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1、微型元件走柔化之 器一常微成形加工技衔等i誓部技彳籽电ITIS耋丹中心独莫分析筋 陨仲宜-、簿起舆定莪常 微成形的起始源自於T. Maeda在1989 在JSTP喜誉所提出 的超微型床修，文件3第-篇微常元件朝造的文护，耆待型床 修的 走特性受到相誉的重祖。次(1990) 以修，或毫米(sub-millimeter) 的 常元件朝造燮得枢3熟严，此乃因其可以愿用於微系位技衔(Micro System Technology ； MST)及微修竟系位(Micro Electro-Mechanical Systems ； MEMS)。先差固家如日本及德固、颦通十多 的唾展，姑封 微 常成形元件下 明
2、稚的定莪：翰件的尺寸，肘3直徂在0.33 m ； 板件的尺寸单肘刖3冬200m以下厚 。二、技彳籽R涵及愿用琨汗常微成形加工方法可晴伞3下 五袱：(1) 用湾型修械将塑性 材 型摘入模具R，把模具的形 帽琨出 的M印 冲型加工法；(2)或 用 支旋薄的子 取代湾型，材 志於其膺，然修施加型 以帽印 成形的方法，此格3就延；(3) 用湾更(Punch)舆母 模(Die)湾穿板 材的下 加工(剪酎加工)；(4)将熔融材 入模具中凝固的成形法工件 3 常材 成格3型嬉；(5)将 常料末及黏、待剖混合修之射出、雄、待之 成形法格3 常料末射出成形 (MIM)等，射出成形由於至 使用塑性固 恕材，因此版
3、格 至 常於塑性加工。在违些方式中，就延是将加工材 嶷入 支藕子中，使加工材 被 型溃伸展，违袱方法主要侏用 朝造板材的加工法。同待，如果在就延 子上做成凹凸形棣的亨吉，刖其形棣就喜照清地被帽印到朝品表面，和 塑啜加工中啜布 帽修加工法 欲;造是 用富荷X，使材 生塑性燮形的加工，再藉由雕刻有形棣的模具，就可以将形棣帽印冲 型邑色然也和&造 欲， 通，相专寸於 用施加的痼臀 成形的造而 言，湾型刖是施加蕤小型 以使材 燮形。剪酎加工的主要方式有 用 刀酎，以及 用湾更舆母模湾酎下等方式。封於 冲孔加工而言，冲酎下 是一彳鱼非常有方效的好方法。通，微、g、冲更以及母模的朝造很芽。由於要将他邱 福
4、地安装於加工 修上亦 容 ，因此目前至 遑用於微g加工。 通，如前所述，由於 统放竟研磨法(WEDG)已、颦被辟唾出，而 且成 很有 用的一袱微g工具 的朝作法，因此 用违袱方法可以朝造微g的、更舆母模，至且在同- 修器上做、酎下 ，如此即可差 微g的湾酎加工。由於琨陪段已唾展之 常微成形技衔具有高 性(每分 70 200件)、高尺寸 (105m)、高材 使用、品 肾稳定等俸黔，可 朝 造之 件品尺寸恰好可填衬介於禽位 密加工件的下 限舆矽基技衔加 工件的上限所能及的单肘(00.43 m)，愿用於生微型、迥件上，能 在低成大筷件下，满足市埸大 的需求。在愿用方面， 微 常元件可以遇用於IC老台
5、的刽、微扣件、微 祭、托座、待元件、微型硬碟修、薄型光碟修、微型修械元件(微型 翰承等)、带墨印表更、微型特建及反扇、薄型S建(Penny Motor )、微ITIS尊楠，时强, I Services 潸部技曲w技as知at服磨言十壑型散熟 新系位、微架及翰件、射二枢醴、光收唾模、迥、光通郭、迥件、光接器套管、微探姑、超 、g管统走品、鼓竟、笠型 竟喘、汽 暮航系位、安全君囊感浪器、微反愿器、罪享用途之微系位、 微巡等、暮统架等，用途相誉眉泛，如【屈1】所示。微小焉建零件.精微摩圭嘉件 （取底座）微螺富条/微扣件光速接器套管微型硬碟点殳件掌泉架酱瘵用零鲍件手檄用零鲍件屈1常微成形技彳籽愿用育源：属中心 itis et整修PC成代到 ，由於工f品持M朝向薄短小的走彗，封禽位 走品之微小化，或新割之微小年件/改偌需求性普遍提高，值位的修械加 工技衔，已就、法满足生走此走品所需之高 及快速 走的需求，因而如何能快速且低成本地大 生走微型 件-直是案界枢欲突破的瓶 筑。3因愿3C走品微型/薄型化之高成笠需求鹿彗，建 品肾均-具大 生走性之 常微成形加工朝程、微模具加工及周遑系位技衔，已 成 3 未 f 展相誉受到睇目的-项核心森距。
