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1、西安微电子技术研究所长安园区高纯气体管道施工工艺标准拟稿单位：西安天建装饰工程有限公司编 制： 赵 刚 审 核： 王 睿 二O一四年七月二十日目 录1、总则-12、高纯气体的三个主要参数-13、管道材料选择-24、施工程序-45、图纸会审-56、工程测定-57、绘制管段图-58、设置预制洁净房-69、材料检查确认-610、保护气体的供给和管理-911、管段预制-1112、现场配管施工-1313、压力试验-1914、系统吹扫-2015、系统测试-21附录1 露点、含湿量、绝对湿度换算表-24附录2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级-26附录3 EP/BA管自动氩弧焊接钨棒尺寸表-27 /
2、1. 总则1.1 本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。1.2 气体管道的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时应设在其上部。1.3 当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件，且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离。1.4 高纯气体管道的设计应符合下列要求：a. 按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管道最小管径不小于61mm；b. 管道系统应尽量短；c. 不应出现不易吹除的盲管、死角；d. 管道系统应设必要的吹除口和测试取样口。1.5 气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施，并用装饰板封堵。1.
3、6 可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管。放散管引至室外应高出屋脊1米，并应有防雨、防杂物侵入的措施。可燃气体和氧气管道还应符合洁净厂房设计规范8.4安全技术措施的有关要求。1.7 高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。2. 高纯气体的三个主要参数所谓高纯气体管道的洁净技术控制，主要是指气体纯度、干燥度、洁净度的控制（即三度控制）。2.1 气体纯度 指气体中杂质气氛的含量，通常用气体纯度的百分数表示，如99.9999%（俗称6个9），也可用杂质气氛含量的体积比ppm、ppb表示。洁净厂房高纯气体管道系统建成的各个环节必须做到上流的合格气体流经厂房管道系统到达用气点的气体纯度仍能满足工艺对
4、用气纯度的要求。2.2 干燥度 气体中微量水分的含量，通常以露点表示，如露点-70，或以含湿量ppm表示，如含湿量2.584ppm。（两者的转换见附录1）2.3 洁净度 指气体中含有污染物粒子的数量，粒径为m的粒子的个数，pc/m3。高纯气体管道通常使用在洁净的生产环境当中，对应的洁净环境等级，在洁净厂房设计规范GB50073-2001中，直接采用国际标准ISO14644-1（详见附录2）对高纯气体洁净度的控制，当设计未加特别注明时，施工中对洁净度的控制应与使用空间的洁净度等级保持一致，严防气体中的污染物粒子超过规定值，而造成管路系统或洁净生产空间的污染。洁净厂房高纯气体管道的设计、施工管理，
5、不同于一般工业气体管道，任何一个环节稍有失控，就可能影响输送气体的质量，从而导至无法生产出合格的产品。3. 管道材料选择将高纯洁净气体输送到各用气点而不被污染，在很大程度上受管路诸多因素的影响，其中管材的选择显得十分重要。3.1 用于输送高纯气体的管道应具备以下性能a. 管材的透气性要小；b. 管材内表面吸附解吸气体的作用要小；c. 内壁光滑、耐磨损；d. 有良好的抗腐蚀性能；e. 性能稳定，含碳量低。3.2 管道材料选择管道材料由设计选定，自行设计时应遵守洁净厂房设计规范的有关规定。a. 能满足上述3.1要求的管材，对于气体纯度在99.999%以上或在空气洁净度等级中16级洁净室内时，以31
6、6L内壁经电抛光的不锈钢管（EP）为最佳选择，由于施工现场条件限制，管材应在制造厂脱脂、清洗、干燥，并有双重膜包装，对于气体纯度为99.99%的洁净管道和干燥空气管道可选用内壁经机械抛光的304不锈钢管（BA）。注：316L的国内对应牌号为00Cr17Ni12Mo2Ti304的国内对应牌号为0Cr18Ni9b. 阀门及其它附件的选择阀门及其它附件的材质应与管材选用原则一致，在采用不锈钢管材的管路系统中，不得采用铜材质的阀门，为确保阀门及管道系统的严密性和介质不受污染，应采用两端为焊接连接的无填料波纹管阀或隔膜阀。对于系统终端采用螺纹连接时，应采用VCR卡套连接；非焊接连接的垫片，对于氢、氧管道
7、应采用金属垫片，其它高纯介质管道可采用聚四氟乙烯垫片，三通、弯头应采用与管材同材质的成品，为适应公司现有自动焊头的施焊条件，订货应注明对颈长L的要求（见下表）管子外径（mm）L（mm）图示619.0525.463.576.2114.33648554. 施工程序图 纸 会 审工 程 测 定支吊架制作支吊架安装支吊点划线整理竣工资料系 统 测 试系 统 吹 扫压 力 试 验现 场 配 管管 段 预 制材料检查确认设置预制洁净房绘制管段图交 工5. 图纸会审图纸会审应着重解决以下问题，为绘制管段图做好准备。a. 图纸是否出自注册设计单位；b. 设计选材能否满足介质纯度、干燥度、洁净度要求；c. 用气
8、工艺设备位置是否最终确定；d. 管道走向应排除与其他管线打架现象，并最终确定走向；e. 各支管三通位置的确定；f. 管道支吊型式及支吊架材质的选定；g. 检测口、吹扫口和放散管（氢气）位置的选定；h. 氢、氧管道防静电接地的型式。6. 工程测定将土建专业提供的基准标高和基准轴线，用测量仪器移值到安装场所墙柱的适当位置，并作出标识，以此确定管道所处位置。如与建筑结构发生矛盾时，再与有关方面协商调整，但最终应反应到竣工图上。7. 绘制管段图7.1 凡施工图已提供透视图的，可利用透视图作为管段图，无透视图时应在施工前绘制管段图。7.2 不可将几个管道系统绘制在一张图上，一个小系统，可绘制在一张图纸上
9、，大系统可分段绘制在几张图上，但应标出连接符号。7.3 无论是利用透视图还是自绘管段图均应标注各管段直径、长度、标高和阀门、三通、法兰等的位置 ，还应分别标出预制组件的焊口（即死口）和现场焊接的焊口（即活口）位置，并在图中顺序标出焊口号。7.4 图中标注的各项尺寸应是现场实测的尺寸。7.5 对一个系统分段予制的原则是：a. 尽可能减少现场（安装场所）焊接的焊口数，大量的焊接工作尽可能在预制间完成；b. 现场焊接的焊口应设在便于操作的位置；c. 予制组件的大小应尽可能大一些，但不可无限制的大，既要考虑预制房面积的限制，也要考虑搬运安装所经通道和门洞的限制。8. 设置预制洁净房8.1 洁净厂房内高
10、纯气体管道的预制场所，其洁净要求应与管道安装场所的洁净度要求一致，否则将很难控制所预制的管道不受污染，因此预制房的搭建是不容忽视的。管道可能安装在不同洁净等级的房间，应按安装场所的最高洁净等级的要求来搭建预制房。8.2 预制房应尽可能在厂房暂不使用的房间内搭设，当不具备这种条件时，可就近先搭设符合挡风挡雨要求的临时建筑，再在其内搭设临时洁净预制房。预制房的长、宽、高应能满足预制工作的要求。一般宜采用长宽高=7.2米3.6米2.2米的规格，用防静电厚塑料膜（以0.3mm厚为宜）围护，采用FFU或高效过滤器及低压风机用风管连通（要有调节阀，以获得必要的室内正压），完成上送风、下侧四周排风的空调系统
11、。室内要有充足的照明。9. 材料检查确认本检查为在现场接收管材、零部件时，验证是否满足订货书要求而进行的外观检查和确认。9.1 供检查的环境到货的材料应是有双层薄膜包装的洁净材料。材料从接收开始，不得受到污染。a. 外包装完好情况的检查，在非洁净区进行，但在折除外包装后应立即搬入洁净厂房或预制加工洁净房内；b. 内包装的开封必须在洁净室或预制加工洁净房内进行，以确保材料不受污染。检查完成后，对暂不用的材料应立即重新用薄膜袋包装密封并置于洁净区妥善保管。9.2 检查对象a. 管材b. 管子附件（三通、弯头、变径管等）c. 阀类（阀门、减压阀等）d. 计器类（压力计、压力传感器、压力线圈等）e. 设备类制成品（筒、箱、阀盒等）9.3 检查项目NO检查项目管材管件阀类计器类设备类、制成品1外观检查2数量检查3规格尺寸4
