自动氦检漏装置

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19)中华人民共和国国家知识产权局汐(12 )发明专利申请(10)申请公布号CN105618391A(43)申请公布日2016.06.01(21)申请号 CN201610112241.4(22)申请日 2016.03.01(71)申请人 爱发科东方真空(成都)有限公司地址 611731 四川省成都市高新技术开发区(西区)百草路 89号(72)发明人 张果;蓝峰;李健;周荣(74)专利代理机构 成都立信专利事务所有限公司代理人 冯忠亮(51)Int.CIB07C5/34;B07C5/02;B07C5/36;权利要求说明书 说明书 幅图(54)发明名称自动氦检漏装置(57)摘要本发明为自动氦检漏装置,解决已有的自 动氦检漏装置非全自动,成本很高,对工装板的 管理和维护都十分麻烦的问题。由主皮带 1,进 箱移栽机2,并列的第一、二真空箱 5、14,并列 的第一、二等待皮带 6、16,并列的第三、四真 空箱 8、17,出箱移栽机 21,分流移栽机 24,并

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