行维护成本，也使洁净室内的空气质量很难保证。1.2洁净层流罩1） 垂直单抽流局部洁净送风装置，可分为有风机和无风机；2） 主要由预过滤器、风机、高效过滤器和箱体组成，进风可取自洁净室内，也可从技术
7、夹层上取；3） 为了保证操作区的洁净度，层流罩下方往往设置一定高度的垂帘，其材质有塑料薄膜、有机玻璃或玻璃；4） 结构简单，安装方便，可直接罩在设备或操作位置上使用；1.3 传递箱1）用于洁净室内外和洁净室之间传递物品用的一种装置，能隔断贯断穿气流，有效地防止物口传递过程中污染的传播，并使洁净室正常的气压分布状态得以维持；2）根据需要可分为全不锈钢窗体和钢板喷涂的钢制箱体；3）具有机械互锁装置，或根据需要配置紫外线灭菌装置、语音通话装置、高效过滤装置和带滚轴装置。1.4 货 / 风淋室1） 可强制吹除进入洁净室的人员衣服上附着的尘粒以达到人身净化目的的小室设备，分小室吹淋到和通道式吹淋室，前者
8、又分为喷嘴形和条缝形。a 是进行人/货净化和防止污染空气进入洁净区的净化通用设备，经高效过滤后的洁净空气经可旋转喷嘴从各个方向以高速度气流喷射至人/货上，从而有效迅速清除附着在其上的尘埃粒子，达到净化作用。由于两扇门不能同时开启，可起到气闸作用；b 清除后的尘埃粒子再由初、高效过滤器过滤后重新循环到风淋区内。2） 机理：要想吹支衣服表面的沾尘，必须使衣服抖动起来，也就是要使衣服表面的气流转变为紊流，使衣服抖动起来；对于球形喷嘴，速度大约要大于1820m/s，这个速度是自由射流达到衣服表面时的冲击速度。3） 技术参数：a 风淋室内净宽一般为0.8m；b 喷嘴气流速度:一般为2535m/s喷射；c
9、 吹淋时间：一般为3060s；d 根据需要可配置：红外线感应自动门、ULPA超高效过滤器、黄光灯/紫外线杀菌灯/急停开头以及除静电离子系统。4） 选用：a 对于千级、万级，不吹淋影响设计的级别，对于10万级，一般可不设吹淋，要求高也可以设，对于百级，因是单向流，人的产尘不随气流混掺到全室，不考虑横向交换，不需设风淋；b 一个吹淋室最大班次通过人数为30人以内的时，采用单人小室内，当超过30人，采用单人小室并联或多人小室式，最大班次在80人以上时，采用通道式；1.5 高效送风口1） 由高效过滤器、静压箱、扩散板、调节阀组成；2） 工厂制作，其结构和送风效果更容易保障，可做空调净化系统的终端过滤装
10、置；3） 高效过滤器一般为下装式结构，更换方便；有压紧式负压密封和液槽密封等；1.6 通风系统阀门及附件1） 单层百叶风口：可用于送风与回风。根据不同的用途，可配有人字闸或过滤器。2） 双层百叶风口：可根据用户要求配备人字闸。此系列双层百叶风口具有两层相互垂直叶片，用于精度较高的空调工程，垂直叶片可调节气流扩散向，以改变射程。3） 方形散流器：外框与内心是组合式结构，拆装简便快捷，散流器广泛用于空调系统中作送风口用，是空调工程中应用最广泛的风口之一。4） 固定回风百叶：具有较好的通风性能，通常在空调系统中作回风口用，根据需要可在后面配加过滤网。同时它也可作吸排风口之用，如洗手间，电梯间，检修口
11、装饰面和外墙通风口。5） 门铰式回风百叶：该回风口外框内蕊由门铰连接，方便安装，可任意开关；清洗或更换过滤网方便、快捷，是理想的回风口；也可作检修口用，通常此种风口都配过滤网用，是空调工程中应用最广泛的风口之一。6） 防水百叶风口：与固定回风百叶有相似的结构和性能；但它的叶片设计成带勾槽的特殊形状；具有防止雨水溅入室内的优点，通常安装在外墙上作新风口用；7） 人字调节阀：由多组对开对合的叶片，调节滑板同步调控闸叶开合角度，来调节送风口风量，从而使送风口气流量恒定，常与散流器和单、双层可调百叶等送风口配套使用。8） 双层可调百叶风口：常用于空调通风系统中作侧面送风口，是空调工程中应用最广泛的风口
12、之一；可根据需要调节叶片上下，左右角度，以控制冷气流出的方向，从而得到不同的送风距离，还可直接与风机盘管或人字阀配套使用；9） 单层可调百叶风口：可根据需要调节叶片上下，左右角度以控制冷气流出的方向，常在空调和通风系统中作侧面送风，也可作回风口使用；10） 余压阀：a. 用于具有正压的空调房间的正压无能耗自动控制；b. 通常情况下靠风口的百叶自重而自然下垂，隔绝室内外空气交 换；c. 根据房间正压需要调节阀节板上的调节螺丝，阀门自动根据压力变化而改变开启角度，使房间正压得以维持稳定；11） 止回阀：安装在通风或空调管道中，当管内气流与阀体开启方向一致时，阀门开启，气流顺利通过，管道中无气流阀门
13、自动关闭，从而防止气流倒流；12） 手/电动调节阀：分为单叶和多叶，通过手柄调节叶片开全角度来控制风量大小；电动调节阀是在手动阀的基础上，将手柄操作改为电机操作，电机通过连杆机构操纵叶片的开合角度来控制风量；13） 防火阀：安装在通风管道中，通过偏值易熔片将叶片吊起，保持开启状态使气流顺利通过，当通过防火阀的气流温度超过易熔片熔断温度时，易熔片熔断吊起的叶在重力的作用下自动关闭，防止高温气流及火焰的蔓延。第二章 洁净室运行管理空气净化设备和装置包括空气吹淋室、气闸室、传递窗、余压阀、层流罩、洁净工作台、净化空调器等，未包括或有特殊要求的设备，其安装施工应按设备的技术文件（如说明书、装配图、技术
14、要求等）的规定执行。2.1化空调处理机组的安装、运行及维护2.11注意事项1) 进入机组内部操作时，切记勿将工具等物品留在风机内；2) 风机完全停止转动前，不要打开检修门；3) 确认电机已良好接地，方可启动机组；4) 在风机工作时，不要进入风机室或进入机组工作；5) 检修风机时，应首先先断掉风机电机的电源；6) 水压不要超过机组样本给出的最大工作压力；7) 在冬季室外气温有可能低于0的地区使用机组，冬季来临前，表冷器应完全放空，以防冻裂盘管或水系统；冬季停机期间，加热器中也应完全将水排空；8) 装有加热器的机组，应将电加热的电源串接在风机电源上，与风机形成联锁或在靠近电加热器的送风管道内安装无风断电装置，以防止缺风加热造成火灾；9) 机组风机电机托架下的固定支架是为运输过程中固定风机电机而设，在电机安装定位后，应予以拆除。2.12机组的装卸与运输1）机组整体包装运输还是分段包装运输，取决于机组尺寸与型式；2）应视机组尺寸及重量选择合适的运输或搬运工具，可以使用叉车、平板货车或平台车；3）装卸与运输过程需注意以下几点：a.装卸时不能以机组配管或汇管作为托架支撑点；b.在安装、接管之前，请不要拿掉盘管接管外的保护层；c.在机组最终定位或组装前，请保留机组的衬垫物和保护层；
