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1、全球TFT-LCD設備大廠動向與未來戰略產業分類：機械產出單位：金屬中心作者：盧素涵日期：2008/06/30一、前言根據Semiconductor FPD World於2008年六月所公布的數據，2007年全球FPD市場較2006年成長20%以上，達1,020億美元規模，一舉刷新歷史紀錄。2008年可望繼續成長20%以上，市場規模可望達1,200億美元。2000年以後，FPD市場每年都有2位數成長的亮麗表現，一再地顯示驚人的成長力道。但從應用普及率的觀點來看，在2009年以後，將進入成長緩慢的成熟期。分析2007年度應用部門別中的TFT-LCD的滲透率，發現數位相機/數位攝影機為100%，手
2、提電腦為100%，桌上型螢幕為91%，可攜式播放裝置為91%，遊戲機為89%，手機為59%，電視為49%。根據日本半導體製造設備協會（SEAJ）所公佈的調查報告，2007年日本製的FPD製程設備市場規模減少34%，約3,583億日圓。原因是從2006年後半年起，面板的供需失去平衡，並陷入供過於求極大落差的狀態，從2006年後半年起到2007年期間，所有面板廠商都重新檢討投資計畫，結果造成市場規模大幅度縮減超過30%。不過，進入2008年後，市場將出現V字型逆向成長，這一波的成長幅度可望達46%。圖119992009年日本製FPD製造設備市場規模統計二、國際大廠動向1. ULVACCF濺鍍設備訂
3、單增加2007年度(2007年7月至2008年6月)FPD相關製程設備的營業額約為1,200億日圓。除重新啟動台灣的投資之外，日本、韓國的大型設備投資也十分活躍。不過，受到2006年度未交貨數以及2007年度Q1訂單減少的影響，營收預測只能維持當初預測水準。ULVAC的主力產品為八代Array段的濺鍍設備，但在彩色濾光片(CF)的濺鍍設備因具嶄新的概念，已陸續接獲訂單。該設備的特色為將取放玻璃基板的裝置改為單純的結構，提高信賴度；並在成膜時，可同時進行兩片基板的作業，也提高生產效率。除了高精確度外，ULVAC也安裝樣品機，讓客戶實際評價機器的性能。短時間完成大型設備安裝因十代大型設備已開始出貨
4、，不論是Array或是CF所使用的濺鍍設備，都必須趕緊完工。此外，面臨海外八代玻璃基板設備move in陸續增加，ULVAC將繼續努力提高產能。今後希望能實現短時間完成安裝設立，以幫助客戶儘早進入量產階段。研發的重點部門與目標在LCD部門中，在CF製造或是PI配向膜形成上，提出噴墨法的應用，未來將持續專注於此技術的研發。2. AKT投入PVD新機種市場2007年的成果有：(1)導入可有效減少面板製造時產生CoO的新型Array濺鍍設備AKT-PiVot；(2)在PECVD設備與CF的濺鍍設備中，堅持市場領先者的定位，提高EBT檢查設備的市場佔有率；(3)在客戶集中的亞洲地區擴大服務與製造部門等
5、。2007年10月正式發表並導入市場的AKT-PiVot 55KV PVD，係8.5代專用的Array濺鍍設備，採用群組概念，是一種可彈性地因應各種生產型態的模組組成設備，採用捲取式陰極管，擁有極佳的使用效率，可大幅度縮減營運成本。該設備目前已出貨給面板廠商。2007年度大部分營業額來自PECVD設備的營收。2008年擴充產品陣容 專注G10設備的開發與交貨2008年的目標，包括第10代在內，將在TFT-LCD的製程或是檢查等項目，擴大供應的產品種類。並專注十代設備的研發與交貨，以及繼續推動更省成本的技術研發。3.Canon2007年為i線，以KrF為主受到日本、韓國以及台灣廠商進行次世代建廠
6、投資計畫的牽動，2007年12月份曝光設備市場有較高的成長。但因記憶體價格的滑落，下半年進入成長趨緩的循環，整個市場規模的總台數比前年度略為減少，Canon只有179台的成績，略低於前年度。另一方面，Canon也將新開發的FPA-7000系列開始投入市場。目前也正在推動浸潤式曝光設備FPA-7000AS的顧客製程與配合的設備評價。因此，2007年的銷售活動主要以i線或是KrF為主。此外，提升設備的生產速率與縮短安裝時程是目前Canon所面對的課題。4.日立High Technologies主要部門的營業額穩定成長該公司的設備事業以測量、檢查、分析設備為核心，半導體製造設備相關與LCD製造相關部
7、門的電子裝置系統部門的2007年度營業額已超越2006年度，成長1.0%，達到2,648億日圓。但2008年度的市佔率預估會減少11.4%，達到2,345億日圓。透過研發，呈現最佳成果為因應細微化、材料、製程多樣化所衍生並日趨重要的製程、檢查、分析的需求，該公司將繼續推動適合的基礎技術與應用技術的研發過程。5. V-Technology 2007年度負成長雖然2007年夏季前市場開始恢復活力，設備投資計畫也隨之復甦，但由於設備交貨時間係自2008年初，因此對2007年度的營業額的貢獻十分有限，故2007年度營業額比起前年度大幅滑落(營業額約為65億日圓)。另一方面，新產品的曝光設備評價也告一段
8、落，邁入可採用量產的階段。2007年主要營業額來自於檢查、測量、修正設備的營收。新製品的非接觸三次元表面形狀測量設備Polaris也有了CF(G8尺寸)的業界實績。2008年的重點(1)針對TFT業界，強化既有產品的檢查、測量、修正設備的推廣。(2)強化曝光設備評價機器從交貨到生產線上的推廣。另外，國內外LCD廠商因為大型LCD-TV的普及，2007年後半年起已經籌畫了新設備的建設計畫。在此同時，該公司已接獲國內外面板以及CF廠商總共65億日圓的測量、檢查等設備的訂單，預定於2009年3月以及2010年3月之前交貨。2008年的研發重點將放在提升曝光設備的效率、性能和NEDO專案的研發上。2008年以後的FPD產業、市場展望FPD市場自2008年至2009年為止，應會維持橫向持平的狀態，但是10年以後反而滑落，之後預估應會以稍微減少的趨勢持平。
