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1、重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶感光性基团邻重氮荼醌基有机化合物+线型甲酚醛树脂+溶剂特点：特性：分辨率高、台阶覆盖好、对比度好；粘附性差、抗蚀刻能力差、 咼成本。原理：使用酯缩醛聚合物（线性酚醛树脂）为感光树脂，以重氮荼醌磺酸酯 为光致产酸剂，光解产生磺酸，而酯缩醛聚合物具有高酸解性，在酸的作用下， 室温即可分解为小分子片段，该体系用碱水显影时，具有更高的溶解速度和酸解 活性，可进一步提高光致蚀刻剂的分辨率。溶剂可选用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA），乙二醇乙醚，乙二醇乙醚乙酸酯 等，其沸点大约在130C左右，这有利于预烘工艺中溶剂的快速挥发。原材料：（1）光刻胶用线性甲酚-甲醛树脂（本产品是甲酚
2、与甲醛在催化剂作用下缩 聚而成的热塑性聚合物，以反应工艺配方的严格设计控制树脂的分子量大小和分 布、甲酚异构体比例以及甲撑连接方式。）基本参数：项目指标外观洁黃色片狀固休分子量MilIOOO-IIOOMw:50006000软化点140160代）游离单体含量0.5(%, )应用领域：本品是g-line、i-line光刻胶的关键组分之一，因其优异的热稳定 性与抗蚀性，可用于制备高分辨率的树脂图像。供应商：北京金介特新材料科技有限公司（2）WL-8014 （光刻胶专用酚醛树脂，红棕色）型号幅韵整体念虽（如 邑度越）电异車tuVom Kite m用述WL-3014 200 C,高稳定性 陵分解活性：嘉，分鮮湿度工室温曝光区域的酸向非曝光区域迁移，解决办法，引入适量的碱添加剂。
