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1、设备一：多功能扫描探针显微镜 数量：一台1、主要技术指标要求1.1* 分辨率：扫描器分辨率： XY：0.1nm，Z： 0.1 ?；对云母样品进行 5-10nm 范围的扫描成像， 测量图像中相邻云母原子的间距值，以此间距值来表征仪器的XY方向分辨率：0.50-0.55nm ;对石墨样品进行 3-10nm 范围的扫描成像， 测量图像中相邻石墨原子的间距值，以此值来表征仪器的XY方向分辨率：0.25-0.30nm ;1.2 *整机噪音：w 0.2?;1.3 * 必须为探针扫描成像设计；1.4 测量模式：（1 ）成像模式： 接触模式 轻敲模式 抬起模式 定量相位成像模式 横向力显微镜 静电力显微镜 扫
2、描电容显微镜 调频表面电势测量模式 调幅表面电势测量模式 磁力显微镜 压电力显微镜 液体环境工作模式 液体环境力调制测量模式 Q-Control 控制技术 高次谐波成像模式 纳米刻蚀及纳米操纵 表面杨氏模式成像模式（2）非成像模式：静态与动态力曲线及力谱测试、定量纳米力学测试、力谱线自定义测量、杨 氏模量测量（3）其他功能：环境控制成像、溶液成像*1.5 多用途扫描器：（ 1 ）低干涉小范围扫描器：噪声水平：XY少于1? RMS Z向少于0.1? RMS成像范围：XY向9um*9un, Z向2um（3）悬臂噪音水平： 0.2 ? RMS（4）扫描器精度： 0.5%（5）扫描控制：XY方向：24
3、位控制，Z 方向：24位控制（6） 所有扫描器如因漏液损坏，提供5 年的免费质保1.6 环境控制系统：（ 1 ）上部扫描成像（ Top-down Scan ）且用密封条将扫描硬件部分与成像环境隔开；（2）气氛控制：可以通入任何样品和探针能承受的气体；（3） *可通入湿度气体：相对湿度2%-98%；（ 4）液相控制：可进行溶液下成像，不漏液；（5） *提供能原位制样可控制湿度、气氛、溶液下成像的气氛腔1.7 纳米力学测量：(1) 样品表面杨氏模量测量；(2) 可实现机械刻蚀，化学刻蚀，电学刻蚀等功能，同时实现纳米操纵；1.8 样品台：( 1)标准样品尺寸： 35mm*35mm*15m；m(2)
4、可以垂直放入各种高度超过50mmB勺柱状样品；(3) 可以直接放入各种长度超过50mm的条状样品；( 4 )可以直接放入培养皿进行溶液成像(5) * 透光样品可以从下部和上部进行光照射，便于样品定位；1.9 内置三锁相快扫描功能勺控制器*( 1)64G的RAM和60MHz的峰值速率来进行算术运算(2) 扫描速度： 0.1100Hz；(3) 数据采集：从 256X 256 至U 8096X8 096( 4)测量数据通道 :32 通道；*( 5)独立设置的内置的三锁相通道，频率范围从 0.1Hz 至 6MHz，3dB 的噪音水平( 6)频率分辨率： 0.009Hz* (7)输出带宽： 80Hz,1
5、00Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz,5kHz, 10kHz, 20kHz(8) 振幅驱动控制：16-bit ， 0.3mV 的分辨率(9) 相位驱动控制：12-bit ， 0.088 degrees 的分辨率(10) 针尖自动逼近样品，三个马达控制逼近过程，同时这三个马达可分别手调。1.11 其它控件：( 1 )防震抗噪装置：垂直抗震小于1Hz；(2)光学显微镜：分辨率优于1.5卩m带有CCD LCD端放大倍数高于450倍，既能上部光照, 也能下部光照。( 3)随机提供专业后处理软件：具有实时、在线图像处理功能；可在线直接升级。2、设备主要配置及附属设备2.1 主要配
6、置(1 )扫描探针显微镜1台，包括：主显微镜部分，样品台，溶液池，AFM/LFM探测器和悬臂底座；( 2)环境控制装置，包括：环境控制腔；( 3)多通道数据采集控制系统 1 套；( 4)扫描电容及高次谐波信号装置 1 套( 5)高分辨扫描器；( 6)声学驱动敲击模式控制器 1 套(含独立三锁相控制、内置 Q-control )( 7)电脑及专业分析处理软件。2.2 附属设备( 1 )光学定位系统 1 套；( 2)防震抗噪装置 1 套；( 3)仪器安装启动包 1 套；(4) 各种模式探针 110个；(5) 标准样品(云母片，光栅)及工具1 套。设备二：扫描电镜 数量：一台1 、安装条件1.1 电
7、源电压 220V (10%)，50Hz1.2独立地线接地电阻40欧姆1.3实验室温度1530C，湿度W 70%。2、技术要求*2.1 SE 探头分辨率： 3.0nm 30KV7.0nm 3KV*2.2 BSE 探头分辨率： 4.0nm 30KV10.0nm 5KV2.3 放大倍数：最低倍率w 5倍，最高倍率300,0002.4 真空系统*2.4.1 具有高低真空功能。 且高低真空转换软件一键切换，无需手动安装压差光阑*2.4.2 真空度：高真空：不低于 0.1mPa 低真空空气浓度不小于 600Pa2.4.3 真空泵泵系统 涡轮分子泵和机械泵各 1 台2.4.4 真空系统阀门：气动阀，配有空压
8、机2.5 电子光学系统*2.5.1 电子枪：具有 6 级自动偏压功能*2.5.2 聚光镜光阑完全安装在长内衬管内，用户可自行更换聚光镜光阑。2.5.3 灯丝饱和自动调节，具有高中低三个档位2.5.4 灯丝：预对中灯丝*2.5.5 物镜光阑： 4 孔可动式物镜光阑2.6 样品室和样品台261样品台尺寸：装载直径 200mm样品*2.6.2 4 轴马达驱动样品台，具有彩色外界图片导航功能2.6.3 行程：四轴为 X=55mm； Y=55mm ; Z=50mm；手动 T 轴*2.6.4 非接触报警装置：通过输入的样品尺寸数据，自动避免样品台的危险操作。2.7 探测器及成像系统2.7.1 二次电子探测
9、器：二次电子像高灵敏 5 分割背散射电子探测器：成分像、形貌像和三维像2.7.2 成像模式：同时得到二次电子像，背散射电子像，两种图像混合像，也可四幅图像同时成像，BSE可分别成像，并和 SE任意叠加混合2.7.3 图像捕捉模式：快慢扫描捕捉、积分捕捉2.7.4 电镜操作控制系统：鼠标、键盘、旋钮盒、轨迹球2.7.5 存储图像像素不小于 5120 X 38403. 附件、备件、特殊工具和消耗品 提供两年以上的备品备件（包括各种保险丝、密封圈、各种光缆、专用工具、样品托、金属抛光膏、导电胶带及预对中灯丝 20 支）4. 安装服务4.1 安装、调试 厂家免费负责仪器的安装、调试，验收合格。4.2
10、安装验收合格后，厂家提供一年的免费服务4.3 厂家在中国设有专门的应用中心， 3 个以上固定维修站，并配有专业维修工程师，保证提 供及时优质的售后服务，并提供操作人员的免费培训。设备三：电化学分析仪 数量：一台仪器技术要求：1 、运行环境1.1、环境温度：4 C55 C;1.2、相对湿度： 95%;1.3、工作电压：100 240V , 47 63Hz AC , 200W2、技术参数恒电位/恒电流仪*2.1.1最大输出电流：2A*2.1.2最大输出电压：30V2.1.3电位扫描范围：10V2.1.4测量电位分辨率:300卩V,30卩V或3卩V2.1.5 施加电位精度：值的土 0.2%2.1.6
11、 电流范围：10 nA 1A,九挡*2.1.7 电流精度：电流值的土 0.2%*2.1.8 输入偏差电流/25oC: 1pA2.1.9 iR 补偿：电流中断和正反馈，0-200MQ，分辨率为0.025%，可选动态iR补偿2.1.10高清液晶面板：可实时显示电流电位值交流阻抗硬件模块*2.1.11频率范围：10 卩 Hz - 32MHz;2.1.12频率分辨率：0.003%;*2.1.14交流阻抗最大输入电位：_10V;2.1.15扰动信号振幅范围：恒电位模式：0.2mV - 0.35V，恒电流模式：0.0002-0.35A2.1.17 交流信号类型：单正弦波、5正弦波、15正弦波；2.1.18
12、 交流阻抗测量参数设置：可以分段设置并人工修改频率分布和振幅；后期扩展能力ECD、电流放大模块*2.1.19最小电流档：100pA*2.1.20最小电流分辨率：0.3fA2.1.21ECD 小电流模块国内用户数量应超过10个*2.1.22仪器须米用模块式设计，方便后期扩展且预留插槽数量不少于5个。2.1.23后期可扩展电流范围不小于土10A*2.1.24具备化学测定功能， 进行电化学研究的同时， 仪器可以连接PH电极或者其他检测顶级，可以进行温度测定，PH测定，电位差测定，也可以用于库仑滴定和络合滴定2.1.25后期可扩展为内置式双恒电位仪模块，偏置电位不小于土10V*2.1.26后期可扩展序
13、列测试模块，序列测试通道数不少于32个辅助输入输出2.1.27 模拟信号输入输出：可提供至少输出及输入各两个通道，最大电位范围为10V；2.1.28 数字信号输入输出：可提到至少两个数字信号DIO48端口，由用户自行编写控制流程，以满足更复杂的测控需要。2.1.29 还应有额外的Ein、Eout及lout，用于与各种监测仪器相连接；控制软件*2.1.30 一个平台下实现所有的直流和交流电化学测试方法。测试程序应包括：控制电位循环 伏安、控制电流循环伏安、线性极化、流体动力学线性扫描、差分脉冲伏安、方波伏安、* 交流伏安二次谐波、取样直流伏安、计时安培法、计时电位法、计时库仑法、计时充电- 放电
14、曲线、恒电位模式下交流阻抗、恒电流模式下交流阻抗、单频电位扫描(Mott-Schottky) 。2.1.31 除了标准的测试程序外， 软件应支持用户通过“拖拽”命令集中的命令来创建自己的测 试程序。提供的命令集应包括： Control 命令集、 Metrohm Device 命令集、 External Device 命令集、 Measurement 命令集、 Data handing 命令集、 Analysis 命令集和 Plot 命令集。*2.1.32 软件必须能脱机使用，保证用户能对所有方法测得的数据进行离线分析。设备四： 超景深三维显微镜 数量：一台1、* 此设备为一台仪器，不可以用俩台
15、及多台仪器组合。2、 *主机为体式便携结构一体机，不可显示器与控制主机分离，也不可以用普通PC电脑代替。一体机内置光源，手持现场观察输入和输出系统。控制主机尺寸为长度55cmx高度47X纵深20cm。3、 手持式现场观察镜头与主机之间通讯光缆支持10 米，手持式现场观察图像系统为 1/1.8 英 寸CMOS图像传感器4、*显微镜镜头具备手持现场观察功能，在手持镜头现场观察状态下具备图像对比，可以同一 屏幕内进行8个图像的对比。5、 *手持式现场观察显微镜镜头为不规则圆柱体显微镜镜头，长度为15.5cm。手持观察功能支 持 200 倍光学放大(软件数码变倍及镜头外加光学变倍适配器放大无效)6、 不规则圆柱体显微镜镜头长度为14.2cm，俩端直径分别为(6cm,3.
