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1、Ver 2.00 2009/11/13 CUC Technology技术规格书烘干/烧结炉设备对本规格书所记载内容进行确认后，请在下面署名栏中签字确认。（用户）：（日期）：北京中联科利技术股份有限公司（供应商）： （日期）：北京中联科利技术股份有限公司工艺部：苏深伟TEL： 52098523FAX：52094000总设计师:大石满TEL： 52098504FAX：52094000研发部:刘 烨TEL：52098538FAX：520940001. 设备名称、数量烘干/烧结炉设备一台2. 工艺参数1）处理对象：6”、8”硅片；2）处理批量：客户方自定。3）温度控制：炉内在网带平面上的控温精度控制在
2、10C以内（以同一硅片 在炉内的多点温度曲线为检验手段）；炉内在不同时间内的控温误差在10C以内（以同一硅片多次在炉内的温度测试曲线为检验手段）。4）网带速度控制：网带速度的不稳定性需要控制在2%以内。网带运行过程 中无明显的上下、前后的抖动。5）温度升、降控制：从开机到温度稳定，时间不超过15分钟；硅片在炉内 加热时，升温曲线斜率（升温速率）大于等于50C/秒；降温曲线斜率大于等于 -60C/秒，且电池片在烧结炉出口温度小于60C。6）设备可使用率大于95% （维护、维修等时间控制在5%以内）3. 设备主要结构A. 炉子规格最高温度：1050 C工作温度范围干燥：100-400 C 烧结区：
3、200-1000C可控加热温区干燥区：3烧结区：6加热区长度干燥区：228.6厘米（90英寸） 烧结区：152.4厘米（60英寸）工作空间尺寸DF1400网带宽36厘米（14英寸） 网带上方高度19厘米（0.75英寸）网带离地高度914厘米（36英寸）B. 炉子结构长度（厘米）干燥区装载台90进口，挡板及排放38收集盘及过渡排放区域61区762区763区76出口，挡板及排放38干燥/烧结过渡及监测区49（分隔节）排胶及烧结区进口，挡板及排放381区382区383区194区195区196区19保温过渡通道及排放13强制水冷区54强制空气冷却区218卸载台90框架余量26整个系统长度1040整个系
4、统宽度94整个系统高度176. 1C.驱动系统网带宽度DF1400 36厘米（14英寸）网带材质镍铬金属网带类型多孔速度范围56-560厘米/分钟（22-220英寸/分钟）运行方向进口方向看，从左到右运行带速是程序闭环控制，通过计算机设定，显示公制或英制单位。网带速度偏离设定值或停止时，计算机自动报警。可以设定速度偏差范围。网带材质是镍铬金属，80%的镍，20%的铬。网带回送系统不接触任何金属，保证炉腔不受污染。D.工艺腔干燥炉和烧结炉的入口挡板安装在一个铝壳内，内衬陶瓷保温材料。喷吹气体由 网带上下进入，形成气帘。挡板固定在可以方便拆装的金属滴盘上，炉腔内气体通过 金属滴盘上排出炉腔。干燥炉
5、和烧结炉部分都置于铝质炉壳内，内衬莫来石隔热材料。干燥区额定温度 为400。，烧结区额定温度为1000。工艺气体首先被引入一个腔体，该腔体位于 铝质外壳和多孔保温材料之间，气体加热后通过保温材料进入工艺腔。这种气体引入 方式可以避免大量气体的流入对温度曲线的干扰。而且，这种方式可以消除产品废气 在炉膛内壁的聚集。辐射加热通过密闭石英管内的钨丝来完成。在干燥区，加热灯管位于传送网带的 上方，发出的辐射波长为3-6um之间。在烧结区，加热灯管位于传送网带的上下方， 发出的辐射波长为1.2-2.8um之间。每厘米输出功率达到12.5瓦，干燥区和烧结区内 部可以在数分钟内达到一个平衡状态。腔体构成如下
6、：区域长度灯管数（上和下）灯管间距干燥1区76cm （30”）10-T 0-B73mm （2.875”）干燥2区76cm （30”）10-T 0-B73mm （2.875”）干燥3区76cm （30”）10-T 0-B73mm （2.875”）烧结1区38cm （15”）6-T 6-B58.4mm （2.3”）烧结2区38cm （15”）6-T 6-B58.4mm （2.3”）烧结3区19cm（7.5”）4-T 4-B30.5mm （1.2”）烧结4区19cm（7.5”）4-T 4-B30.5mm（1.2”）烧结5区19c （7.5”）4-T 4-B30.5mm （1.2”）烧结6区19cm（
7、7.5”）4-T 4-B30.5mm （1.2”）网带由炉膛内的石英管支撑。为补偿炉膛两侧的热量损失，加热丝安装在网带两 侧的石英管内。左右两个边加热器的功率输出可以按左右能量需求大小比例调节，调 整范围从0-100%。炉子过渡通道采用气帘将加热区和冷却区分开，气帘在网带上下形成气刀。 冷壁水冷区确保高效的热交换，冷壁位于网带上下，冷却水由用户提供。进口水温和 出口水温都有监测，同样水流量也有自动监测。强制空气冷却用来对高速运行的产品进行降温处理。它由两个相同风机驱动的部 分组成。安装在顶部的风机将周围环境气体经过过滤后，向下形成正压层流，吹向整 个冷却区域。这些气流又经过网带下方收集排出，通
8、过强制排风与用户排放系统相接。 上下风机速度通过菜单由炉子控制器来调整控制。烘干区炉膛便于拆卸，定期维护和清理。E.控制系统计算机控制系统位于进口装载区。键盘和显示器放置于进口端的摇臂上。温度通过温控仪控制电力调整器来实现闭环控制，计算机操作系统是WINDOWS XP 专业版。通过设置密码来实现安全操作，不同的操作者有不同的操作级别和权限。炉子分成许多加热区，加热区控制回路构成如下：干燥区烧结区加热区总数36每区控制回路11每区控制热电偶数量11热电偶分度值KK每区可控硅数量12每区过温保护热电偶数量11烧结炉每个温区上下配备独立的功率修正控制，用户使用这个功能可以控制上下 加热器的功率输出，
9、调整由温控仪完成。烧结炉配备侧加热器，电阻丝埋置于外侧网带支撑的石英管内，可以进一步调整 网带横向的温度均匀性。开环控制，通过电力调整器调整输出功率值。备用过温保护控制是标准配置，如果系统温度超过设定值，独立的过温保护系统 将切断加热器电源并报警提示。加热器工作监测系统位标准配置，这样可以连续监测每个温区加热灯管的加热情 况，如果加热器出现故障立即报警提示。每个温区独立监测易于发现问题灯管。炉子进口配备六通道曲线热电偶端口，可以捕获、监测和分析工艺曲线。曲线热 电偶可以作为选件购买。指示灯塔为系统标准配置，主要用于提示下列三种情况： 绿色-工艺准备好 黄色-警告提示 红色-报警F. 气氛控制系
10、统从出口方向看，炉子的气体控制位于左侧，流量通过流量计控制，流量计位于控 制面板内并上锁，避免意外波动。配备空气过滤器、减压阀和水捕获器以清洁和控制工艺空气。手动调节流量计配置如下:位置流量计量程（SCFH）干燥区进口排放0-100干燥区进口挡板0-200干燥区中部排放0-100干燥区加热腔（一区）0-400干燥区加热腔（二区）0-400干燥区加热腔（三区）0-400干燥区出口挡板0-200干燥区出口排放0-100烧结区进口排放0-100烧结区进口挡板0-200烧结区加热腔（一区-二区）0-200烧结区加热腔（三区-六区）0-200保温过渡通道0-200过渡通道排放0-100水冷进口空气气刀0
11、-400水冷出口空气气刀0-400外围压缩空气流量：100 mH。供给压力为：0.631.03MPa。G. 产能通常工艺带速条件下，完全可以满足电池片25-30兆瓦/年的要求。H. 冷却水系统水冷部分主要达到经过烧结区高温后快速降温，减少杂质扩散。水冷部分 的长度为540mm，进口水温和出口水温都有热电阻来检测，经过温控表显示到 上位机，同样也配备一个水流文量开关，当水流过小时进行报警入口压力：小于0.35MPa。I. 风冷部分风冷部分的长度为2240mm，强制空气冷却用来对高速运行的产品进行降温 处理，它由6个相同恒流风机驱动部分组成。安装在顶部的风机将周围环境气体 经过过滤后，向下形成正压
12、层流，吹向整个冷却区域。这些气流又经过网带下方 收集排出，通过两个轴流风机与用户排放系统相接。且上面的风机速度可由调速 开关来控制。J超声波清洗部分超声波清洗部分主要由超声波槽、振子、加热器、进水管路和出水管路等部分 组成。它主要是在网带运行一段时间后进行清洗而设定的。K.电力规格最大负载DF1400 150千瓦生产功率消耗DF1400 54千瓦工作电压380VAC， 3相，3线，50/60赫兹208-240VAC作为选件，需配置变压器，详 情请咨询工厂炉子电器系统遵守下列安全规定： NFPA-79工业设备电器标准 NFPA-70国际电工标准 CE （备选） 配有六个紧急按钮，两个位于进口端面板，两个位于干燥炉和烧结炉 部分，两个位于出口端面板。L.炉子颜色重量指标：颜色石头灰-绒面颜料成分SHERWIN WILLIAMS近似重量DF1400 2041公斤（4500磅）外部面板分成两个部分，并由1/4圈紧固器固定。M-手册提供两套操作手册，一份电路手册（CD）,包括全套安装操作和维护，另外还提供 系统软件备份文件。CUC现场服务工程师提供安装指导。设备外形图（此图仅供参考，根据具体设计情况结构会有微调，谨请理解）
