年产8万超高纯湿法电子化学品—超净高纯试剂、光刻胶及配套试剂技改扩能二期检测报告.docx

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1、报告正本161012050364建设工程竣工环境保护验收检测报告YYJC-BG-2023-09257托付单位:江阴江化微电子材料股份工程名称:年产 8 万吨超高纯湿电子化学品一超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂技改扩能工程江苏源远检测科技2023 年 9 月 27 日工程名称:年产 8 万吨超高纯湿法电子化学品一一超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂技改扩能工程托付单位: 江阴江化微电子材料股份担当检测单位:江苏源远检测科技报告编制人:复核:审核:签发:签发人职务: 参与检测人员:洪杰、李柳、朱扬帆、李逸文、许鹏栋、周梦娇、戈逸、金榕、惠尤倩、蔡琦迪、许英姿、张莉、潘琦等江苏源远检测科技 :8688

2、5208 :86885208 :214400地址:江阴市东外环路 528 号检测报告说明对本报告检测结果如有异议者,请于收到报告之日起十天内向本公司 提出。二、 鉴定检测,系对产品、工艺、材料等有关技术性能的检测。验收检测,系对建设工程“三同时”和限期治理工程进展的检测。四、 托付检测,系受用户托付所进展的检测,其中送样托付检测,其检测结果,本公司仅对来样负责,检测结果供托付者了解样品品质之用。五、本报告非经本公司同意,不得以任何方式复制。经同意复制的复印件,应有我公司加盖公章予以确认。YYJC-BG-2023-09257第1页,共 35 页江阴江化微电子材料股份年产 8 万吨超高纯湿法电子化

3、学品超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂技改扩能工程“三同时”环保竣工验收检测报告1、概述江阴江化微电子材料股份以下简称“江化微公司”是国内一流的集超 高纯电子化学品一一超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂的研发、生产、销售为一体的龙头企业。该公司原位于江阴市周庄镇山泉村,企业名称原为“江阴市江化微电子材料”,后于 2023 年 12 月更名为江阴江化微电子材料股份。因江化微公 司山泉村厂区离居民区较近并且没有进展空间,不利于企业长远进展,为适应市场需求和满足企业自身进展,公司于 2023 年初将原山泉村厂区整体搬迁至周庄镇周南工业集 中区云顾路581 号并对原有规模进展扩建,该搬迁扩建工程环评江阴市

4、江化微电子材料年产 8 万吨超高纯湿法电子化学品一一超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂 技改扩能工程环境影响报告书已于 2023 年 12 月 31 日通过环评审批锡环管202390 号。该工程分两期建设,其中一期 4.5 万吨/年已经于 2023 年 4 月 16 日通过“三同时” 环保竣工验收锡环管验20235 号投入正式生产。后为了更好的适应市场行情的变化,开拓更宽阔的国内外市场,增加公司的市场竞争力,该公司打算在目前一期 4. 5 万吨/年根底上进展技术改造,通过削减运营时间和 设备,削减一期中500t/a 硝酸纯化产能、1000t/a 异丙醇纯化产能、3000t/a 正胶显影 液产能和

5、 1500t/a 其他酸碱分装磷酸产能,同时增加7000t/a 铜蚀刻液产能和 9000t/a 正胶剥离液产能,即技改后一期工程削减 6000t/a 产能,同时增 1.6 万 t/a 产能,因 此技改后一期产能由 4. 5 万吨/年增加至 5. 5 万吨/年。二期产能仍旧保持在 3. 5 万吨/ 年。本次技改后全厂产能由 8 万吨/年增加至 9 万吨/年。一期技改工程已经于 2023 年 12 月 28 日通过“三同时”环保竣工验收锡环管验2023 14 号投入正式生产。本次验收工程为江阴市江化微电子材料年产 8 万吨超高纯湿法电子化学 品一一超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂技改扩能工程环境影

6、响报告书中的二期建 设工程。按环境保护部国环规环评20234 号文建设工程竣工环境保护验收暂行方法 的要求,受江阴江化微电子材料股份的托付,江苏源远检测科技担当该公司“三同时”环保验收的检测任务。江苏源远检测科技于 2023 年 9 月 16 日、9 月17 日对该工程进展了验收检测。2、验收执行标准GB14554-93 表 2 标准氟化物9.00. 17氯化氢1000.43硫酸雾452.6氮氧化物2401.3酚类化合物1000. 17非甲烷总煙12017二甲苯701.7样品性质检测工程排放标准限值排放标准(mg/L)污水综合排放标准GB8978-1996 表 4中三级标准污水排放城镇下水道水

7、质标准GB/T31962-2023 表 1B 级2. 1 废气排放标准样品性质检测工程排放标准限值(mg/m3)排放速率限值(kg/h)排放标准氨一8.7恶臭污染物排放标准”排气筒废气甲醇1908.6氨1.5一大气污染物综合排放标 准GB16297-1996 表 2 中一 级标准恶臭污染物排放标准GB14554-93 表 1 二级中扩 改建标准氟化物0. 02一厂界废气氮氧化物0. 12一氯化氢0. 20一大气污染物综合排放标 准GB16297-1996 表 2 中无 组织排放标准非甲烷总煙4.0一2. 2 废水排放标准pH 值(无量纲)6-9化学需氧量500悬浮物400接收水氟化物20氨氮4

8、5总磷8总氮702.3 噪声排放标准样品性质检测工程厂界昼间噪声厂界噪声排放标准限值 (dB) 65排放标准工业企业厂界环境噪声排放标准GB12348-2023 表 1 中 3 类区标准厂界夜间噪声2. 4 总量把握标55:工业企业厂界环境噪声排放标准GB12348-2023 表 1 中 3 类区标准总氮0. 29一氮氧化物一1.18氨气0.22有组织废气氯化氢氟化物-0.0.3493硫酸雾一0.06准类别污染物接收量(t/a)排放量(t/a)要求来源废水量58636一化学需氧量23. 3632一悬浮物17. 617一废水氨氮0. 26一总磷0.029一江阴市江化微电子材料有 限公司年产 8

9、万吨超高纯湿 法电子化学品一一超净高纯 试剂、光刻胶及其配套试剂 技改扩能工程环境影响评价 报告书及江阴江化微电子材料股份 年产 1.6 万吨超高 纯湿电子化学品一一蚀刻 液、剥离液技改扩能工程环 境影响评价报告书挥发性有机物2.235备注挥发性有机物总量以二甲苯、非甲烷总煙、酚类化合物、丙酮、甲醇合计。3、验收检测内容3.1 废气检测点位、工程和频次类别样品性质采样点位Q1 氨水洗涤塔排 气筒Q2 总酸洗涤塔排 气筒检测工程氨、氟化物氯化氢、氟化物、硫酸雾检测频次3 次/天,2 天3 次/”天,2 天废气排气筒废气Q3 硝酸洗涤塔排 气筒Q4 三氯氧磷洗涤 塔Q5 有机洗涤塔排 气筒氮氧化物

10、氯化氢酚类化合物、二甲苯、非甲烷总煙、甲醇、丙酮3 次,”天,2 天3 次/天,2 天3 次/天,2 天YYJC-BG-2023-09257第4页,共 35 页YYJC-BG-2023-09257第10页,共 35 页Q6 总酸洗涤塔排 气筒Q7 总酸洗涤塔排 气筒Q8 回收洗涤塔排 气筒氯化氢、氮氧化物、氟化物3 次/天,2 天氯化氢、氟化物3 次/”天,2 天氯化氢、氮氧化物、氟化物3 次天,2 天下风向 3 个点 G1-厂界废气G3氮氧化物、氟化物、氯化氢、氨、非甲烷总煙3 次/天, 2 天备注排气筒高度为 20 米3. 2 废水检测点位、工程和频次类别样品性质釆样点位检测工程检测频次备

11、注接收水接收口pH、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总磷、总氮、氟化 物3 次,”天,2 天/废水混凝池出水混凝沉淀池出口pH、化学需氧量、悬浮物、3 次/天,2 天氟化物pH、化学需氧量、悬浮物、3 次/天,2 天氟化物/生产废水 原水混凝沉淀池进口/备注3. 3 噪声检测点位、工程和频次类别样品性质釆样点位检测工程检测频次备注噪声厂界噪声8 个点 (Z1-Z8)厂界昼间、夜间噪声1 次/天,2 天/备注一4、质量保证及质量把握4.1 准时了解工况状况,保证检测过程中工况负荷满足验收检测要求。4. 2 合理布设检测点位,保证各检测点位布设的科学性和可比性。4.3 检测分析方法釆用国家有关部门公布的

12、标准或推举方法,检测人员持证上岗。4.4 试验室落实质量把握措施,保证验收检测分析结果的准确性、牢靠性。4. 5 气样的釆集、运输、保存、试验室分析和数据计算的全过程均依据空气和废气监测分析方法第四版的要求进展。4.6 噪声仪在使用前后用声校准器校准,校准读数偏差不大于 0.5 分贝。4.7 测量数据严格实行三级审核制度,经过校对、校核,最终由技术负责人审定。5、检测方法5. 1 废气检测工程的分析方法序号工程分析方法方法来源检出限13丙酮 有组织14空气与废气监测方法 6.谱法空气与废气监测方法 6.谱法4. 6. 1 气相色1. 6. 1 气相色空气与废气监测方法”空气与废气监测方法0. 0 lmg/m3甲醇 有组织0. lmg/m315酚类化合物有组织固定污染源排气中酚类化合物的测定4-氨基安替比林分光光度法HJ/T32-19990. Smg/m3备注一5. 2 废水检测工程的分析方法1氮氧化物无组织”环境空气氮氧化物的测定 盐酸蔡乙胺分光光度法二HJ479-20230. 005mg/m32氟化物 无组织环境空气氟化物的测定滤膜釆样氟子选择电极法离HJ955-202300. 5ug/m”!3氯化氢 无组织固定污染源排气中氯化氢的测定硫氤酸汞分光光度法”HJ/T2

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