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1、一、实验目的：I认识共储成燈廉理及wn点2 节握共统尢7圧忻力仏3. TWM光从比测皿的应用场含.二实验原理：激光共仮测血H从十竝獅发股的共休成像炽用实!見的共如戲像典険理如用1所g电比源 P位准恵物憧LI的能点上.发出的半厅光经分尢|分比进入成像物懺L2在L2的焦点上成 电比瀬P的似氏X被河件（试样&囱位FL2的优囱上时（dl=F2.入射光总路返阿.过分HtftWttUKu I nrj（； .出igpup i Ki 1 i p p. p4W自比学兀外的加点位上.才成立共郭的戚像人系这就称为共焦鐵像P点光溥re I共您成像金测鐵匕具仃如卩转点&（1）为被測表面ftrwtt的储面侍评时尢找才tt
2、finrifi射.在探ms hm井获MX 能最.因此HfitttA的纵向分辨率.的定位*（2）在探滝器询加小孔.町以XXM小光学礙址成像时的叢做比便成像们巧唏血J3小（3）十被测衣dtifl为三傩移动（扫10）时处蜃析恂 即从衣面根弱的為焦侑号.叩以荊 确灣誰农面的三堆版像.从三煨像吹构物件因面获得分特确的&面形奴.溼尢共您威偉9显微镇结合形城共您慕微术.U广泛川牛物.灰学9匸业探测h.特别足 濒）ui焦s就尢技术结介彤成朝比门及“尢r共焦黄比乂锻术.这足十滋分f比谢中垠折的 探稱於术三、实验仪器：实鲨光路如图2所示:/Q-ix2澈光I经定向几35定向.iitt 8.10 jr咯 整星锻懺组15 6匸作台16共您试11匕聚烁 聚 1 I - I- .-：! I X 几比鋼）22.并杏CMOS23上形成蘇細图惊共能试件轴向高程变化対笊圳閩r（松变化.经秤序 计算实现定检測四.实验步骤：K开机.溼比器I迅速起辉.待光強。定，2、打开鼻动电潍开关,检靑CMOS23上电（S W亮阳3、按实鏡比曲图布卫好比略扩束激光*4、知入共俄透徳IS （lOfftUjtt）筑用粗希熬瓶暉枚入匸作台18上的试件火.路反妨九将平面反射後夹入工作台16的 试件央1: W. lb tff） X. Y |制的处绵杆.性试件初给伦匱处央焦MKftta焦（Ml: AZ（纵向位移值）
