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1、涡轮分子泵的结构和工作原理 利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是 启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得 清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制 造等方面。结构和工作原理1958年，联邦德国的W.贝克首次提出有实用价值的涡轮分子泵，以后相继出现了各种不同结构的分子泵, 主要有立式和卧式两种图1为立式涡轮分子泵的结构图。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、 静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度
2、（一般为150400米/秒）。单 个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶 轮几何尺寸基本相同但叶片倾斜角相反。图2为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一 个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙动叶轮可在静叶轮间自由旋转。性能和特点泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分 子量大的气体有高的压缩比。对氮（或空气）的压缩比为108109;对氢为102104；对分子量大的气体如油 蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9帕工作压力范围为10-110-8帕抽气速率为几十到几千升每秒（1 升= 10-3米3）。涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态）下 工作才能显示出它的优越性因此要求配有工作压力为110-2帕的前级真空泵。分子泵本身由转速为 1000060000转/分的中频电动机直联驱动
