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1、光学显微镜校正方法步骤题记：光学显微镜是对细微样品进行观察测试的工具，通俗的讲就是高倍放大镜，它能 放大物体看到比头发丝更小的物品，可以达um的级别。在半导体，LCD,晶圆厂都有广泛 的使用。那么我们该如何校准这么精密的仪器呢？下面我司苏州锐纳微光学有限公司为大家 讲解校准方法和一下步骤。第一步准备一台显微镜放大倍率可以从50x-1000X第二部准备一只光学标尺（标尺规格：100um）第三部：我们将显微镜切换至50x通过CCD观察状态下观察标尺的状态如下图所示,aWWXi LTBUffl IIm接下来我们点击红色箭头上的标尺功能键，这个时候它会出现一个提示如图我们点击”否”然后我们点击下面图上
2、面的操作；.? U Ad | Mni 回皿-険 ”垦 F 尸声毬丄 “口 - Q- E * tZ/-：、居厂TagURt.*20%FiEaispMiJuooKPAj：usa2.c) wei* 、L1200lidfl|6|l&GG11000112 闖iIIiiiiiiIIiiirIIiiiiihiiiai出SPM12附谄眼I汨2J01WS- 1.5叹 2唤 MW% iH5% 适叱战ifiHDS Q辭窗-4S9-ax* x WM才Q駅5询闵破5 ；C先逞廉辜（WO卷:我们当前位置是显示75%，我们选择100%就可以了，然后我们回到标尺功能案件上就会出现下面图按照我们是当前50x状态下，所有在上图的
3、指示框里输入50x,因为标尺长度为1000um单 位，所以在实际长度中输入1000u m,当然我们也可以选择不同的长度单位如下图到此我们就完成了在50x状态下的定标操作了，按照同样的方法把物镜分别旋转到不通倍率 下，进行以上操作，就可以完成所有定标了！下面是我在100x状态进行的定标可以参考一 下。-F-iJ E+J EK-H * J益_ J： j :2. 3 匚r丿/屛旳丄r D 0* X： * r 汙令耳7瞇題q至”* 3 P 申1|追却gfiEutt!取 KW-O Ji? 4sci -事iiflfi事1：KK-t，jwE-JMI-vLtf.曲強4叫E -我们定标完成后就可以根据我们自己的要求进行对样品测量了下图是我进行的一些简单测 量。注意：我们在进行测量的时候一定要保持跟物镜的倍率一致，在多少倍率下选择多少倍 的测量，如下图根据我们的要求我们可以测量点，线，圆，弧，等不同方式的测量!Ctrl+S就可以保存测量 图了，（注意：一定要在拍完照后进行静态的测量，如果在拍照的动态下测量测量数据不会 被保存。
