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1、附件 2：国标项目任务落实情况序 号计划编号项目名称被代替标准号完成 年限起草单位1.20065620-T-469半导体单晶晶向测定方法GB/T 1555-19972007峨眉半导体材料厂2.20065621-T-469半导体硅片电阻率及硅薄膜薄 层电阻测定 非接触涡流法GB/T 6616-19952007万向硅峰电子股份 有限公司3.20065622-T-469电子材料晶片参考面长度测量方法GB/T 13387-19922007有研半导体材料股 份有限公司4.20065623-T-469高纯镓GB/T 10118-19882007北京有色金属研究 总院、南京金美镓 业有限公司、信息 产业部专
2、用材料质 量监督检验中心5.20065624-T-469硅外延层、扩散层和离子注入层 薄层电阻的测定 直排四探针法GB/T 14141-19932007宁波立立电子股份 有限公司、南京国 盛电子有限公司、 信息产业部专用材 料质量监督检验中 心6.20065625-T-469硅抛光片表面平整度测试方法GB/T 6621-19952007上海合晶硅材料有 限公司7.20065626-T-469硅抛光片表面质量目测检验方法GB/T 6624-19952007上海合晶硅材料有 限公司8.20065627-T-469硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法GB/T 4058-19952007峨眉半导体材料 厂、
3、万向硅峰电子 股份有限公司、有 研半导体材料股份 有限公司、上海合晶硅材料有限公 司、宁波立立电子 股份有限公司9.20065628-T-469硅片参考面结晶学取向射线测量方法GB/T 13388-19922007北京有色金属研究 总院10.20065629-T-469硅片电阻率测定 扩展电阻探针 法GB/T 6617-19952007南京国盛电子有限 公司、宁波立立电 子股份有限公司11.20065630-T-469硅片厚度和总厚度变化测试方法GB/T 6618-19952007有研半导体材料股 份有限公司序 号计划编号项目名称被代替标准号完成 年限起草单位12.20065631-T-469
4、硅片翘曲度非接触式测试方法GB/T 6620-19952007洛阳单晶硅有限责 任公司13.20065632-T-469硅片弯曲度测试方法GB/T 6619-19952007洛阳单晶硅有限责 任公司14.20065633-T-469硅外延层载流子浓度测定 汞探 针电容 -电压法GB/T 14146-19932007南京国盛电子有限 公司、宁波立立电 子股份有限公司、 信息产业部专用材 料质量监督检验中 心15.20065634-T-469硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法GB/T 1558-19972007信息产业部专用材 料质量监督检验中 心、峨眉半导体材 料厂16.20065636-T-4
5、69锑化铟多晶、单晶及切割片GB/T11072-892007峨眉半导体材料厂2007 年新上项目序号国/行标项目名称被代替标 准号完成 年限起草单位1.国标太阳能电池用单晶硅制定2008上海九晶硅材料厂2.国标太阳能电池用多晶硅制定2008洛阳中硅高科技有限公司3.国标使用全反射 X 光荧光光谱测量硅片表 面金属玷污的测试方法制定2008有 研半 导体材 料股份 有限 公 司、峨眉半导体材料厂、洛阳 单晶硅材料厂、上海合晶硅材 料厂4.国标半导体衬垫材料的亚表面损伤偏振反射差分谱（ RDS）测试方法制定2008中科院半导体所5.国标硅片平整度、厚度及厚度变化测试 自 动非接触扫描法制定2008
6、上海合晶硅材料有限公司6.国标关于硅片平坦表面的表面粗糙度的测量指南制定2008有研半导体材料股份有色公司7.国标300mm硅单晶制定2008有研半导体材料股份有限公司8.国标300mm硅单晶抛光片（测试片）制定2008有研半导体材料股份有限公司9.国标300mm硅单晶切割片和研磨片制定2008有研半导体材料股份有限公司10.国标硅材料原生缺陷图谱制定2008有研半导体材料股份有限公司序号国/行标项目名称被代替标 准号完成 年限起草单位11.国标电子级三氯氢硅制定2008南京锗厂有限责任公司、峨眉半导体材料厂12.行标高纯砷化学分析方法 孔雀绿分光光 度法测定锑量YS/T34.1-199220
7、08峨眉半导体材料厂13.行标高纯砷化学分析方法 化学光谱法测 钴、锌、银、 铜、钙、铝、 镍、铬、铅、 镁、铁量YS/T34.2-19922008峨眉半导体材料厂14.行标高纯砷化学分析方法 极谱法测定硒 量YS/T34.3-19922008峨眉半导体材料厂15.行标高纯砷化学分析方法 极谱法测定硫 量YS/T34.4-19922008峨眉半导体材料厂16.行标高纯砷YS/T43-19922008峨眉半导体材料厂17.行标高纯镓化学分析方法 钼蓝分光光度 法测定硅量YS/T38.1-19922008北京有色金属研究总院18.行标高纯镓化学分析方法 化学光谱法测定锰、镁、铬和锌量YS/T38.2-19922008北京有色金属研究总院19.行标高纯镓化学分析方法 化学光谱法测定铅、镍、锡和铜量YS/T38.3-19922008北京有色金属研究总院20.行标硅粉制定2008洛阳中硅高科技有限公司
