《镀膜真空术语全集(中英文对照)要点(DOC 13页)》由会员分享，可在线阅读，更多相关《镀膜真空术语全集(中英文对照)要点(DOC 13页)（13页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、镀膜真空术语全集（中英文对照） 5.分压真空计（分压分析器） 5-1.射频质谱仪radio frequency mass spectrometer：5-2.四极质谱仪（四级滤质器）quadrupole mass spectrometer；quadrupole mass filer：5-3.单极质谱仪momopole mass spectrometer： 5-4.双聚焦质谱仪double focusing mass spectrometer：5-5.磁偏转质谱仪magnetic deflection mass spectrometer：5-6.余摆线聚焦质谱仪trochoidal focusin
2、g mass spectrometer：5-7.回旋质谱仪omegatron mass spectrometer：5-8.飞行时间质谱仪time of flight mass spectrometer：6.真空计校准 6-1.标准真空计reference gauges：6-2.校准系统system of calibration：6-3.校准系数K calibration coefficient：6-4.压缩计法meleod gauge method：6-5.膨胀法expansion method：6-6.流导法flow method： 4. 1.真空系统vacuum system1-1.真空机
3、组pump system：1-2.有油真空机组pump system used oil ：1-3.无油真空机组oil free pump system 1-4.连续处理真空 设备 continuous treatment vacuum plant：1-5.闸门式真空系统vacuum system with an air-lock：1-6.压差真空系统differentially pumped vacuum system：1-7.进气系统gas admittance system：2.真空系统特性参量 2-1.抽气装置的抽速volume flow rate of a pumping unit ：
4、2-2.抽气装置的抽气量throughput of a pumping unit ：2-3.真空系统的放气速率degassing(outgassing) throughput of a vacuum system：2-4.真空系统的漏气速率leak throughput of a vacuum system：2-5.真空容器的升压速率rate of pressure rise of a vacuum chamber：2-6.极限压力ultimate pressure：2-7.残余压力residual pressure：2-8.残余气体谱residual gas spectrum：2-9.基础压
5、力base pressure：2-10.工作压力working pressure：2-11.粗抽时间roughing time：2-12.抽气时间pump-down time： 2-13.真空系统时间常数time constant of a vacuum system：2-14.真空系统进气时间venting time：3.真空容器 3-1.真空容器；真空室vacuum chamber：3-2.封离真空装置sealed vacuum device：3-3.真空钟罩vacuum bell jar：3-4.真空容器底板vacuum base plate：3-5.真空岐管vacuum manifol
6、d：3-6.前级真空容器（贮气罐）backing reservoir：3-7.真空保护层outer chamber：3-8.真空闸室vacuum air lock：3-9.真空冷凝器；蒸汽冷凝器device for condensing vapor：4.真空封接和真空引入线 4-1.永久性真空封接permanent seal ：4.2. 玻璃 分级过渡封接graded seal ：4-3.压缩玻璃金属封接*pression glass -to-metal seal：4-4.匹配式玻璃金属封接matched glass-to-metal seal：4-5.陶瓷金属封接ceramic-to-met
7、al seal：4-6.半永久性真空封接semi-permanent seal ：4-7.可拆卸的真空封接demountable joint：4-8.液体真空封接liquid seal4-9.熔融金属真空封接molten metal seal：4-10.研磨面搭接封接ground and lapped seal：4-11.真空法兰连接vacuum flange connection：4-12.真空密封垫vacuum-tight gasket：4-13.真空密封圈ring gasket： 4-14.真空平密封垫flat gasket：4-15.真空引入线feedthrough leadthrou
8、gh： 4-16.真空轴密封shaft seal：4-17.真空窗vacuum window：4-18.观察窗viewing window：5.真空阀门 5-1.真空阀门的特性characteristic of vacuum valves：.真空阀门的流导conductance of vacuum valves：.真空阀门的阀座漏气率leak rate of the vacuum seat：5-2.真空调节阀regulating valve：5-3.微调阀 micro-adjustable valve：5-4.充气阀charge valve：5-5.进气阀gas admittance valv
9、e：5-6.真空截止阀break valve：5-7.前级真空阀backing valve：5-8.旁通阀 by-pass valve：5-9.主真空阀main vacuum valve：5-10.低真空阀low vacuum valve：5-11.高真空阀high vacuum valve：5-12.超高真空阀；UHV阀 ultra-high vacuum valve：5-13.手动阀manually operated valve：5-14.气动阀pneumatically operated valve：5-15.电磁阀electromagnetically operated valve：5
10、-16.电动阀valve with electrically motorized operation：5-17.挡板阀baffle valve：5-18.翻板阀flap valve：5-19.插板阀gate valve：5-20.蝶阀butterfly valve：6.真空管路 6-1.粗抽管路roughing line：6-2.前级真空管路backing line：6-3.旁通管路；By-Pass管路 by-pass line：6-4.抽气封口接头pumping stem：6-5.真空限流件limiting conductance：6-6.过滤器filter： 5. 1.一般术语 1-1真空
11、 镀膜 vacuum coating：1-2基片substrate：1-3试验基片testing substrate：1-4镀膜材料coating material：1-5蒸发材料evaporation material：1-6溅射材料sputtering material：1-7膜层材料(膜层 材质 )film material：1-8蒸发速率evaporation rate：1-9溅射速率sputtering rate：1-10沉积速率deposition rate：1-11镀膜角度coating angle： 2.工艺 2-1真空蒸膜vacuum evaporation coating：
12、(1).同时蒸发simultaneous evaporation：(2).蒸发场蒸发evaporation field evaporation：(3).反应性真空蒸发reactive vacuum evaporation：(4).蒸发器中的反应性真空蒸发reactive vacuum evaporation in evaporator：(5).直接加热的蒸发direct heating evaporation：(6).感应加热蒸发induced heating evaporation：(7). 电子 束蒸发electron beam evaporation：.激光束蒸发laser beam e
13、vaporation：(9).间接加热的蒸发indirect heating evaporation：(10).闪蒸flash evaportion：2-2真空溅射vacuum sputtering：(1).反应性真空溅射 reactive vacuum sputtering：(2).偏压溅射bias sputtering：(3).直流二级溅射direct current diode sputtering：(4).非对称性交流溅射asymmtric alternate current sputtering：(5).高频二极溅射high frequency diode sputtering：(6
14、).热阴极直流溅射（三极型溅射）hot cathode direct current sputtering：(7).热阴极高频溅射（三极型溅射）hot cathode high frequency sputtering：.离子束溅射ion beam sputtering：(9).辉光放电清洗glow discharge cleaning：2-3物理气相沉积PVD physical vapor deposition：2-4化学气相沉积CVD chemical vapor deposition：2-5磁控溅射magnetron sputtering：2-6等离子体化学气相沉积；PCVD plasma chemistry vapor deposition：2-7空心阴极离子镀HCD hollow cathode discharge deposition：2-8电弧离子镀arc discharge deposition： 3.专用部件 3-1镀膜室coating chamber：3-2蒸发器装置evaporator device：3-3蒸发器evaporator：3-4直接加热式蒸发器evaporator by direct heat：3-5间接加热式蒸发器e
