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1、真空技术真空工艺工程测量和分析技术LEYBOLD S.A.S莱宝真空法国工厂GA/ET-02304/15SOGEVACSV16B-SV25B操作指导手册备件清单真空技术真空工艺工程测量和分析技术LEYBOLD S.A.S莱宝真空法国工厂合格证的EC声明我们，LEYBOLD SA，在此郑重声明，以下规定的产品在设计、型号及流通过程中的改型方面均满足有关EEC指令的安全和健康基本要求。如果没有我们批准而对产品做任何改变，本声明将无效。产品结构：单级旋片泵SOGEVAC型号：UV25SV 16B SV 25B SV 40B SV 65BSV 100B SV 200 SV 300 SV 585SV 6
2、30 SV 750 SV 1200和它们的改型，但不带电机交付的泵和带Eex.电机交付的泵除外。产品满足下述指令要求：- EEC 机械指令（89/392/EWG）和相继指令91/336/EWG- EEC 低电压指令（73/23/EWG）- EEC 电磁兼容性指令（89/336/EWG）应用协调标准：- EN 1012.1 (project 1993)- EN 292.1- EN 292.2- EN 60204.1 在安装和启动真空泵前，必须阅读并弄懂本使用说明书。注意：在某些运行条件下运转真空泵时可能引发危险。如果发生意外，请与我们当地办事处联系。SOGEVAC系列真空泵是按照最新技术标准和安
3、全规程制造的。如果安装不当或不按说明书的指导正确使用，会引发危险或造成损坏。警告：“警告”事项是特别说明为避免造成人身伤害必须特别遵守的工艺规程。当心：“当心”事项是特别说明为防止设备损坏或破坏必须特别遵守的工艺规程。我们保留修改本说明书所给设计和任何数据的权利。不另加说明。警告：运行真空泵系统时，一定要严格按本说明书操作。 在开始任何工作前，设备一定要切断电源。要采取相应措施，确保泵不能启动。如果泵已抽过危险气体，绝对必须确定涉及危害的性质并采取相应安全措施。遵守所有安全规程！在打开进气口或排气口之前，一定要采取足够的安全措施。LEYBOLD维修如果需要把泵发往LEYBOLD维修，请说明泵是
4、否会有危害人体健康的物质或说明泵是否已被污染。如果泵已被污染，还要说明危害的性质。为此，请使用我们提供的表格，该表格按需提供。在本说明书的最后，附有该表格的复印件，标题为“真空设备和组件污染说明”。请在送修泵时，把这个表格填好，和泵一起包装发给莱宝维修中心。为了符合法律的要求和保护我们的工作人员，特需此说明。如果收到返修泵时没有附填好的“污染说明”，莱宝将把收到的泵按发送人地址退回。警告：泵的包装必须保证：泵在运输中不会损坏，并且不会有有害物质从包装中溢出。目录使用说明p.51概述p.51.1结构与功能p.51.1.1应用范围p.61.2标准规格p.61.3技术数据p.61.3.1欧洲型号的5
5、0Hz和60Hz电机p.61.3.2技术数据p.71.4润滑油p.101.5管理与存放p.112使用p.132.1安装p.132.2接入系统p.142.2.1进气口侧p.142.2.2排气口侧p.152.3电气连接p.162.4启动p.172.5运行p.172.5.1抽空非冷凝气体p.182.5.2抽空可冷凝气体和蒸汽p.182.5.3循环工作p.192.6停泵p.192.7真空泵的极限压力p.203维修p.213.1日常维护制度p.223.2检查油p.223.2.1油位p.223.2.2GS32油状态p.223.3换油，更换油过滤器p.233.4更换出口过滤器，检查压力安全阀p.243.5清
6、洗污物防护罩p.253.6检查防返油阀p.253.7检查浮球阀p.263.8更换排气阀p.263.9更换泵组件p.273.10拆、装泵组件p.283.11电机的拆卸p.284故障排除指南p.29备件清单p.37警告本手册适用于标准品。如果交付的泵是特殊型号，则泵还带有附加文件，该文件作为说明书的一部分，必须彻底弄懂它。操作说明1、概述1.1、结构和功能 SOGEVAC SV 10B到SV100B是单级油封式旋片泵。泵本身带有防返油阀、气镇阀（选用件）、出口过滤器、回油管路。泵由通过法兰直联的电机驱动。注：气镇阀在面向USA销售的泵中是标准件。安装于泵缸体中的偏心转子上轴向开槽，槽中插有三块叶片
7、，它们把泵腔分成几个隔室。每个隔室的容积随转子旋转周期性改变。当转子旋转时，抽空腔的进气部分容积扩张，将气体通过进气口吸入。气体经过污物防护罩，打开的防返油阀进入泵腔。当转子进一步旋转，叶片将进气口与这部分泵腔分开。这部分泵腔体积减少，气体被压缩。气体在略高于大气压力时经过排气阀排出泵腔。注入泵腔内的油起密封，润滑和冷却泵的作用。压缩气体夹带的油在油箱内由于折转而被初步捕集，然后在出口过滤器元件中被彻底过滤。于是，排气中油含量下降至低于可见程度（捕集率大于99%）。在出口过滤器中捕集的油经过回油管从防返油阀下方返回到油循环中。为了防止大气压作用下，气体从油箱返入进气口，回油管由一个浮球阀控制。
8、油循环是由油箱（压力高于或等于大气压）和泵的进气口（压力低于大气压）之间存在的压差维持的。油箱中的一部分油，流经油过滤器(小泵无须配置)后流到转子的轴承支撑点和泵腔。在电机轴上带有风扇，风扇运转产生冷却所必须的空气流。美国以外地区也可订购带气镇装置的泵，按需提供气镇。 打开气镇阀，让可控制的一定数量的空气（被称作“气镇”）进入泵腔。当抽空可冷凝气体或蒸汽时，气镇可在一定程度上防止可冷凝气体在泵内的冷凝（防止能力-最大容许水蒸汽压力参见技术参数）。有几种气镇：- 标准气镇 - 较大气镇（10%） - 带电磁阀的气镇 供货时不带气镇阀的泵，也可加装气镇阀。 当停泵时，防返油阀起到防止真空室的意外破
9、空和防止向真空室返油的作用。1.1.1应用范围根据设计，SOGEVAC泵可用来抽空稳定气体，其工作范围为从大气压到泵极限真空之间的粗真空范围。警告SOGEVAC泵不能抽空侵蚀性、腐蚀性的、易爆或易燃气体。若存在有侵蚀性的，易燃的，腐蚀的或易爆气体，请与LEYBOLD公司联系。根据设计，这些泵不能在易燃或易爆环境下工作。若有问题，请与LEYBOLD公司联系。 当心泵不适合抽空液体或含有灰尘的介质。必须引入相应防护措施。如有问题，请与LEYBOLD公司联系。在抽空氧含量高于大气下含氧量（20%）的气体或其它高活性气体之前，泵必须改型，除油，然后必须使用特殊油（例如PFPE）。 采取相应安全措施。请
10、与LEYBOLD联系以获取有关的重要安全说明。1.2标准规格泵供货时配有电机，处于待用状态。随泵一起提供的还有GS32、HE100或等同的油。对SV40B和SV65B泵来说，随泵配的油单独装在桶中，放在泵的侧边。对SV100B来说，随泵配的GS77油已注入泵中。泵的连接口由塑料保护盖封住。在启动泵之前要去除这些塑料保护盖。 订购泵的备件时，请指明泵的出厂序列号和订货编号。1.3技术数据1.3.1欧洲型号的50Hz和60Hz电机。SV16B、SV65B和SV100B的标准型安装的是50Hz的电机。标准电压：+10%-6%SV16B/SV65/SV100B 在50Hz下230/400V 重要说明：
11、 SV16B的标准品可在50Hz运行，而无任何限制。 如果工作压力低于绝对压力50mbar并且运行环境温度低于30，泵周期工作条件下，SV65的标准品也可在60Hz下无任何限制运行。注释：泵在供货时，其电机上配有50Hz电机铭牌；60Hz铭牌在技术手册（GA/ET）的包装袋中单独给出。1.3.2技术参数表 SV16B SV65BSV100 B 50Hz50Hz60Hz50Hz60Hz 名义抽速m3.h-1166578100120抽速m3.h-115536494113无气镇下的极限分压1）mbar10.50.50.50.5配标准气镇下的极限全压1）mbar21.51.51.51.5配标准气镇下水
12、蒸汽容限1）4）mbar 1025252530配标准气镇下水蒸汽容许负载kg.h-10.031.01.21.72.0噪声水平2）dB(A)6064697074电源电压（标准的）V230/400230/400230/460230/400460 如需其它电压请与LEYBOLD接洽 +10%-6%+10%-6%10%+10%-6%10% 电机功率kW0.551.51.82.23保护类型IP55IP54TEFC/IP54TEFC/）IP54 3）IP54 3）额定转速min.-13000 1450175014501750重量（充油状态）kg2047479797注油量（min最小/max最大）l0.52
13、/22/23.5/53.5/5进气口G1 3/4+ 1/2G1 1/4G1 1/4 G1 1/4G1 1/4NPT1 3/4（3）NPT1 3/4（3） 排气口 G1 1/4G1 1/4 G2G2）NPT1 3/4（3）NPT2（3）1）符合DIN 28400，有标准气镇。 2）在无气镇极限压力下运行，距1m远空地现场测量。3）IEC电机（欧洲）50/60Hz，防护等级IP54。 4）室温20-25。订货编号SV16BSV65BSV100B带有三相电机和气镇阀的泵*230V/400V,50Hz;（230）*/ 460V, 60Hz960 160*109 07*109 11* LEYBOLD USA 不库存此类泵，如有需要，请直接与生产
