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1、泓域咨询/南昌半导体质量控制设备项目可行性研究报告目录第一章 项目建设背景及必要性分析7一、 半导体质量控制设备的概况7二、 全球半导体检测和量测设备市场格局9三、 坚持人才优先发展9四、 提高产业链供应链现代化水平11五、 项目实施的必要性11第二章 项目承办单位基本情况13一、 公司基本信息13二、 公司简介13三、 公司竞争优势14四、 公司主要财务数据16公司合并资产负债表主要数据16公司合并利润表主要数据17五、 核心人员介绍17六、 经营宗旨19七、 公司发展规划19第三章 总论21一、 项目名称及投资人21二、 编制原则21三、 编制依据22四、 编制范围及内容22五、 项目建设
2、背景23六、 结论分析24主要经济指标一览表26第四章 市场分析29一、 面临的挑战29二、 中国半导体设备行业情况31三、 半导体设备行业概况33第五章 选址分析34一、 项目选址原则34二、 建设区基本情况34三、 塑造南昌制造新优势36四、 提升科技创新能力37五、 项目选址综合评价39第六章 建筑物技术方案40一、 项目工程设计总体要求40二、 建设方案42三、 建筑工程建设指标44建筑工程投资一览表44第七章 发展规划46一、 公司发展规划46二、 保障措施47第八章 运营模式49一、 公司经营宗旨49二、 公司的目标、主要职责49三、 各部门职责及权限50四、 财务会计制度54第九
3、章 工艺技术及设备选型59一、 企业技术研发分析59二、 项目技术工艺分析61三、 质量管理63四、 设备选型方案64主要设备购置一览表64第十章 人力资源配置66一、 人力资源配置66劳动定员一览表66二、 员工技能培训66第十一章 项目环保分析68一、 环境保护综述68二、 建设期大气环境影响分析69三、 建设期水环境影响分析70四、 建设期固体废弃物环境影响分析71五、 建设期声环境影响分析71六、 环境影响综合评价72第十二章 原辅材料及成品分析73一、 项目建设期原辅材料供应情况73二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理73第十三章 劳动安全生产75一、 编制依据75二、 防范措施7
4、8三、 预期效果评价83第十四章 投资估算及资金筹措84一、 编制说明84二、 建设投资84建筑工程投资一览表85主要设备购置一览表86建设投资估算表87三、 建设期利息88建设期利息估算表88固定资产投资估算表89四、 流动资金90流动资金估算表91五、 项目总投资92总投资及构成一览表92六、 资金筹措与投资计划93项目投资计划与资金筹措一览表93第十五章 项目经济效益95一、 基本假设及基础参数选取95二、 经济评价财务测算95营业收入、税金及附加和增值税估算表95综合总成本费用估算表97利润及利润分配表99三、 项目盈利能力分析99项目投资现金流量表101四、 财务生存能力分析102五
5、、 偿债能力分析103借款还本付息计划表104六、 经济评价结论104第十六章 招标及投资方案106一、 项目招标依据106二、 项目招标范围106三、 招标要求106四、 招标组织方式107五、 招标信息发布109第十七章 风险分析110一、 项目风险分析110二、 项目风险对策112第十八章 项目综合评价说明114第十九章 补充表格116建设投资估算表116建设期利息估算表116固定资产投资估算表117流动资金估算表118总投资及构成一览表119项目投资计划与资金筹措一览表120营业收入、税金及附加和增值税估算表121综合总成本费用估算表122固定资产折旧费估算表123无形资产和其他资产摊
6、销估算表124利润及利润分配表124项目投资现金流量表125第一章 项目建设背景及必要性分析一、 半导体质量控制设备的概况半导体设备分类由半导体制造工艺衍生而来，从工艺角度看，主要可以分为：光刻、刻蚀、薄膜沉积、质量控制、清洗、CMP、离子注入、氧化等环节。传统的集成电路工艺主要分为前道和后道，随着集成电路行业的不断发展进步，后道封装技术向晶圆级封装发展，从而衍生出先进封装工艺。先进封装工艺指在未切割的晶圆表面通过制程工艺以实现高密度的引脚接触，实现系统级封装以及2.5/3D等集成度更高、尺度更小的器件的生产制造。鉴于此，集成电路工艺进一步细分为前道制程、中道先进封装和后道封装测试。贯穿于集成
7、电路领域生产过程的质量控制环节进一步可分为前道检测、中道检测和后道测试，半导体质量控制通常也广义地表达为检测。其中，前道检测主要是针对光刻、刻蚀、薄膜沉积、清洗、CMP等每个工艺环节的质量控制的检测；中道检测面向先进封装环节，主要为针对重布线结构、凸点与硅通孔等环节的质量控制；后道测试主要是利用电学对芯片进行功能和电参数测试，主要包括晶圆测试和成品测试两个环节。应用于前道制程和先进封装的质量控制根据工艺可细分为检测（Inspection）和量测（Metrology）两大环节。检测指在晶圆表面上或电路结构中，检测其是否出现异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性
8、结构缺陷；量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。根据检测类型的不同，半导体质量控制设备可分为检测设备和量测设备。随着技术的进步发展，集成电路前道制程的步骤越来越多，工艺也更加复杂。28nm工艺节点的工艺步骤有数百道工序，由于采用多层套刻技术，14nm及以下节点工艺步骤增加至近千道工序。根据YOLE的统计，工艺节点每缩减一代，工艺中产生的致命缺陷数量会增加50%，因此每一道工序的良品率都要保持在非常高的水平才能保证最终的良品率。当工序超过500道时，只有保证每一道工序的良品率都超过99.99%，最终的良品率方可超
9、过95%；当单道工序的良品率下降至99.98%时，最终的总良品率会下降至约90%，因此，制造过程中对工艺窗口的挑战要求几乎“零缺陷”。检测和量测环节贯穿制造全过程，是保证芯片生产良品率非常关键的环节。随着制程越来越先进、工艺环节不断增加，行业发展对工艺控制水平提出了更高的要求，制造过程中检测设备与量测设备的需求量将倍增。二、 全球半导体检测和量测设备市场格局全球半导体检测和量测设备市场规模高速增长，根据VSLIResearch的统计，2016年至2020年全球半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率为12.6%，其中2020年全球市场规模达到76.5亿美元，同比增长20.1%。根据VSLI
10、Research的统计，2020年半导体检测和量测设备市场上，检测设备占比为62.6%，包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、掩膜检测设备等；量测设备占比为33.5%，包括三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备、套刻精度量测设备、关键尺寸量测设备、掩膜量测设备等。目前，全球半导体检测和量测设备市场也呈现国外设备企业垄断的格局，全球范围内主要检测和量测设备企业包括科磊半导体、应用材料、日立等。科磊半导体一家独大，根据VSLIResearch的统计，其在检测与量测设备的合计市场份额占比为50.8%，全球前五大公司合计市场份额占比超过了82.4%，均来自美国和日本，市场集中度较高。三、 坚持
11、人才优先发展打造高端人才集聚热土。抢抓“双循环”新发展格局下人才流动的战略性机遇，深入推进“天下英雄城、聚天下英才”“双百计划”“百万人才入昌”等行动，建设江西省高层次人才产业园，持续实施“洪城计划”“顶尖领军人才领航计划”“洪企211”等人才工程，主动对接引进海外战略型人才，加快引入一批国内产业链、创新链高层次人才。持续实施“洪燕领航”工程，加快培育本土高层次科研人才、急需紧缺专项人才。实施“求学南昌、创业南昌”计划、“赣籍英才返乡”计划，积极吸引各类高素质人才，特别是青年人才来昌就业创业，做大人才总量。推进新时代“洪城工匠”培育工程。实施知识更新工程、技能提升行动，构建产教训融合、政企社协
12、同、育选用贯通的高技能人才培养体系，打造数量充足、结构合理、技艺精湛的新型蓝领队伍。加强工程师队伍建设。完善技术技能评价制度，推动技能人才与专业技术人才职业发展贯通，拓宽高技能人才发展空间。实施更加开放的人才政策。坚持党管人才原则，深化人才发展体制改革与机制创新，建立健全市场化人才评价标准和机制，让人才使用者评价人才、确定人才。探索竞争性人才使用机制，优化激励措施，完善配套服务政策。推进人才、项目、资金、平台一体化建设，营造人才安心舒心发展环境。建立健全更具包容性、灵活性、精准性的人才政策体系，实现高层次人才、中端人才、基础性人才政策全覆盖，打造英雄城人才“蓄水池”。实施人才政策动态评价，建立
13、人才政策动态调整机制。四、 提高产业链供应链现代化水平坚持稳定可控、安全高效，深入实施产业链链长制，推动产业链供应链锻长板补短板。围绕产业链集群化，积极发展电子信息、航空装备、汽车和新能源汽车、生物医药等新兴产业链和特色产业集群，深入实施优质企业梯次培育行动，打造千亿级、百亿级头部企业，培育“专精特新”中小企业，优化产业链分工协作体系。深入开展质量提升行动，加强标准、计量、专利等体系和能力建设。围绕供应链系统化，大力实施工业强基工程，搭建产业共性技术平台，着力补齐智能传感器、工业软件、集成电路硅片等关键领域基础部件短板。完善核心零部件、关键原材料多元化可供体系，增强本土产业协同配套能力。围绕价
14、值链枢纽化，不断优化产业链供应链发展环境，强化要素支撑，健全跨地区转移利益共享机制，加快承接国内产业转移，深化区域产业合作。五、 项目实施的必要性（一）提升公司核心竞争力项目的投资，引入资金的到位将改善公司的资产负债结构，补充流动资金将提高公司应对短期流动性压力的能力，降低公司财务费用水平，提升公司盈利能力，促进公司的进一步发展。同时资金补充流动资金将为公司未来成为国际领先的产业服务商发展战略提供坚实支持，提高公司核心竞争力。第二章 项目承办单位基本情况一、 公司基本信息1、公司名称：xxx有限公司2、法定代表人：段xx3、注册资本：1040万元4、统一社会信用代码：xxxxxxxxxxxxx
15、5、登记机关：xxx市场监督管理局6、成立日期：2015-2-97、营业期限：2015-2-9至无固定期限8、注册地址：xx市xx区xx9、经营范围：从事半导体质量控制设备相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）二、 公司简介公司坚持诚信为本、铸就品牌，优质服务、赢得市场的经营理念，秉承以人为本，始终坚持 “服务为先、品质为本、创新为魄、共赢为道”的经营理念，遵循“以客户需求为中心，坚持高端精品战略，提高最高的服务价值”的服务理念，奉行“唯才是用，唯德重用”的人才理念，致力于为客户量身定制出完美解决方案，满足高端市场高品质的需求。当前，国内外经济发展形势依然错综复杂。从国际看，世界经济深度调整、复苏乏
