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1、椭偏仪系列,针对研发领域薄膜、材料分析光谱范围 : 190-2500 nmSENresearch 宽波段光谱椭偏仪系列针对满足现代研究的需求,为任何应用都能够提供出色的测量速度和精确度。该系列光谱椭偏仪能够测量薄膜厚度,折射率,吸收系数,并能够描述材料性质,如材料组分、折射率梯度、表面和界面粗糙层、各向异性材料和多层膜。SENresearch 光谱椭偏仪能够分析并不理想的样品,如退偏效应,非均匀样品,散射和背板反射。SENresearch 由 SpectraRay II 软件操作 , 完善的软件能够测量数据,建模,拟合并作出椭偏测量、反射/透射测量的结果报告。research 系列各型号的光谱
2、范围:步进扫描分析器工作模式,超消色差单色仪,电脑控制起偏器,UV-VIS 波段快速二极管/CCD 阵列探测器和 NIR 波段干涉仪调制探测器能提供快速测量和高信噪比,并为任何测量在全部psi,delta 范围( 0-90 deg(psi) and 0 360 deg (delta).)都提供最高的测量精度。SENresearch 系列光谱椭偏仪能够测量反射光偏振状态,修正由于非均匀样品、粗糙表面、聚焦角度所导致的退偏效应。并能够分析各向异性样品和材料。SENTECH 先进的地貌图扫描选项,支持对复杂多层膜样品在全波段快速测量并分析其均匀性(最小每点 5 秒)。数据可按照设定的地图图案表现为2
3、D-, 3D- 或等高线图,并能够进行全面统计分析。SENresearch 能够测量反射率、透射率。光度测量数据可通过SpectraRay II 软件分析。可选自动角度计,提供更大范围入射角度(20-90 deg)。可选低温保持器用于温度控制测量。SENresearch 技术指标 :光谱范围 : (* 括号中表示可扩展光谱范围)SE 800:(290) 350850 nmSE 850:(290) 3501700 (2500) nmSE 800 DUV190 950 nmSE 850 DUV190 1700 (2500) nmSE 850 Z(290) 3501700 nm起偏器 / 分析器 :电机驱动,步进扫描分析器操作模式补偿器 :超级消色差补偿器光源 :Xe 灯 , 氘灯 , 卤素钨灯 (UV-VIS),卤素钨灯 (NIR)探测单元 :二极管阵列 / CCD 阵列 (UV-VIS), FT-IR光谱仪 (NIR)样品校准 :自动对准镜,高精度校准高度、倾斜度样品尺寸 :最大 300 mm软件 :SpectraRay II选项 :角度计 :电机驱动Mapping地貌图扫描:电机驱动,从50 x 50 mm2至300 x 300 mm2微细光斑:200 m光斑直径,或可定制更小值低温保持器4 K700 K液体膜测量单元