《多晶硅铸锭切片项目工艺流程》由会员分享，可在线阅读，更多相关《多晶硅铸锭切片项目工艺流程（2页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、多晶硅铸锭切片项目工艺流程一、多晶硅锭的制备工艺根据生长方法的不同，多晶硅可分为等轴晶、柱状晶。通常在热过冷及自由凝固的情况下会形成等轴 晶，其特点是晶粒细，机械物理性能各向同性。如果在凝固过程中控制液固界面的温度梯度，形成单方向 热流，实行可控的定向凝固，则可形成物理机械性能各向异性的多晶柱状晶，太阳能电池多晶硅锭就是采 用这种定向凝固的方法生产的。在实际生产中，太阳能电池多晶硅锭的定向凝固生长方法主要有浇铸法、 热交换法（H EM）、布里曼（B ridgem an）法、电磁铸锭法，其中热交换法与布里曼法通常结合在一起。热交换法及布里曼法都是把熔化及凝固置于同一坩埚中（ 避免了二次污染），其
2、中热交换法是将硅料 在坩埚中熔化后，在坩埚底部通冷却水或冷气体，在底部进行热量交换，形成温度梯度，促使晶体定向生 长。布里曼法则是在硅料熔化后，将坩埚或加热元件移动使结晶好的晶体离开加热区，而液硅仍然处于加 热区，这样在结晶过程中液固界面形成比较稳定的温度梯度，有利于晶体的生长。其特点是液相温度梯度 dT/dX 接近常数，生长速度受工作台下移速度及冷却水流量控制趋近于常数，生长速度可以调节。本项目生产所用结晶炉是采用热交换与布里曼相结合的技术。本项目采用中国电子科技集团公司第四 十八研究所研发的拥有先进技术的R13450-1型多晶硅铸锭炉，它采用先进的多晶硅定向凝固技术，将硅料 高温熔融后通过
3、特殊工艺定向冷凝结晶,从而达到太阳能电池生产用多晶硅品质的要求，是一种适用于长时 间连续工作，高精度、高可靠性、自动化程度高的智能化大生产设备。工艺特点：工作台通冷却水，上置一个热开关，坩埚则位于热开关上。硅料熔融时，热开关关闭，结晶时打开， 将坩埚底部的热量通过工作台内的冷却水带走，形成温度梯度。同时坩埚工作台缓慢下降，使凝固好的硅 锭离开加热区，维持固液界面有一个比较稳定的温度梯度，在这个过程中，要求工作台下降非常平稳，以 保证获得平面前沿定向凝固。丄膵热源液相液固界而固相Ir隔热板 二热开关 工作台R13450-1型多晶硅铸锭炉二、硅片的加工工艺硅片的加工是将硅锭经表面整形、切割、研磨、
4、腐蚀、抛光、清洗等工艺，加工成具有一定宽度、长 度、厚度、晶向和高度、表面平行度、平整度、光洁度，表面无缺陷、无崩边、无损伤层，高度完整、均 匀、光洁的镜面硅片。这一流程也包括了太阳能电池制造阶段硅片的表面处理工序，在连续生产中可以归 并。将硅锭按照技术要求切割成硅片，才能作为生产制造太阳能电池的基体材料。因此，硅片的切割，即 通常所说的切片，是整个硅片加工的重要工序。所谓切片，就是硅锭通过镶铸金刚砂磨料的刀片（或钢丝） 的高速旋转、接触、磨削作用，定向切割成为要求规格的硅片。切片工艺技术直接关系到硅片的质量和成 品率。切片的方法主要有外圆切割、内圆切割、多线切割以及激光切割等。本项目采用多线切割工艺。切片工艺技术的原则要求是：切割精度高、表面平行度高、翘曲度和厚度公差小。断面完整性好, 消除拉丝、刀痕和微裂纹。提高成品率，缩小刀（钢丝）切缝，降低原材料损耗。提高切割速度，实现 自动化切割。三、晶体生产及切片工艺流程
