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1、激光尘埃粒子计数器传感器激光尘埃粒子计数器（以下简称计数器）是用于测量洁净环境中单位体积内 尘埃粒子数和粒径分布的仪器。其广泛应用于医药、电子、精密机械、彩管制造、 微生物等行业，实现对各级别的工作台、净化室、净化车间的净化效果和洁净级 别进行监控，以确保产品的质量。计数器主要由光电传感器、计数和显示电路、气泵、显示屏、打印机及电源 等部分组成。其中光电传感器（以下简称传感器）是计数器实现粒子测量的核心 部件。其主要组成包括半导体激光光源、汇聚透镜、光阑、光陷阱、球面反射镜、 半导体光电探测器、前置检测电路、进出气嘴及必要的机加件，如图所示。传感器的工作原理是气流通过传感器测量腔时，气流中的颗
2、粒在激光的照射 下发生散射，散射光由光电探测器接收，根据粒子散射信号的强度来判断粒子大 小。因此传感器的性能优劣直接决定了粒子计数器的性能。本实验室专注于传感器的研究已有20余年，积累了大量的技术经验，传感 器各项指标国内领先，且远高于国标 尘埃粒子计数器性能试验方法的规范 要求。现已研制出采样流量分别为28.3L/min、50L/min和100L/min的传感器， 最小可测粒径为0.3um，具有较高计数效率和粒径分辨率，工作寿命长，自净时 间短，性能稳定。产品介绍LM系列激光尘粒子计数器传感器是由本公司依托南京理工大学洁净环境检测 实验室研发设计。该系列传感器基于90方向光散射原理设计，待测
3、气体通过 传感器腔体时，颗粒通过激光束产生的散射光由光电探测器接收，根据粒子散射 信号的强度来分辨颗粒大小。技术特点具有较高的计数效率和粒径分辨能力采样流量大，气阻小，性能稳定自净时间短，光源寿命长气路和电路接口简便，且易于装配采样流量（L/min）28.350100可测粒径范围 （pm）0.3/0.5100.5100.510粒径分布误差0.4pm5%0.5pm10%0.6pm10%0.4pm5%0.5pm15%0.6pm15%0.4pm5%0.5pm20%0.6pm20%粒径示值误差30%FS30%FS30%FS自净时间3min10min15min允许最大工作浓度（颗 /L）350003500035000
