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1、PTH线操作手册目 录一、 目的范围二、 工艺流程三、 PTH设备规格表四、 PTH程序图及各缸时间范围五、 操作程序5.1开缸程序5.2工艺控制5.3生产操作和维护5.4 PTH线停产处理方法5.5 PTH线生产异常处理方法5.6沉铜效果检测六、PTH线常见问题及处理方法七、背光级数图八、附录 1、PTH线操作控制表 2、PTH线设备检测一览表一、 目的规范 规范PTH线流程，提供PTH线工艺控制参数和操作方法，指导生产人员正常生产，以确保生产产品品质，适用于PTH手动或自动线操作。二、 工艺流程三、 PTH线设备规格表备注： SS：不锈钢 QTZ：石英 P.P：聚丙烯 T：气缸振荡 M：机
2、械摇摆 A：打气 V：电振荡器 TF：铁氟龙 C：冷却四、 PTH自动线程序图及各缸时间范围 注：滴水时间栏空白无要求 各厂根据实际情况可作适当调整五、 操作程序5.1开缸程序 5.1.1前期准备 A、清洗缸体：新线开缸前须用3-5% NaOH溶液泡缸12小时，用清水清洗干净后，再用3-5% H2SO4泡缸12小时，再用清水冲洗，至少2次，药水槽再用纯水清洗一次备用。旧线视缸体清洁度，可考虑不用酸碱泡，但缸体须用清水洗净，药水缸须用纯水清洗； B、测量：测量缸内壁长、宽、高，计算出缸体积，计算方法： V 体= 长宽高（药水液位高度）； C、检查生产辅料（比如，H2SO4是否浑浊等）。 5.1.
3、2开缸 5.1.2.1整孔除油缸： A、加入DI水至2/3体积； B、加入整孔剂DS-122(10%)； C、补充DI水至液位； D、打开加热，开启过滤机 5.1.2.2微蚀缸： A、加入水至2/3体积，开启打气； B、加入硫酸4%（或硫酸8%，适合硫酸双氧水系列产品）； C、冷却后加入过硫酸钠80g/L； D、加水至液位，搅拌。 5.1.2.3酸浸缸: A、加入DI水至2/3体积； B、加入2%（V/V）H2SO4； C、加入DI水至液位，搅拌均匀。 5.1.2.4预浸缸： A、加入DI水至2/3体积； B、加入预浸剂DS-133 220g/L(或DS-133 220g/L,AR盐酸5%，适
4、合DS-133体系)； C、加入DI水至液位，搅溶后开启过滤泵。 5.1.2.5活化缸： A、加入DI水至2/3体积； B、加入预浸盐DS-133 220g/L，AR盐酸5%。 C、加入DI水至液位，搅溶后开启过滤泵； D、加入活化剂DS-140 2%； E、打开加热器循环。 5.1.2.6加速缸： A、加入DI水至2/3体积； B、加DS-155 10%； C、加入DI水至液位； D、打开过滤泵。 5.1.2.7沉铜缸： A、加入DI水至2/3体积； B、开启打气，加入沉铜液DS-166M 5%； C、缓慢加入DS-166A 7%； D、缓慢加入DS-166B 7%； E、补充DI水至液位，
5、开启过滤。5.2工艺控制 5.2.1整孔除油 A、工艺参数 a、温度 60-70 b、时间 5-8min c、过滤 连续过滤 d、摇摆 连续 B、控制 a、碱度控制在0.09-0.15N； b、每生产100m2板补加1-1.5L DS-122； c、每班分析一次，依化验结果调整维护。 C、更换 a、每升工作液处理30-35m2板或铜含量大于1g/L时换缸； b、每次全部排净旧液，洗净缸体后，重新开缸。 5.2.2微蚀 A、工艺参数 a、温度 25-35 b、时间 1-2min c、浓度 Na2S2O8 60-100g/L H2SO4 3-5% d、过滤 连续过滤 f、打气 过硫酸钠体系开打气，
6、双氧水体系无须打气。 B、控制 a、每生产100m2添加Na2S2O8 5KG，硫酸2L； b、每班分析一次，微蚀速率控制在0.6-1.0um/mm； C、更换 a、铜含量大于25g/L时更换； b、更换时保管1/6左右旧槽液，再加入1/2体积纯水，然后加入4%硫酸及80g/L Na2S2O8,用纯水补充至液位。 5.2.3酸浸缸 A、工艺参数 a、温度 室温（20-30） b、时间 1-3min c、摇摆 连续 B、控制 a、H2SO4浓度控制在1-3%； b、每班分析一次，按分析结果补加。 C、更换 与微蚀缸同时更换。 5.2.4预浸 A、工艺参数 a、温度 室温（18-30） b、时间
7、0.5-2min c、过滤 连续过滤 d、摇摆 连续。 B、控制 a、比重控制在1.116-1.142SG,每添加165g/L DS-133可升高比重0.01SG(或补加165g/L DS-133可升高比重0.01SG，8.3ml/L盐酸可提高酸度0.1N,此适合DS-133体系)； b、每生产100m2板补加2.5KG DS-133、0.5L盐酸。 C、更换 a、每升槽液生产30m2时更换； b、或溶液转变成蓝色或绿色时更换。 5.2.5活化 A、工艺参数 a、温度 35-44 b、时间 5-8min c、搅拌 摇摆或过滤循环 d、加热器 石英或铁氟龙e、过滤 定期过滤 B、控制 a、每生产
8、100m2补加DS-140 0.6L； b、比重控制在1.116-1.142SG，比色控制在60-90%。 C、更换 a、每升槽液生产600m2时换缸； b、铁含量高于150ppm时更换； c、换时排除全部旧液，再用稀盐酸泡洗槽壁，以清水洗净后用纯水清洗，重新开缸。 5.2.6加速 A、工艺参数 a、温度 酸性室温（20-30） b、时间 2-4min c、搅拌 摇摆或过滤循环 d、过滤 连续过滤 B、控制 a、酸性控制到0.2-0.4N； b、每生产1000ft相对补加DS-155 1.5L。 C、更换 a、每升槽液生产20-30m2时更换； b、当溶液变混浊时； c、更换时全部排除旧液，洗
9、净槽液重新更换。 5.2.7化学铜 A、工艺参数 a、温度 25-30 b、时间 12-18min c、沉积速率 1.6-25微英寸/分钟 d、过滤 连续过滤 e、搅拌 空气及机械搅拌 f、操作容量（负载） 0.15-0.25ft2/L B、控制 a、浓度控制Cu2+ 1.5-2.5g/LNaOH 11-13g/LHCHO 6-8g/L b、浓度控制在正常范围之内 补加量计算方法： 1.每生产6-8m2板添加DS-166A、B各1L； 2.每星期更换一次过滤棉芯，更换时用稀硫酸浸洗新滤芯，用DI水洗净，放入滤槽中使用； 3.每周倒一次槽，并将槽内壁沉积铜消除，方法：抽入废微蚀液或加入一定量H2SO4、Na2S2O8并加水至液位并开启打气； 4.每班分析3次，即4小时分析一次。 C、更换 a、每升槽液生产30-40m2或药水添加量达50MTO时换缸； b、更换时将槽液全部排放，消除缸内壁沉积铜，洗净后重新配。5.3生产控制与维护 5.3.1新开缸药水须化验分析，确保浓度正常范围，检查各药水缸温度应达到正常范围； 5.3.2 取三架
