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1、页码：第1页，共8页检测设备宕机处理规范1、目的确保产品在检测设备异常期间，得到及时有效的检测，从而保证产品质量。2、适用范围适用于所有在线、离线检测设备。3、部门职责3.1 生产部：按照规定执行使用部门职责。3.2 质量部：.负责挂牌和对应应急预案以及检测设备异常处理行动方案的监控和播报，在责任部门交付后进行验证，判断合格，给予复机批准。 .按照规定执行使用部门职责。.监督此文件标准化执行。3.3 工艺部：接到使用部门通知，负责第一时间到现场与设备部负责人同时进行问题排查。若确认是由于软件原因造成的异常，由工艺部进行排查，排查完毕后在检测设备宕机、屏蔽/复机记录单中填写原因、措施、处理结果，
2、处理完毕后交付给使用部门；3.4 设备部：接到使用部门通知，负责第一时间到现场与工艺部负责人同时进行问题排查，若确认是由于硬件原因造成异常的，由设备部填写原因、处理结果，处理完毕后、交付使用部门。3.5 通用职责：3.5.1 使用部门：发现自己使用的检测设备异常（不工作或测试异常）后，第一时间通知IPQC、相应责任部门负责人（可参照检测设备宕机责任部门表），并填写检测设备宕机、屏蔽/复机记录单。测试设备宕机维护责任部门岗位NO.检测设备责任部门硅片检验1GP-Waf-Q工艺/设备2Semilab-WMT工艺/设备3Nano-D/MCI-100工艺/设备前清洗4反射率测试仪工艺/设备扩散5Sem
3、ilab-SHR工艺/设备6Napson工艺/设备后清洗7GP边阻测试仪设备8电子天平设备PECVD9GP-Col-Q工艺/设备10膜厚折射率测试仪工艺/设备丝网印刷11电子天平设备分检12GP-Cell-Q-FS/Manz分色工艺/设备13GP-Cell-Q-RS工艺/设备14在线EL设备15离线EL设备16金相显微镜工艺/设备可靠性17衰减箱设备18卧式拉力机设备温湿度19液晶大屏温湿度计质量-计量3.5.2异常原因排查超过60min，现场的工艺监控，责任部门根据此文件给出应急预案给出，相应部门按照预案执行（若文件未涉及）。3.5.3若需要屏蔽某处在线检测设备，申请屏蔽部门必须提出申请，填
4、写检测设备宕机、屏蔽/复机记录单，交予工艺进行审核，审核通过后将表单交给IPQC，由责任部门进行实施屏蔽。3.6 使用部门定义：生产部：所有在线检测设备（安置在生产设备内的检测设备），称重天平，边阻测试仪；质量部：离线检测设备，包括Napson、椭偏仪、反射率测试仪，离线EL测试仪,卧式拉力机，温湿度计，光衰减箱。4、处理流程检测设备宕机处理流程责任部门要求相关记录1. 使用部门2. 工艺部/设备部3. 质量部4. 工艺部/设备部5. 设备部6. 质量部7.质量部1. 第一时间通知责任部门和质量部巡检和设备部到现场排查开具检测设备宕机、屏蔽/复机记录单2. IPQC到场挂牌3. 工艺/设备同时
5、到场进行排，查判断是否是检测设备软件问题，若是，工艺部进行调试解决，若是非检测设备软件问题由设备部进行解决，产线按照本文件规定预案指向相关测试4. 设备部给出解决措施并调试质量部巡检接到通知到场进行验证，验证方法：利用多片二级样片进行测试，分析标值与测试值的差；判定标准：最大极差小于容差，判定合格6.确认调试完成后，IPQC挂正常牌回复生产检测设备宕机、屏蔽/复机记录单检测设备屏蔽处理流程责任部门要求相关记录1. 工艺部2. 生产部3. 设备部4. 工艺部5.责任部门按照复机计划进行改善6.质量部7.质量部非检测设备宕机需要屏蔽检测设备时要求屏蔽部门填写表单，进行屏蔽申请。要求申请部门将：屏蔽
6、原因、预案以及复机方案和日期填写清楚，交给工艺评审工艺部对屏蔽申请进行审核，审核完工艺将记录单交给IPQC质量部巡检到场挂牌（屏蔽牌）验证取消屏蔽后是否正常检验。验证方法：利用多片二级样片进行测试，分析标值与测试值的差；判定标准：最大极差小于容差，判定合格IPQC挂正常牌恢复生产检测设备宕机、屏蔽/复机记录单5、宕机预案相关测试设备异常应急预案岗位NO.检测设备异常应急预案测试方法和频率硅片检验1GP-Waf-Q测试异常或故障无法正常工作由生产人工全检预案中未提及的，按照最新的控制计划要求执行2Semilab-WMT3Nano-D/MCI-100前清洗4反射率测试仪单/多晶反射率测试仪（Aud
7、ioDev) 共有2台，每车间一台，如有一台出现异常，由清洗工艺、生产、质量按参照控制计划流程文件中的测试方法和频率轮流到另一车间测试,如两台测试仪同时出现异常，则以减薄量为工艺调整的主要参考基础。扩散5Semilab-SHR在线Semilab测试仪每台扩散炉对应一台，共十六台。如在线测试仪无法使用，生产人员对该机台对应的扩散炉管进行测试，每管抽测4pcs（确保每盒抽测1pcs），采用“5point”测试模型，并在流程卡做好记录抽测方阻数值和对应炉管管号。详见工艺规程6Napson1#车间3台，10#车间1台，共4台，1#车间Napson故障，故障线别的测试在1#车间正常Napson机台进行测
8、试；若1#车间机台均故障，将10#车间机台移至1#车间，所有测试在此机台上完成；若10#车间机台故障，移一台1#车间正常的机台到10#车间进行测试。机台故障后，使用部门必须及时报修。后清洗7GP边阻测试仪GP边缘电阻测试仪共有3台，1#车间两台，10#车间一台，如有个别出现异常，则由生产人员按常规比例使用其他机台进行抽测，如均出现异常，则减薄量和目测刻蚀效果为工艺调整的主要参考基础。8电子天平每车间一台电子天平，共2台电子天平，若故障，由生产物料领取备用电子天平，放置到线上替换故障天平，并及时保修故障电子天平。PECVD9GP-Col-Q1-4线在线GP solor测试仪，每台PE对应一台，共
9、八台，任何一台出现问题即全部由生产员工手工挑选镀膜后返工片。10膜厚折射率测试仪AudioDev折射率测试仪，AudioDev反射率测试仪各有两台(同前清洗)每车间一台，如有一台出现异常，由IPQC、生产、工艺一起按常规比例到另一个车间进行抽测（每个部门每班一台）丝网印刷11电子天平每两条线一台电子天平，共5台电子天平，若故障，由生产物料领取备用电子天平，放置到线上替换故障天平，并及时报修故障电子天平。分检12GP-Cell-Q-FS/Manz分色出现机台故障，由FQC进行人工分色13GP-Cell-Q-RS由于GP-Cell-Q-RS控制电池片的定位，若出现故障，必须整机停机，电池片由生产离
10、线进行效率测试，然后由FQC进行颜色分类。14在线EL在线EL测试仪，L3-6线每条线一台，共四台，若出现故障由FQC按照150片/时/线的频率进行抽测。15离线EL离线EL测试仪，1#车间3台，10#车间2台，共5台；若一台故障，离线EL的抽测量由其余完好机台完成,成批出现的EL不良，先隔离入库，再由FQC安排全检验；设备部对故障机台进行修复；出现两台机及以上的离线EL故障时，由使用部门组织相关部门会议决定在检测设备修复期间，如何处理在线产品的EL测试安排16金相显微镜线宽线高测量，奥林巴斯金相显微镜共2台，每车间一台，如1#或10#车间机台出现异常，反馈当班工艺员在好的机台测试线宽线高，如
11、所有机台出现异常则以印刷湿重为工艺调整的主要参考基础。电池可靠性分析17衰减箱光衰减箱，每车间一台，若其中一台损坏，则衰减到另外一台衰减箱进行；若两台衰减箱都损坏，应急措施：将电池片送至尚德进行衰减；光衰减箱损坏，使用部门及时报修18卧式拉力机卧式拉力机，1#车间一台，10#车间一台；若其中一台故障，拉力测试在另外一台卧式拉力机上测试；若两台同时故障，拉力测试用指式拉力机或数显拉力机完成；卧式拉力机故障后，使用部门及时报修温湿度19温湿度计液晶大屏温湿度计，1#车间12个，10#车间6个，若有部分或全部损坏，则对应损坏位置使用毛发温湿度计（备用40只）；损坏的温湿度计由计量负责报修5.1如遇以上未涉及的检测设备异常，由当班工艺组织质量/生产/设备部各班长，现场协商制定出对产品工艺监控的应急预案，预案由工艺填写在检测设备宕机、屏蔽/复机记录单中，若检测设备处理异常超过12小时，工艺部编制临时文件，现场工艺监控按照临时文件执行。若各班长无法达成一致，由各班长上报升级，汇总意见后进行处理。预案给出时间，不超过60min（异常发生起计算）。6、相关表单6.1检测设备宕机、屏蔽/复机记录单7、职责与权限7.1 文件编制编制部门：质量部7.2 文件审批本文件由以下部门/人员审批：工艺部负责人、生产部负责人、设备部负责人、质量部负责人7.3 文件分配工艺部、设备部、质量部、生产部
