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1、丝网、分测故障检修参考故障现象原因分析解决方法一道吸碎硅片 CDA有时不够稳定CDA吹气的阀岛有脏阻现象两侧风刀或吹气管道脏阻两侧风刀吹飘片子调整吹气调节阀清洁阀岛、吹气管道和吹气调节阀等，必要时更换清洁两侧风刀或吹气管道调整风刀的吹气方向及吹气调节阀大小一道连吸多片风刀吹气太小风刀没有吹开顶面的片子上料盒内硅片顶面过高，两侧风刀出气口过低适当调大吹气调节阀调整风刀的吹气方向调整两侧对射光纤头的上下位置 调整风刀的吹气口方向 行走臂上下电机报警电机转动不灵活或卡住上下位置出错行走臂上下不灵活或卡住行走臂辅助汽缸失灵elmo卡程序出错或损坏更换电磁抱闸；电机绕组短路，需更换调整参数；紧牢编码器转
2、轴螺丝；齿带绷紧或更换齿轮箱内碎片清理，加润滑脂，必要时更换齿轮调节气压大小，必要时更换重新导入程序或更换elmo卡转盘报警圆光栅头位置偏移圆光栅尺位置有偏差转盘转动时受外力卡住转盘本身转动不灵活或卡死elmo卡程序出错或损坏重新调整，确保指示灯常绿（原点除外），必要时更换调整圆光栅尺一周，确保光栅头绿色指示灯常绿（原点除外）紧牢顶杆低端螺丝；调整与顶杆低端靠近的接近开关位置拆下转盘的转子， 轴承清洗、上润滑油重新导入程序或更换elmo卡行走臂直线电机报警电机滑块摩擦力较大行走臂滑块摩擦力较大电机位置超出上下限elmo卡程序出错或损坏电机线圈短路烧毁用酒精清洁后，给导轨、滑块加适量的导轨油，必
3、要时更换用酒精清洁后，给导轨、滑块加适量的导轨油，必要时更换重新设置原点参数或上下限参数重新导入程序或更换elmo卡更换直线电机烘箱机械手上下电机报警电机上下受阻，摩擦力较大电机动作超限行走臂向上动作时阻力较大烘箱温度过高elmo卡程序出错或损坏双作用气缸实效、气压偏小或损坏给导轨、滑块加润滑油，必要时拆下更换调整参数调整双感应气缸CDA大小，必要时更换调大烘箱前面顶部的排风量重新导入程序或更换elmo卡调节好双作用气缸，必要时更换烘箱夹碎夹爪磨损、变形夹爪夹取硅片时过紧或过松硅片被夹取时动作较大产生碰撞托盘不在合适的位置托盘两侧的链条前后位置不适当更换新的夹爪适当调整夹爪闭合时的参数调整夹爪
4、参数，确保抓取时夹爪内侧碰不到或轻触硅片调整托盘两侧边的调节挡板调整托盘两端链条两侧的调节档块卸载顶杆顶碎硅片顶杆变形顶杆的底盘变形顶杆的顶部不水平顶杆的上端面不平滑台面真空释放缓慢顶杆电机线圈烧毁顶杆电机滑块损坏elmo卡程序出错或损坏校正顶杆，必要时更换校正底盘，必要时更换打磨顶杆，必要时更换顶杆和底盘用细纹路的锉子挫平延长真空释放时间；台面清洗，电磁阀阀芯清洗，必要时更换更换直线电机更换电机滑块重新导入程序或更换elmo卡印刷上下刮刀报警电机过载发烫电机上下摩擦力较大或被卡住调整参数，使刮刀不要超过行程范围 清洁导轨和滑块，必要时更换烘箱链条不旋转，有时电机报警电机轴销磨损或电机损坏电机
5、减速箱损坏链条位置不正确，左侧下两个接近开关不良链条卡死托盘断更换电机轴销或电机更换电机减速箱复位，使链条位置正确检查接近开关，必要时更换打开烘箱，找出卡死部位检查托盘，更换托盘探针上下电机报警 闭合时，探针电机调得过低 测试台导轨、滑块不灵活 弹簧或弹簧调节螺丝卡住测试台 探针电机上下不灵活 探针上下电机受热烧毁 辅助气缸串气损坏 调节电机原点或help内探针闭合参数 导轨和滑块的清洁、加油，甚至更换 重新调好弹簧，使弹簧调节螺丝在适合位置 探针电机导轨和滑块的清洁、加油，甚至更换 更换探针上下电机 更换辅助气缸分测承载盒内电池片不能上升 承载盒左右两侧的对射光纤没有对准 光电传感器没有设置
6、好或损坏 重新调节对射光纤头位置，直到对射准确为止 重新调整光电传感器，必要时更换回料板不工作气缸内的密封圈磨损负责上下动作的气管漏气或折叠相关阀岛故障拆下气缸，更换密封圈整理折叠气管，更换破损气管拆下阀岛清洗，如损坏则更换上料臂抽碎片子上料感应器感应不到片子上料臂前端白色挡块磨损有缺槽调节感应器的灵敏度，如坏则更换更换白色挡块001 0E09 01 Aux. Circuits not active w1机器附属电源丢失，“P2”和0E09输入信号信号为低解除机器上所有“emergency”按钮，然后按下绿色的“auxiliaries”按钮，并检查输入信号0E09是否为高。003 Printe
7、r 01 Machine A hasnt been reset印刷机A打开后复位进程没有被执行确保有气压和真空；解除机器上所有“emergency”按钮；按下绿色的“auxiliaries”按钮；使机器以“Auto”模式运行（黑色旋钮）按“Reset”，reset进行开始；等reset进程完成。（绿色的“reset”按钮不再闪烁，一直为绿色）004 Oven 01 machine B hasnt been reset烘箱B没有复位按复位印刷机F的方法来复位烘箱B033 0E12 01 Insufficient air pressure W1气压供应比所需要的低检查气压表的显示值是否工作在6 b
8、ar；检查气压传感器0E12035 0E13 01 Insufficient main vacuum W1真空供应比所需要的低检查真空表负压是否工作在0.07MPa；检查负压传感器0E13046 Cal 14 calibration in progress某个相机校准正在进行等待校准完成047 cal 14 calibration error相机采集到的测量数据不完全正确。确保载入的是正确的程序文件；检查镜头是否太脏或者变形；检查焦距和光线；重新设定模式；检查搜索区域048 cal 14 Linear calibration error某个线型校准不对重复一下047警报的操作方法；检查x，y轴
9、和theta的移动是否在可允许的范围之内；检查马达是否正常工作049 Angular calibration error角度电机校准出现错误重复一下047警报的操作方法；检查theta的移动是否在可允许的范围之内；检查马达是否正常工作042 Axes check page 42-elmo manual, error with elmo MGxx.某个Mgxx马达错误去42-elmo页选择相应的马达并检查相关的参数Elmo driver not operationalelmo卡没有准备好通信检查elmo连接；重新安装卡上的电缆；关闭机器并重新启动Motor short circuitElmo侦测
10、到一个短路检查从马达到elmo卡电缆。检查马达本身的连接器。Stopped by a limit switch限位开关发出报警，elmo卡切断马达供电 让马达和限位开关断开；把马达复位。External inhibit在elmo卡数字输入信号关闭解除所有emergency按扭并按下auxiliaries按扭Position error exceeded理论值和实际值之间出现误差确保电源；按start cycle按扭后，等上几秒后，马达恢复；没有动力时检查马达的机械摩擦；恢复elmo参数为原始值。Failed to find electrical zero复位马达开始时检测线圈的换向情况失败关掉
11、马达电源（按emergency按扭）并检查移动是否有障碍；用composerelmo软件下载参数；检查编码器工作是否正常Positive position limit exceeded马达正位置极限的设定问题返回到马达正常值的范围内；复位马达Negative position limit exceeded马达负位置极限的设定问题返回到马达正常值的范围内；复位马达Time-out PDO2 messageCan网络通信超时重新连接can连接器。关闭机器并重新启动Motor hardware fault热安全系统探测到马达过热并关闭马达检查马达到elmo卡的电缆；检查编码器工作是否正常；确保马达没
12、有被某个机械制动所阻止Wait axis in position window软件命令所希望的位置不是所期望的位置转到手动模式检查马达移动是否正常；检查机械摩擦是否过大；复位整个机器。RTC故障检修参考故障现象原因分析解决方法温度的偏移不能通过更改设置点而得到修正SCR故障或需要校正校正SCR或更换SCR。区域温度无规律地波动PID参数没有调整好调整PID参数过温或欠温警报可能是热电偶损坏更换热电偶加热区温区报警加热灯烧毁更换加热灯管在处理过程中出现#，计算机没有和控制器建立通迅检测计算机和控制器内的以太网卡;检测以太网连接器在屏幕操作时数据显示冻结程序块不能和控制器进行通迅检测RUN和REC
13、指示灯是否点亮;TRX指示应该周期性的闪烁.试着更换继电器或程序块.传动速度出错离合器松脱传送带运行监示传感器磨损或撕裂链条连接的齿轮间的轮距不适合旋紧离合器更换运行监示传感器重新调整轮距传送带不动作输送带动作检测传感器不工作马达驱动印刷电路板上的保险丝“F1”和“F2”烧断输送带传动马达烧坏马达速度控制印刷电路板上的S1、S2没有输入信号清洁或更换动作检测装置的齿轮和传感器更换保险丝“F1”和“F2”更换马达检查S1、S2信号输入模块及相关接点9区温度报警加热灯管烧坏根据报警信息更换加热管，可用万用表来判断已损坏的灯管。不能登录,OPTO 22整个控制系统没有电源安全密封盒里的保险丝“FB”烧断控制器和计算机的以太网通讯电缆没连接好以太网没有安装设置好更换保险丝FB。重新连接重新安装设置烧结炉在“warm up”模式下超出15分钟主接触器“K1”线圈没有得电或损坏“K3”和“K6”继电器没有得电或损坏安装在OPTO 22板上“K4”继电器指示灯不亮。检查线圈供电电路或更换“K1”检查线圈供电电路或更换“K3”和“K6”检查“K4”和OPTO 22板加热是在一个失控的状态下，在设定一个较底的温度下不能关断，而是持续升
