真空检漏1一、概述1概漏的基本概念 真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小 的过程漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧 的现象虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象这种现象是由于材料放气、 解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出 等原因引起真空系统中气体压力升高的现象气密性是表征真空系统器壁防止 气体渗透的性能，它包括通过漏孔减间隙）的漏气和材质的渗气最小可检漏 率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值最佳灵敏度是指检漏仪器或 检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率对于检漏仪器来讲，最佳灵敏 度又称作仪器灵敏度检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测 出的最小漏率检漏灵敏度又称作有效灵敏度反应时间，即从检漏方法开始 实施（如开始喷吹示漏气体倒指示方法（如仪表）做出反应的时间消除时间，即 从检漏方法停止（如停止喷吹且开始抽出示漏气体）到指示方法的指示消失的时 间漏率，即单位时间内流过漏孔（包括间隙）的气体量2 •漏孔、漏率及其 单位 真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样（如图1 所示）, 无法用几何尺寸表示其大小。
所以一般用等效流导或漏气速率（简称为漏率）表示 漏孔的大小用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口 压力为x105Pa，出口压力低于x103Pa，温度为296 士 3K的标准条件下，单位时 间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量漏率的单位是帕斯卡x立 方米/秒，记为Pam3 / s为了方便，有时用帕斯卡x升/秒，记为PaL / s3•最 大容许漏率真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的 “漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的对于动态真空系统，只要其平衡 压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏 率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率动态真空系统的最大容 许漏率qLmax应满足qLmaxM1/10PwS （1）式中Pw—系统工作压力S—系统的 有效抽速 对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以 下，这时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系 统的漏率称为最大容许漏率如果要求在时间t内,容积为V的系统的压力由p 升至pt,则其最大容许漏率qLmax应满足qLmaxM（pt-p）V/t⑵ 各种真空设备的 最大容许漏率可参考表1确定。
4 •漏孔的气流特性气体流经漏孔的过程是很 复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态主导流动状态与 漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压力及环境温度有关设环境温度 T=296K,入口压力p2=x105Pa，出口压力p1《p2，漏孔长L,直径d的均匀圆截 面导管型漏孔，其对空气的漏率及可视流动状态见表25.检漏方法的分类 检 漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检 漏法充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有 漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏 孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏 法真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部 施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的 空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的 大小，这就是真空检漏法其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外 部受压等方法归入其它检漏法背压法就是其中主要方法之一所谓“背压检漏 法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气 体再从被检件中漏出•以某种方法（或检漏仪）检测漏出的示漏气体，判定被检件 的总漏率的方法。
真空检漏2二、检漏仪器用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、 气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计这里主要介绍氦质谱检漏仪、 卤素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、结构及国产检漏仪器的技术性能 1•氦质谱检漏仪氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器， 它具有性能稳定、灵敏度高的特点是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普 遍的检漏仪器氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计单级磁偏转型仪器灵 敏度为IO-9〜10-12Pam3 / s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏双级 串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显着减小•其灵敏度 可达10-14〜10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏逆 流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前 级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点•适用 于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3 / s1) 工作原理与结构氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成 的质谱室和抽气系统及电气部分等组成①单级磁偏转型氦质谱检漏仪 现以 HZJ—l型仪器为例•介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪，其结构如图2所示。
在 质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡 板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大 静电计管和冷阴极电离规质谱室的工作原理如图3所示在离化室N内，气 体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束并在加速电压作用下以一定的 速度经过加速极S1的缝隙进入分析器在均匀磁场的作用下，具有一定速度的 离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可按式(5)计算可见，当B和U为定 值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同仪器的B和R是固定的， 调节加速电压U使氦离子束［图中(me-1)2］恰好通过出口缝隙S2,到达收集器D， 形成离子流并由放大器放大使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦 质荷比的离子束［(me-1)1(me-1)3］因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口 缝隙S2,所以被分离出来me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很 少，可忽略②双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪 图4示出了双级900缩转串 联式磁偏转型氦质谱检漏仪的质谱室由于两次分析，减少了非氦离子到达收 集器的机率并且，如在两个分析器的中间，即图中的中间缝隙S2与邻近的挡 板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。
那些与氦离子 动量相同的非氦离子，虽然可以通过第一个分析器，但是，经第二次加速进入 第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来由于二次分离， 仪器本底及本底噪声显着地减小，提高了仪器灵敏度③逆流氦质谱检漏仪逆 流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的 压缩比与气体种类有关的原理制成的例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为 102；对空气中其它成分的压缩比为IO4〜106检漏时，通过被检件上漏孔进入 主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示 出漏气讯号这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理2)性能试验方法灵敏 度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价 氦质谱检漏仪的主要性能指标①灵敏度及其校准氦质谱检漏仪灵敏度，通 常指仪器的最小可检漏率记为，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气 压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率所谓“最 佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件 所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气仪器的反应时间不 大于3s所谓“最小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有 漏气讯号输出。
所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧 的漏气速率仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的最大波动量漏率 灵敏度标准系统如图6所示图中虚线框内部分为配气系统•即为标准漏孔5 进气端提供压力为pHe的纯氦气辅助泵6的任务是预抽用干燥瓶4和针阀 2调节仪器工作压力如果仪器本底为I0, 本底噪声为In,标准漏孔对空气的标 称漏率为，当其进气压力为pHe时的仪器讯号为I,则仪器灵敏度为式（6）如 果检漏时用辅助系统抽气（即对示漏氦气有分流）或用累积法检漏时，给出仪器 最小可检氦浓度（即浓度灵敏度）记为Ymin,能较方便地估计检漏效果浓度 灵敏度校准系统中应用一流量计测出图6的通过针阀2进入仪器的空气流率， 则仪器浓度灵敏度成为式（7）②反应时间、清除时间及其测定反应时间是 指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零（或补偿到零）时，由恒定的氦流量使输仪 表讯号上升到最大值的（1-e-1）倍（即所需要的时间，记为tRo清除时间是指输出 仪表讯号稳定到最大值后，停止送氦，其讯号下降到最大值的e-1倍（即所需要 的时间，记为tCo反应时间和清除时间的测定装置如图7 所示③工作真空、 极限真空及入口处抽速 质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征 仪器性能的重要参数。
利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真 空利用流量计可测定仪器入口处抽速2•卤素检漏仪用含有卤素（氟、氯、 漠、碘）的气体为示漏气体的检漏仪器称为卤素检漏仪该类仪器分两类：其一 为传感器（即探头）与被检件相连接的称为固定式（也称内探头式）卤素检漏仪；其 二为传感器（即吸枪）在被检件外部搜索的称为便携式（也称外探头式）卤素检漏 仪示漏气体有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其中氯里昂12最好卤素 检漏仪灵敏度可达xIO-9Pam3 / s1）工作原理与结构 金属铂在800〜900oC温 度下会发生正离子发射，当遇到卤素气体时，这种发射会急剧增加这就是所 谓的“卤素效应”，利用此效应制成的卤素检漏仪的结构示意图如图8 所示传 感器是个二极管，加热丝、阴极（外筒）、阳极（内筒）均用铂材制成阳极被加热 丝加热后发射正离子，被阴极接收的离子流由检流计（或放大器）指示出来，且有 音响指示电气部分由加热电源、直流电源、离子流放大器、输出显示及便携 式的吸气装置电源等组成⑵性能测试方法 灵敏度、反应时间及恢复时间是 卤素检漏仪的主要性能参数其测试方法与氦质谱检漏仪的相同，这里不再赘 述但是，卤素检漏仪的指示与卤素气体的浓度有关：一般，低浓度的指示是 线性的，中等浓度的是非线性的，而当浓度很高时仪器出现饱和或中毒现象。
所以在进行性能测试或检漏时，进入传感器的卤素气体的浓度不宜高于百万分 之一固定式卤素检漏仪传感器应和IO-1〜10oPa压力范围内工作，压力过高 或过低都会导致仪器灵敏度的下降便携式卤素检漏仪的传感器基本上是在大 气压下工作的，靠吸气装置吸入气体，使卤素气体流经传感器3 •高频火花 检漏器高频火花检漏器是个高频高压对地放电器件，可以用于真空检漏1） 工作原理与结构 图9示出一种电容，电感串联谐振式高频火花检漏器的原理图 接通K,当接触器CD闭合时，电流流经L1、CD,电流很大，L1产生足够大的 电磁力吸引CD断开，于是形成L1、C、L2的回路由于阻抗增加，电流减小导 致电磁力下降使CD重新闭合如此反复，在L2上施加高频脉冲电压，因此 高压线圈L3便感应出高频高压脉冲电压而L3的一端对地放电产生高频火花击 穿现象这就是高频火花检漏器的工作原理2）玻璃真空系统的检漏 将高频 火花检漏器的放电簧F沿着已抽空的玻璃系统外表面慢慢移动，没有漏孔时放 电火花束呈杂乱分散状态，当遇到漏孔时火花束集中成一条细束，且指向系统 上亮点（漏孔内空气电离率远远大于玻璃的结果），该亮点就是漏孔的位置3） 金属真空系统的检漏各种气体和蒸汽的辉光放电颜色如表3。
选用表中示漏物 质施加在金属真空系统的可疑处，用高频火花检漏器激发系。