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(19 )中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请fr(10)申请公布号盈CN111020589A(43 )申请公布日2020.04.17(21 )申请号 CN201911214179.X(22)申请日 2019.12.02(71 )申请人湖北兴福电子材料有限公司地址443007湖北省宜昌市狼亭区狼亭大道66-3号(72 )发明人李少平;杨着淳B岚峰;蔡步林;杨阳;万永洲(74 )专利代理机构宜昌市三峡专利事务所代理人成钢(51) Int.CI权利要求说明书说明书幅图(54 )发明名称铝蚀刻液回收再利用的装置与方法(57)摘要本发明公开了一种铝蚀刻液回收再利用的 装置与方法，该装置包括废酸储罐，其连接至反 应釜进料管线，反应釜还连接有五氧化二磷加料 管线；反应釜出料口连接至蒸发器，蒸发器出料 口连接至蒸发分离器，蒸发分离器气体出口依次 连接乏气冷凝器和乏气分离器，蒸发分离器液体 出口连接至磷酸汽提塔，后依次连接磷酸调和釜 和磷酸储罐；磷酸汽提塔下部设有氮气通入管 道。采用本发明的装置与方法，可有效将废铝蚀
