第五节 薄膜干涉

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1、10.5 薄膜干涉薄膜干涉:如阳光照射下的肥皂膜,水面上的油膜,蜻蜓、蝉等昆虫的翅膀呈现的彩色花纹,车床车削下来的钢铁碎屑上呈现的蓝色光谱等。薄膜干涉的特点:厚度不均匀的薄膜表面上的等厚干涉和厚度均匀薄膜在无穷远出形成 的等倾干涉。一、薄膜干涉 当一束光射到两种介质的界面时,将被分成两束,一束为反射光,另一束为 折射光,从能量守恒的角度来看,反射光和折射光的振幅都要小于入射光的振幅, 这相当于振幅被“分割”了。两光线a, b在焦平面上P点相交时 的光程差A = m (AB + BC ) - AD=2 ne cos i/A取决于n, n, n的性质。1231. 劈形膜光程差:上表面反射的反射光

2、1光密到光疏,有半波损 失;下表面反射的反射光2光疏到光密,没有半波损失(若是介质膜放在空气中,则上表面没 有半波损失,下表面有半波损失)。光程差九A= 2 ne +干涉条件为九A = 2 ne + 2k 九,k = 1, 2,明纹或者九(2 k + 1), k = 0,1,2A = 2ne =九(2 k + 1),2k九,kk = 0,1,= 1, 2, 暗纹明纹暗纹九ne =(2 k + 1), k = 0,1,4九2 k , k = 1, 2 ,4明纹暗纹讨论:九1在劈形膜棱边处e=0 ,人=-因而形成暗纹。(k + 1)九九2 ne + k2九 e = e e = k+1k 2 n九L

3、 =2 n sin 0九L =2 n02 相邻两条明纹(或暗纹)在劈形膜表面的距离。3、干涉条纹的移动每一条纹对应劈尖内的一个厚度,当此厚度位置改变时,对应的条纹随之移2)比较两个块规九1九rf1P标准块规待测样品石英环2 光程差干涉膨胀仪3)检验光学元件表面的平整度二、牛顿环1 装置测量 显微镜平凸透镜平晶a九A h =b2平晶九 = 2 e +-21)膜层厚度九+2k九(k = 0,1.2, 3.)明纹入(2k + 1)(k = 0,1.2, 3.)暗纹2e=L( 2 k + 1 )九.2 k 4(k = 0,1.2, 3. )明纹(k = 0,1.2, 3. )暗 纹2)条纹内稀外密(可

4、由膜厚变化情况分析)见上图在牛顿环中,0逐渐增大,故条纹中心疏,边缘密。另由暗环半径公式r1 : r2 : r3 = 1: (2)1/2 : (3)1/2k J Q ,条纹间距Ar = R 吊灯3)中间条纹级次低思考:(1) 如果平凸透镜上移,条纹怎样移动? 透镜上移,膜层厚度增大,条纹级次增大,条纹向外移动。(2) 白光条纹如何?(3) 在白光照射下,同一级条纹中哪种色的半径大?(4) 如果平板玻璃上有微小的凸起,将导致牛顿环发生畸变,问该处的牛顿环将 局部外凸还是内凹? 同一级等厚条纹应对应相同的膜层厚度。厚度相同的地方应组成同一条纹,向外 凸。三、等倾干涉对于厚度均匀的薄膜,光程差是由入

5、射角 i 决定的,凡以相同的倾角入射 的光,经膜的上、下表面反射后产生的相关光束都有相同的光程差,从而对应于 干涉图样样中的一条条纹,故将此类干涉条纹称为等倾条纹。等倾干涉明纹的光程差的条件:15 = 2en2 - n2 sin 2 i + & = 2k九,(k = 1,2,3,)2 1等倾干涉暗纹的光程差的条件:i5 = 2 eCn2 - n2 sin 2 i + 5 = (2 k + 1)九,(k = 1,2,3,)2 1两透射光线a, W相干的光程差:5 = 2:n2 - n2 sin 2 i这是由物理资源网提供的样本教案。2 1 透射光也有干涉现象。当反射光的干涉相互加强时,透射光的干

6、涉相互减弱。显然,这是符合能量守恒定律的。 反射光相互加强时透射光相互减弱,当反射光相交减弱时,透射光相互加强,两者是互补的。四、增透膜和增反膜光学镀膜:在一块透明平整的基底(玻璃3=1.52)表面用化学或物理的方法 涂一层透明的介质薄膜(n),形成单层膜。单层膜系有两个界面,空气和膜层 的界面及膜层和基底的界面。光波在两个界面上一次反射和透射,产生多光束干涉。称ne为膜层厚度。膜层厚度均为n e=A/4增透膜:膜层的折射率大于基底的折射率nn1增反膜:膜层的折射率小于基底的折射率膜层ne例10-1在半导体元件生产中,为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度,将该膜的一端腐蚀成劈尖状,如图所示。已知S

7、iO2的折射率n =1.46,用波长的钠光照射后,观察到SiO2劈尖上出现9道暗纹,且第9道在劈尖斜坡的上端点M,硅 的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。已知:n = 1.00n = 3.42n = 1.4612N = 9( 暗 )九=589.3nm求:e=?解:由于在SiO2上、下表面反射的光均是从光疏介质入射到光密介质,都有半波损失,所以光程差为A = 2 ne(k= 0,1,2,)nesn2出现暗纹的条件为:九A = 2 ne = (2 k + 1)2当k = 0时,对应第一条暗纹第9条暗纹,对应于k=8,代入上式得:(2 k + 1)九 e =4n= 1.72 x 10 -6 m17 x 5.893 x 10 -74 x 1.46

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