洁净室正负压差

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1、洁净室正负压差的详细说明洁净室维持一定的正压是保证洁净室不受或少受污染、以维持设计洁净度 等级必不可少地条件之一。即便是负压洁净室,它也必须有不低于它洁净度级别 地相邻房间或套间维持一定地正压,负压洁净室的洁净度才能得以维持。洁净室正压值是指门窗全部关闭状态下,室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。为了保证洁净室正 压值,送风、回风和排风机最好联锁,系统开启时先启动送风机,再启动回风机 和排风机;系统关闭时先关排风机,再关回风机和送风机,以防止洁净室在系统 开启和关闭时受到污染。维持洁净室正压所需的风量主要根据维护结构密闭性好坏来确定。我国洁 净室建

2、设初期由于围护结构密闭性较差,要维持35Pa的正压就要26次/h送风 量;目前维护结构密闭性已大为提高,维持同样的正压只要12次/h送风量;维持 31OPa也只要23次/h送风量。我国设计规范6规定:不同等级的洁净室以及洁净区和非洁净区之间的 静压差应不小于0.5mmH2O(5Pa),洁净区与室外的静压差应不小于 1.OmmH2O(l0Pa)。笔者认为该值似偏低,原因有三:1. 正压是表示洁净室抑制通过门窗缝隙污染室内空气的能力,或在短时间打开门 窗时使渗入室内的污染物减少到最低限度的能力,正压大小表示抑制污染能力的 强弱,当然不是正压越大越好(后面将谈到)。2. 正压所需的风量有限,5Pa正

3、压与10Pa正压所需风量仅差约1次/h,何乐而不 为呢?显然正压值低限取l0Pa更优越些。3. 美国联邦标准(FS209AB)规定:当所有出入口关闭时,洁净室与任何相邻的低 洁净度区域之间的最低正压差为0.05英寸水柱(12.5Pa),这数值已被许多国家采 用。但洁净室的正压值并非越大越好,根据本单位30多年实际工程检测表明:当 正压值330Pa时,开门就比较困难,关门稍不留意,砰一声!吓人一跳;当正压值35070Pa时,门窗缝隙就会发出哨音,体弱者或有某种不适应症者不适感觉。 可是国内和国外许多国家的有关规范或标准均未规定正压的上限值,这样的结果 许多单位都只求下限值满足要求,而不管上限值达到多少,在笔者遇到的实际洁 净室中正压值有高达100Pa以上,造成很不好的效果。实际上调整正压并不是一 件很难的事,把它控制在一定范围内是完全可能的。谢升华净化工程师

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