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1、真空计是测量真空系统中气体压强的仪器，种类很多，这里介绍的复合真空计是常见的一种,复 合真空计是由温差电偶真空计与热阴极电离真空计组合而成。温差电偶真空计的原理温差电偶真空规管由玻璃制成,通过小管8和真空系统相接,如图2所示，在规管内的两 根引线上装有热丝3,另外两根引线上焊着一对温差电偶4,温差电偶的另一端与热丝在A点焊接。com隅迪瘵阑hi.由于在低压下，气体的热传导系数与压强成正比，所以在通过热丝的电流（90150 mA） 定的条件下，热丝的温度随着规管内真空度的提高而升高,温差电偶电动势也就随之而增大。因 此，通过测量温差电偶电动势,就可确定出被测系统的真空度,温差电偶真空计就是根据这
2、个 原理制成的。温差电偶真空计的电离真空计的测量范围15x10-2 Pa。热阴极电离真空计的原理电离真空规管就是一只三极管，如图3所示，通过B管与真空系统相接，使用时，在灯丝 电路中通以电流5 mA,灯丝受热后便发射电子,由于栅极为正电压，使电子加速，中途与气体 分子相碰，气体的密度越大，碰撞机会越大，产生的正离子也越多。另外,由于板极电压为负， 便吸引正离子在板极电路中形成板极电流Ip ,气体分子密度越大（即压强越大）,板极电流也 越大，反之就小。所以，通过测量板极电流便可以确定气体的压强,热阴极电离真空计就是根据 这个原理制成的。热阴极电离真空计是测量极高真空的仪器，测量范围为1x10-2
3、1x10-5 Pa。注意：一旦测量完结，立刻关闭电离真空规管灯丝,这样可延长规管使用寿命。mVFG I Ci真空技术网acuL复合真空计的使用复合真空计由上述两种真空计组合而成,现在常用的型号有WXK型和FZH型，使用方 法基本相同。现就WZK-1A型介绍如下。如图4所示是WXK-1A型的板面图，K1为电流总 开关，开关K3、K4及电位器W5和电表CB2属于温差电偶真空计部分,其余均属于热阴极 电离真空计部分，温差电偶真空规管和电离真空规管已经焊接在真空系统上，测量时，各用一根 电缆线与复合真空计相接,在使用前或停止使用时，应该使面板上的所有开关都处于关闭状态， 如图4所示。加耘訓射go加滾
4、G）（电廐计电源零点调1is量鬼JJIE热IU衣加热电K眇危通妇I发射电诜息电源真空技术网w.ch vac （1）温差电偶真空计的使用:接通电流，预热10 min,使K4放在（加热电流）位置，调 节W5使CB2表的指针在下面一行刻度（mA）上达到加热电流的规定值（记在每只温差电偶 真空管的管座上或按说明书规定）,然后使K4放在（测量）位置，从CB2表的上面一行刻度 （mV）可读出温差电偶电动势,利用规管标准曲线，即可查出所测的真空度（有的温差电偶真 空度直接刻在CB2表分度盘上）。（2）电离真空计的使用：当被测系统的真空度低于0.1 Pa时,不能接通电离真空计，否则 会烧坏电离真空规管，必须在
5、温差电偶真空计CB2表的指针达到满偏转刻度时,才能使用电离 计，电离真空计暂时不用时,需断开电离计电源,否则会影响电离真空规管的寿命。 发射电源的调节：在未接通电源时，采用五芯电缆线把电离真空规管与仪器联接，带鳄 鱼夹的接线与电离真空规管板极联接,有香蕉插头一端与仪器背面接线柱连接,接通电源，预 热10 min,把K7放在（测）位置，K6放在（发射电流）位置，调W4使CB1表指针指在红色 标线“5”处。此时发射电流即为标准值5 mA。 零点调整：完成上一步后，K6放在（测量）位置,K5放在（调零）位置，调节W3让表的 指针指向零。 满偏转刻度调整：完成调零工作后，把K5置于（测量）位置，把W1调到（校准）位置，调 节W2使指针满刻度。 测量压强（真空度）：完成上一步后，将W1转到量程103, 102,;由电表指示的数 值乘以量程开关所指示的数值，即所测量真空度之值。
