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1、微电子学概论感想对于电子科学与技术这个专业，微电子学概论是我们的一门专业课程。通过这一整 个学期的学习，我了解了一些集成电路基础，集成电路的制造工艺，集成电路设计和半导体 知识。特别是最后几个礼拜，老师还播放一些苹果公司和因特尔公司的芯片制作过程的视频， 让我们更加深入的了解一些MOS集成电路工艺流程。并且对微电子学也有一些自己的看法 和简介微电子学是电子学的一门分支，主要研究电子或离子的固体材料中的运动规 律及其应用。微电子学是以实现电路和系统的集成为目的：研究如何利用半导体 的围观特性以及一些特殊工艺，在一块半导体芯片上制作大量的器件，从而在一 个微小的面积中制造出复杂的电子系统。微电子作
2、为一个非常有活力的领域，依然在不断快速发展。一些技术已经投 入应用，在社会各个方面为人类提供便利；而另一些技术还处于试验阶段，有待 科学家们的继续研究。目前，微电子领域的前沿技术包括微电子制造工艺、微 电子材料的研究、超 大规模集成电路的设计以及MEMS技术等。微加工工艺 是制造MEMS的主要手段，IC制造技术含（如光刻、薄膜淀积、注入扩 散、刻蚀等）、微机械加工技术（如牺牲层技术、各向异性刻蚀、双面光刻以 及软光刻技术等）和特殊微加工技术。目前微电子的制造工艺采用光刻和刻蚀 等微加工方法，将大的材料制造为小的结构和器件，并与电路集成，实现系统微 型化。只有微电子技术取得突破，才能制造出更高性
3、能的集成电路，从而导致相 关的一系列电子产品的更新。微电子技术在军事国防方面同样有重要的应用。 微电子技术的发展和应用，不仅提升了军事装备和作战平台的性能，而且导致 了新式武器以及新兵种的产 生。微电子技术的产生改变了传统战争的模式，将 面对面的战斗演变为超视距作战。微电子技术在小型机械制造领域的应用，导 致了微机电系统（MEMS）的出现，引起了一场新的革命。由于MEMS系统和器件具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性 高、性能优异、功能强大、可批量生产等众多优点，在各个领域都有着广阔的 应用前景。目前已经制造出了微型加速度计、微型陀螺、各种 传感器等多种类 型的MEMS产品，对人们的日常
4、生活产生了巨大影响。更为重要的是，随着 人类社会迈入“硅器时代”微电子在人类生活中占据着，越来越重要的地位， 微电子技术的发展水平和微电子产业的规模已经成为衡量一个国家综合实力的 重要标志。对半导体材料的研究也是微电子领域的热门。由最原始的元素半导体（锗、 硅、硒、硼、锑、碲），到化合物半导体（神化镓、磷化锢、锑化锢、碳化硅、 硫化镉及镓神硅等），乃至热门的有机半导体和无定型半导体。半导体材料的 改变必然会引起半导体器件性能的改变。随着研究的深入，新型宽禁带半导体 材料的开发可能会在极大程度上决定半导体器件的性能。集成电路的设计必须 考虑多方面的因素，要求速度更快、面积更小、功能更 多。随着微
5、电子技术的 发展，集成电路设计方法学也发生了变迁从传统的纯手工 设计，“自底而上” 的设计方式，单纯的仿真验证，单一发展到自动综合、布局布线，“自顶而下” 中间相遇”的设计方式，多种验证方法相结合，数模、软件协同等，“将极大 程度上提高集成电路设计效率。MEMS技术是利用集成电路制造技术和微加工 技术把一系列微结构制造在一块或多块芯片上的微型集成系统MEMS的出现 是芯片不再局限于处理电信 号为目的的集成电路，其功能拓展到了机、光、电、 化学、生物等领域。微电子技术是信息社会发展的基石，对当代国民经济发展的促进作用明显， 微电子技术产值是进入信息社会的标志。电子设备的更新换代都基于微电子技术 的进步。作为电子专业的大学生，我们更要掌握微电子知识和技术，这样才可以 把握电子的最新方向，甚至引导电子的潮流。
